Kí ni àwọn ètò mẹ́fà ti ìléru kírísítà kan ṣoṣo?

Ìléru kristali kan ṣoṣo jẹ́ ẹ̀rọ kan tí ó ń loohun èlò ìgbóná graphiteláti yọ́ àwọn ohun èlò silikoni polycrystalline nínú àyíká gaasi aláìlágbára (argon) àti láti lo ọ̀nà Czochralski láti gbin àwọn kirisita kan ṣoṣo tí kò ní yípo. Ó jẹ́ àwọn ètò wọ̀nyí ní pàtàkì:

Ètò gbigbe ẹ̀rọ

Ètò ìgbéjáde ẹ̀rọ ni ètò ìṣiṣẹ́ ipilẹ̀ ti ilé ìgbóná kirisita kan ṣoṣo, èyí tí ó jẹ́ olórí ìdí fún ṣíṣàkóso ìṣípo àwọn kirisita atiàwọn ohun èlò ìkòkò, pẹ̀lú gbígbé àti yíyí àwọn kirisita irugbin àti gbígbé àti yíyípoàwọn ohun èlò ìkòkòÓ lè ṣàtúnṣe àwọn pàrámítà bíi ipò, iyàrá àti igun yíyípo ti àwọn kirisita àti àwọn ohun èlò ìkọ́lé láti rí i dájú pé ìlànà ìdàgbàsókè kirisita náà ń lọ déédéé. Fún àpẹẹrẹ, ní àwọn ìpele ìdàgbàsókè kirisita tó yàtọ̀ síra bíi fífúnrúgbìn, fífúnrúgbìn, fífúnrúgbìn, ìdàgbàsókè oníwọ̀n tó dọ́gba àti fífúnrúgbìn, ètò yìí gbọ́dọ̀ ṣàkóso ìṣípo àwọn kirisita àti àwọn ohun èlò ìkọ́lé náà dáadáa láti bá àwọn ohun tí ìlànà ìdàgbàsókè kirisita náà béèrè mu.

Ètò ìṣàkóso ìgbóná otutu

Èyí jẹ́ ọ̀kan lára ​​àwọn ètò pàtàkì ti ilé ìgbóná kristali kan ṣoṣo, èyí tí a ń lò láti mú ooru jáde àti láti ṣàkóso ìwọ̀n otútù inú ilé ìgbóná náà dáadáa. Ó ní àwọn èròjà bíi àwọn ohun èlò ìgbóná, àwọn sensọ̀ ìwọ̀n otútù, àti àwọn olùdarí ìwọ̀n otútù. A sábà máa ń fi àwọn ohun èlò bíi graphite tó ní ìmọ́tótó gíga ṣe ohun ìgbóná náà. Lẹ́yìn tí a bá ti yí agbára ìgbóná padà tí a sì dínkù láti mú kí agbára ìgbóná náà pọ̀ sí i, ohun ìgbóná náà máa ń mú ooru jáde láti yọ́ àwọn ohun èlò polycrystalline bíi polysilicon nínú ẹ̀rọ ìgbóná. Sensọ ìwọ̀n otútù náà máa ń ṣe àkíyèsí àwọn ìyípadà ìwọ̀n otútù nínú ilé ìgbóná náà ní àkókò gidi, ó sì máa ń gbé àmì ìwọ̀n otútù náà sí olùdarí ìwọ̀n otútù náà. Olùdarí ìwọ̀n otútù náà máa ń ṣàkóso agbára ìgbóná náà ní ìbámu pẹ̀lú àwọn ìlànà ìwọ̀n otútù tí a ṣètò àti àmì ìwọ̀n otútù tí a fi èsì sí, nípa bẹ́ẹ̀ ó ń pa ìdúróṣinṣin ìwọ̀n otútù nínú ilé ìgbóná náà mọ́, ó sì ń pèsè àyíká ìwọ̀n otútù tó yẹ fún ìdàgbàsókè kristali.

Ètò ìfọṣọ

Iṣẹ́ pàtàkì ti ètò ìfọṣọ ni láti ṣẹ̀dá àti láti tọ́jú àyíká ìfọṣọ nínú ilé ìtura nígbà tí a bá ń ṣe ìdàgbàsókè kírísítàlì. A máa ń fa afẹ́fẹ́ àti àwọn afẹ́fẹ́ àìmọ́ nínú ilé ìtura náà jáde nípasẹ̀ àwọn ẹ̀rọ ìfọṣọ àti àwọn ohun èlò míràn láti jẹ́ kí ìfúnpá gaasi nínú ilé ìtura náà dé ìpele tí ó kéré gan-an, ní gbogbogbòò ní ìsàlẹ̀ 5TOR (torr). Èyí lè dènà ohun èlò sílíkọ́nì láti má ṣe jẹ́ kí ó gbóná ní iwọ̀n otútù gíga, kí ó sì rí i dájú pé ìdàgbàsókè kírísítàlì náà mọ́ tónítóní. Ní àkókò kan náà, àyíká ìfọṣọ náà tún ń ṣe ìrànlọ́wọ́ láti mú àwọn ohun ìdọ̀tí tí ó ń yípadà kúrò nígbà tí a bá ń ṣe ìdàgbàsókè kírísítàlì náà sì ń mú dídára kírísítàlì náà sunwọ̀n sí i.

Ètò Argọn

Ètò argon ń kó ipa nínú dídáàbòbò àti ṣíṣàkóso ìfúnpá nínú ilé ìtura nínú ilé ìtura kristal kan ṣoṣo. Lẹ́yìn fífọ omi, a máa ń kún gaasi argon tó mọ́ tónítóní (ìmọ́tóní gbọ́dọ̀ wà ní òkè 6 9) sínú ilé ìtura. Ní ọwọ́ kan, ó lè dènà afẹ́fẹ́ òde láti wọ inú ilé ìtura náà kí ó sì dènà àwọn ohun èlò silicon láti má ṣe jẹ́ kí ó bàjẹ́; ní ọwọ́ kejì ẹ̀wẹ̀, kíkún gaasi argon lè mú kí ìfúnpá nínú ilé ìtura náà dúró dáadáa kí ó sì pèsè àyíká ìfúnpá tó yẹ fún ìdàgbàsókè kristal. Ní àfikún, ṣíṣàn gaasi argon tún lè mú ooru tí a ń rí nígbà tí ó ń dàgbàsókè kristal lọ, kí ó sì kó ipa ìtútù kan.

Ètò ìtútù omi

Iṣẹ́ ètò ìtútù omi ni láti tutù onírúurú àwọn èròjà tí ó wà nínú ìtútù kírísítà kan ṣoṣo láti rí i dájú pé àwọn ohun èlò náà ń ṣiṣẹ́ déédéé àti pé wọ́n ń lo àkókò wọn. Nígbà tí wọ́n ń lo ìtútù kírísítà kan ṣoṣo, ìgbóná náà,ohun èlò ìfòmọ́, elekitirodu ati awọn paati miiran yoo mu ooru pupọ wa. Ti wọn ko ba tutu ni akoko, awọn ẹrọ naa yoo gbona ju, bajẹ tabi paapaa bajẹ. Eto itutu omi gba ooru awọn paati wọnyi kuro nipa gbigbe omi itutu kaakiri lati tọju iwọn otutu ti ẹrọ naa laarin ibiti o wa ni aabo. Ni akoko kanna, eto itutu omi tun le ṣe iranlọwọ ni ṣiṣatunṣe iwọn otutu ninu ileru lati mu deede iṣakoso iwọn otutu dara si.

Ètò ìṣàkóso iná mànàmáná

Ètò ìṣàkóso iná mànàmáná ni “ọpọlọ” ilé ìgbóná kan ṣoṣo, tó ń ṣe àbójútó àti ṣíṣàkóso iṣẹ́ gbogbo ohun èlò náà. Ó lè gba àwọn àmì láti ọ̀dọ̀ onírúurú sensọ̀, bíi sensọ̀ iwọ̀n otútù, sensọ̀ titẹ, sensọ̀ ipò, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ, ó sì lè ṣètò àti ṣàkóso ètò ìgbéjáde ẹ̀rọ, ètò ìṣàkóso iwọ̀n otútù, ètò ìgbóná, ètò argon àti ètò ìtútù omi tí ó dá lórí àwọn àmì wọ̀nyí. Fún àpẹẹrẹ, nígbà ìlànà ìdàgbàsókè kristal̀, ètò ìṣàkóso itanna lè ṣàtúnṣe agbára ìgbóná náà láìfọwọ́sí gẹ́gẹ́ bí àmì iwọ̀n otútù tí sensọ̀ iwọ̀n otútù ń fún padà; gẹ́gẹ́ bí ìdàgbàsókè kristal̀ náà, ó lè ṣàkóso iyàrá ìṣípo àti igun yíyípo ti kristal̀ irugbin àti crucible. Ní àkókò kan náà, ètò ìṣàkóso itanna náà ní àwọn iṣẹ́ ìwádìí àṣìṣe àti ìkìlọ̀, èyí tí ó lè ṣàwárí àwọn ipò àìdára ti ohun èlò náà ní àkókò àti rírí i dájú pé ohun èlò náà ṣiṣẹ́ láìléwu.