Yon founo monokristal se yon aparèy ki itilize yonaparèy chofaj grafitpou fonn materyèl silikon polikristalin nan yon anviwònman gaz inaktif (agon) epi li itilize metòd Czochralski a pou fè kristal sèl ki pa disloke. Li konpoze sitou de sistèm sa yo:
Sistèm transmisyon mekanik
Sistèm transmisyon mekanik la se sistèm operasyon debaz founo monokristal la, ki responsab sitou pou kontwole mouvman kristal yo akkrisèl, ki gen ladan leve ak wotasyon kristal grenn yo ak leve ak wotasyonkrisèlLi ka ajiste avèk presizyon paramèt tankou pozisyon, vitès ak ang wotasyon kristal yo ak krisòl yo pou asire pwogrè san pwoblèm nan pwosesis kwasans kristal la. Pa egzanp, nan diferan etap kwasans kristal tankou simen, koube, zepòl, kwasans dyamèt egal ak ke, mouvman kristal grenn yo ak krisòl yo bezwen kontwole avèk presizyon pa sistèm sa a pou satisfè egzijans pwosesis kwasans kristal la.
Sistèm kontwòl tanperati chofaj la
Sa a se youn nan sistèm prensipal founo monokristal la, ki itilize pou jenere chalè epi kontwole tanperati a avèk presizyon nan founo a. Li konpoze sitou de konpozan tankou aparèy chofaj, detèktè tanperati, ak kontwolè tanperati. Aparèy chofaj la anjeneral fèt ak materyèl tankou grafit ki gen gwo pite. Apre yo fin transfòme epi redwi kouran altènatif la pou ogmante kouran an, aparèy chofaj la jenere chalè pou fonn materyèl polikristalin tankou polisilikon nan krisòl la. Detèktè tanperati a kontwole chanjman tanperati nan founo a an tan reyèl epi li transmèt siyal tanperati a bay kontwolè tanperati a. Kontwolè tanperati a kontwole avèk presizyon puisans chofaj la selon paramèt tanperati yo fikse ak siyal tanperati fidbak la, kidonk kenbe estabilite tanperati a nan founo a epi bay yon anviwònman tanperati ki apwopriye pou kwasans kristal la.
Sistèm vakyòm
Fonksyon prensipal sistèm vakyòm nan se kreye epi kenbe yon anviwònman vakyòm nan founo a pandan pwosesis kwasans kristal la. Yo retire lè a ak gaz enpurte ki nan founo a atravè ponp vakyòm ak lòt ekipman pou fè presyon gaz la nan founo a rive nan yon nivo ki ba anpil, jeneralman anba 5TOR (torr). Sa ka anpeche materyèl silikon an okside nan tanperati ki wo epi asire pite ak kalite kwasans kristal la. An menm tan, anviwònman vakyòm nan fezab tou pou retire enpurte volatil ki pwodui pandan pwosesis kwasans kristal la epi amelyore kalite kristal la.
Sistèm Agon
Sistèm agon an jwe yon wòl nan pwoteje ak reglemante presyon nan founo a nan founo monokristal la. Apre yo fin pase aspirasyon an, yo mete gaz agon ki gen gwo pite (pite a dwe pi wo pase 6.9) nan founo a. Yon bò, li ka anpeche lè deyò antre nan founo a epi anpeche materyèl silikon yo okside; yon lòt bò, ranpli gaz agon an ka kenbe presyon nan founo a estab epi bay yon anviwònman presyon ki apwopriye pou kwasans kristal la. Anplis de sa, koule gaz agon an kapab retire chalè ki pwodui pandan pwosesis kwasans kristal la, sa ki jwe yon sèten wòl refwadisman.
Sistèm refwadisman dlo
Fonksyon sistèm refwadisman dlo a se pou refwadi divès konpozan ki nan gwo tanperati nan founo monokristal la pou asire fonksyònman nòmal ak lavi sèvis ekipman an. Pandan fonksyònman founo monokristal la, aparèy chofaj la,kris, elektwòd ak lòt konpozan yo ap pwodui anpil chalè. Si yo pa refwadi alè, ekipman an ap chofe twòp, defòme oswa menm domaje. Sistèm refwadisman dlo a retire chalè konpozan sa yo lè li sikile dlo refwadisman pou kenbe tanperati ekipman an nan yon limit ki an sekirite. An menm tan, sistèm refwadisman dlo a kapab ede tou nan ajiste tanperati a nan fou a pou amelyore presizyon kontwòl tanperati a.
Sistèm kontwòl elektrik
Sistèm kontwòl elektrik la se "sèvo" founo monokristal la, li responsab pou siveye ak kontwole fonksyònman tout ekipman an. Li ka resevwa siyal ki soti nan divès detèktè, tankou detèktè tanperati, detèktè presyon, detèktè pozisyon, elatriye, epi kowòdone ak kontwole sistèm transmisyon mekanik la, sistèm kontwòl tanperati chofaj la, sistèm vakyòm nan, sistèm agon an ak sistèm refwadisman dlo a ki baze sou siyal sa yo. Pa egzanp, pandan pwosesis kwasans kristal la, sistèm kontwòl elektrik la ka otomatikman ajiste puisans chofaj la selon siyal tanperati a ke detèktè tanperati a voye; selon kwasans kristal la, li ka kontwole vitès mouvman ak ang wotasyon kristal grenn nan ak krisòl la. An menm tan, sistèm kontwòl elektrik la genyen tou fonksyon dyagnostik fay ak alam, ki ka detekte kondisyon anòmal nan ekipman an alè epi asire fonksyònman ekipman an an sekirite.
Dat piblikasyon: 23 septanm 2024