Монокристалл меш – бул ... колдонгон түзүлүшграфит жылыткычполикристаллдык кремний материалдарын инерттүү газ (аргон) чөйрөсүндө эритүү үчүн жана Чожральский ыкмасын колдонуп, локацияланбаган монокристаллдарды өстүрөт. Ал негизинен төмөнкү системалардан турат:
Механикалык берүү системасы
Механикалык берүү системасы - бул монокристалл мешинин негизги иштөө системасы, ал негизинен кристаллдардын кыймылын башкарууга жооптуу жанатигельдер, анын ичинде үрөн кристаллдарын көтөрүү жана айландыруу, ошондой эле көтөрүү жана айландыруутигельдерАл кристаллдардын жана тигельдердин абалы, ылдамдыгы жана айлануу бурчу сыяктуу параметрлерди кристаллдардын өсүү процессинин жылмакай жүрүшүн камсыз кылуу үчүн так тууралай алат. Мисалы, үрөн себүү, моюнга алуу, ийинге алуу, бирдей диаметрдеги өсүү жана куйрукка алуу сыяктуу кристаллдардын өсүү этаптарында, кристаллдардын өсүү процессинин талаптарын канааттандыруу үчүн үрөн кристаллдарынын жана тигельдердин кыймылын бул система так көзөмөлдөшү керек.
Жылытуу температурасын көзөмөлдөө системасы
Бул монокристалл мештин негизги системаларынын бири болуп саналат, ал жылуулукту өндүрүү жана мештеги температураны так көзөмөлдөө үчүн колдонулат. Ал негизинен жылыткычтар, температура сенсорлору жана температураны жөнгө салгычтар сыяктуу компоненттерден турат. Жылыткыч, адатта, жогорку тазалыктагы графит сыяктуу материалдардан жасалат. Өзгөрмө ток трансформацияланып, токту көбөйтүү үчүн азайтылгандан кийин, жылыткыч тигельдеги поликремний сыяктуу поликристаллдык материалдарды эритүү үчүн жылуулукту өндүрөт. Температура сенсору мештеги температуранын өзгөрүшүн реалдуу убакыт режиминде көзөмөлдөп, температура сигналын температураны жөнгө салгычка жөнөтөт. Температураны жөнгө салгыч белгиленген температура параметрлерине жана кайтарым байланыш температура сигналына ылайык жылытуу кубаттуулугун так көзөмөлдөйт, ошону менен мештеги температуранын туруктуулугун сактап, кристаллдын өсүшү үчүн ылайыктуу температура чөйрөсүн камсыз кылат.
Вакуум системасы
Вакуум системасынын негизги функциясы - кристалл өсүү процессинде меште вакуум чөйрөсүн түзүү жана сактоо. Мештеги аба жана аралашма газдар вакуум насостору жана башка жабдуулар аркылуу бөлүнүп алынып, мештеги газ басымы өтө төмөн деңгээлге, адатта 5TOR (торр) төмөн деңгээлге жеткирилет. Бул кремний материалынын жогорку температурада кычкылданышына жол бербейт жана кристалл өсүүсүнүн тазалыгын жана сапатын камсыздайт. Ошол эле учурда, вакуум чөйрөсү кристалл өсүү процессинде пайда болгон учуучу аралашмаларды кетирүүгө жана кристаллдын сапатын жакшыртууга да өбөлгө түзөт.
Аргон системасы
Аргон системасы монокристалл мешиндеги мештеги басымды коргоодо жана жөнгө салууда роль ойнойт. Чаң соргуч менен тазалоодон кийин, мешке жогорку тазалыктагы аргон газы (тазалыгы 6 9дан жогору болушу керек) толтурулат. Бир жагынан, ал сырткы абанын мешке киришине жол бербейт жана кремний материалдарынын кычкылданышына жол бербейт; экинчи жагынан, аргон газын толтуруу мештеги басымды туруктуу кармап, кристаллдардын өсүшү үчүн ылайыктуу басым чөйрөсүн камсыздай алат. Мындан тышкары, аргон газынын агымы кристаллдардын өсүү процессинде пайда болгон жылуулукту да алып, белгилүү бир муздатуу ролун ойнойт.
Суу муздатуу системасы
Суу муздатуу системасынын функциясы - жабдуулардын нормалдуу иштешин жана кызмат мөөнөтүн камсыз кылуу үчүн монокристалл мешинин ар кандай жогорку температурадагы компоненттерин муздатуу. Монокристалл мештин иштеши учурунда жылыткыч,тигель, электрод жана башка компоненттер көп жылуулукту бөлүп чыгарат. Эгерде алар өз убагында муздатылбаса, жабдуулар ысып кетет, деформацияланат же ал тургай бузулат. Суу менен муздатуу системасы жабдуулардын температурасын коопсуз диапазондо кармап туруу үчүн муздатуучу сууну айландыруу менен бул компоненттердин ысыгын кетирет. Ошол эле учурда, суу менен муздатуу системасы температураны көзөмөлдөөнүн тактыгын жогорулатуу үчүн мештеги температураны жөнгө салууга да жардам бере алат.
Электрдик башкаруу системасы
Электрдик башкаруу системасы монокристалл мештин "мээси" болуп саналат, ал бүтүндөй жабдуулардын иштешин көзөмөлдөө жана башкаруу үчүн жооптуу. Ал температура сенсорлорунан, басым сенсорлорунан, абал сенсорлорунан ж.б. сыяктуу ар кандай сенсорлордон сигналдарды кабыл ала алат жана ушул сигналдардын негизинде механикалык берүү системасын, жылытуу температурасын башкаруу системасын, вакуум системасын, аргон системасын жана суу муздатуу системасын координациялай алат жана башкара алат. Мисалы, кристаллдын өсүү процессинде электрдик башкаруу системасы температура сенсору тарабынан кайтарылган температура сигналына ылайык жылытуу кубаттуулугун автоматтык түрдө тууралай алат; кристаллдын өсүшүнө жараша, ал үрөн кристаллынын жана тигельдин кыймыл ылдамдыгын жана айлануу бурчун башкара алат. Ошол эле учурда, электрдик башкаруу системасында ошондой эле жабдуулардын анормалдуу абалын өз убагында аныктап, жабдуулардын коопсуз иштешин камсыз кыла турган каталарды аныктоо жана сигнал берүү функциялары бар.
Жарыяланган убактысы: 2024-жылдын 23-сентябры