single crystal furnace သည် အသုံးပြုသော ကိရိယာတစ်ခုဖြစ်သည်ဂရပ်ဖိုက်အပူပေးစက်inert gas (argon) ပတ်ဝန်းကျင်တွင် polycrystalline silicon ပစ္စည်းများကို အရည်ပျော်စေရန်နှင့် Czochralski နည်းလမ်းကို အသုံးပြု၍ non-dislocated single crystals များ ကြီးထွားစေရန်။ ၎င်းတွင် အဓိကအားဖြင့် အောက်ပါစနစ်များဖြင့် ဖွဲ့စည်းထားသည်-
စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂီယာစနစ်
စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂီယာစနစ်သည် single crystal furnace ၏ အခြေခံလည်ပတ်မှုစနစ်ဖြစ်ပြီး၊ အဓိကအားဖြင့် crystal များ၏ ရွေ့လျားမှုကို ထိန်းချုပ်ရန်နှင့်ခွက်များမျိုးစေ့ပုံဆောင်ခဲများ မြှောက်တင်ခြင်းနှင့် လှည့်ပတ်ခြင်းနှင့် မြှောက်တင်ခြင်းနှင့် လှည့်ပတ်ခြင်း အပါအဝင်ခွက်များ။ ၎င်းသည် ပုံဆောင်ခဲများ ကြီးထွားမှုလုပ်ငန်းစဉ် ချောမွေ့စွာတိုးတက်မှုရှိစေရန် ပုံဆောင်ခဲများနှင့် ခွက်များ၏ အနေအထား၊ အမြန်နှုန်းနှင့် လည်ပတ်ထောင့်ကဲ့သို့သော ကန့်သတ်ချက်များကို တိကျစွာ ချိန်ညှိနိုင်သည်။ ဥပမာအားဖြင့်၊ မျိုးစေ့ကြဲခြင်း၊ လည်ပင်း၊ ပခုံး၊ အချင်းညီမျှသော ကြီးထွားမှုနှင့် အမြီးကဲ့သို့သော မတူညီသော ပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမှုအဆင့်များတွင်၊ ပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမှု၏ လုပ်ငန်းစဉ်လိုအပ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီစေရန် မျိုးစေ့ပုံဆောင်ခဲများနှင့် ခွက်များ၏ ရွေ့လျားမှုကို ဤစနစ်ဖြင့် တိကျစွာ ထိန်းချုပ်ရန် လိုအပ်သည်။
အပူပေးအပူချိန်ထိန်းချုပ်စနစ်
၎င်းသည် single crystal မီးဖို၏ အဓိကစနစ်များထဲမှ တစ်ခုဖြစ်ပြီး၊ ၎င်းကို အပူထုတ်ပေးရန်နှင့် မီးဖိုအတွင်းရှိ အပူချိန်ကို တိကျစွာထိန်းချုပ်ရန် အသုံးပြုသည်။ ၎င်းကို အဓိကအားဖြင့် အပူပေးစက်များ၊ အပူချိန်အာရုံခံကိရိယာများနှင့် အပူချိန်ထိန်းချုပ်ကိရိယာများကဲ့သို့သော အစိတ်အပိုင်းများဖြင့် ဖွဲ့စည်းထားသည်။ အပူပေးစက်ကို များသောအားဖြင့် မြင့်မားသောသန့်စင်မှုရှိသော ဂရပ်ဖိုက်ကဲ့သို့သော ပစ္စည်းများဖြင့် ပြုလုပ်ထားသည်။ လျှပ်စီးကြောင်းကို တိုးမြှင့်ရန် ပြောင်းလဲနေသော လျှပ်စီးကြောင်းကို ပြောင်းလဲပြီး လျှော့ချပြီးနောက်၊ အပူပေးစက်သည် crucible တွင် polysilicon ကဲ့သို့သော polycrystalline ပစ္စည်းများကို အရည်ပျော်စေရန် အပူထုတ်ပေးသည်။ အပူချိန်အာရုံခံကိရိယာသည် မီးဖိုအတွင်းရှိ အပူချိန်ပြောင်းလဲမှုများကို အချိန်နှင့်တပြေးညီ စောင့်ကြည့်ပြီး အပူချိန်အချက်ပြမှုကို အပူချိန်ထိန်းချုပ်ကိရိယာသို့ ပေးပို့သည်။ အပူချိန်ထိန်းချုပ်ကိရိယာသည် သတ်မှတ်ထားသော အပူချိန်ကန့်သတ်ချက်များနှင့် တုံ့ပြန်ချက်အပူချိန်အချက်ပြမှုအရ အပူပေးစွမ်းအားကို တိကျစွာထိန်းချုပ်ပေးပြီး မီးဖိုအတွင်းရှိ အပူချိန်၏တည်ငြိမ်မှုကို ထိန်းသိမ်းပေးပြီး ပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမှုအတွက် သင့်လျော်သော အပူချိန်ပတ်ဝန်းကျင်ကို ပေးစွမ်းသည်။
ဖုန်စုပ်စနစ်
ဖုန်စုပ်စနစ်၏ အဓိကလုပ်ဆောင်ချက်မှာ ပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမှုလုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း မီးဖို၌ ဖုန်စုပ်ပတ်ဝန်းကျင်ကို ဖန်တီးထိန်းသိမ်းရန်ဖြစ်သည်။ မီးဖိုရှိလေနှင့် မသန့်စင်သောဓာတ်ငွေ့များကို ဖုန်စုပ်စုပ်စက်များနှင့် အခြားပစ္စည်းများမှတစ်ဆင့် ထုတ်ယူပြီး မီးဖိုရှိဓာတ်ငွေ့ဖိအားကို 5TOR (torr) အောက် အလွန်နိမ့်သောအဆင့်သို့ ရောက်ရှိစေရန် ပြုလုပ်သည်။ ၎င်းသည် ဆီလီကွန်ပစ္စည်းကို မြင့်မားသောအပူချိန်တွင် အောက်ဆီဒိုက်မဖြစ်အောင် ကာကွယ်ပေးနိုင်ပြီး ပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမှု၏ သန့်ရှင်းစင်ကြယ်မှုနှင့် အရည်အသွေးကို သေချာစေသည်။ တစ်ချိန်တည်းမှာပင်၊ ဖုန်စုပ်ပတ်ဝန်းကျင်သည် ပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမှုလုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း ဖြစ်ပေါ်လာသော မတည်ငြိမ်သော မသန့်စင်မှုများကို ဖယ်ရှားပေးပြီး ပုံဆောင်ခဲ၏ အရည်အသွေးကို မြှင့်တင်ပေးပါသည်။
အာဂွန်စနစ်
အာဂွန်စနစ်သည် တစ်ခုတည်းသော ပုံဆောင်ခဲမီးဖိုရှိ မီးဖိုရှိ ဖိအားကို ကာကွယ်ခြင်းနှင့် ထိန်းညှိခြင်းတွင် အခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်သည်။ ဖုန်စုပ်ပြီးနောက်၊ မြင့်မားသော သန့်ရှင်းစင်ကြယ်မှု အာဂွန်ဓာတ်ငွေ့ (သန့်ရှင်းစင်ကြယ်မှု ၆.၉ အထက်ရှိရမည်) ကို မီးဖိုထဲသို့ ဖြည့်သွင်းသည်။ တစ်ဖက်တွင်၊ ၎င်းသည် ပြင်ပလေကို မီးဖိုထဲသို့ ဝင်ရောက်ခြင်းမှ ကာကွယ်ပေးပြီး ဆီလီကွန်ပစ္စည်းများ အောက်ဆီဒေးရှင်းဖြစ်ခြင်းမှ ကာကွယ်ပေးသည်။ အခြားတစ်ဖက်တွင်၊ အာဂွန်ဓာတ်ငွေ့ဖြည့်သွင်းခြင်းသည် မီးဖိုရှိ ဖိအားကို တည်ငြိမ်စွာ ထိန်းသိမ်းနိုင်ပြီး ပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမှုအတွက် သင့်လျော်သော ဖိအားပတ်ဝန်းကျင်ကို ပေးစွမ်းနိုင်သည်။ ထို့အပြင်၊ အာဂွန်ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုသည် ပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမှုလုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း ဖြစ်ပေါ်လာသော အပူကိုလည်း ဖယ်ရှားပေးနိုင်ပြီး အအေးပေးသည့် အခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်ပါသည်။
ရေအေးပေးစနစ်
ရေအအေးပေးစနစ်၏ လုပ်ဆောင်ချက်မှာ စက်ပစ္စည်းများ၏ ပုံမှန်လည်ပတ်မှုနှင့် ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းကို သေချာစေရန်အတွက် single crystal furnace ၏ အပူချိန်မြင့် အစိတ်အပိုင်းအမျိုးမျိုးကို အအေးပေးရန်ဖြစ်သည်။ single crystal furnace လည်ပတ်နေစဉ်အတွင်း၊ အပူပေးစက်၊ခွက်၊ အီလက်ထရုတ်နှင့် အခြားအစိတ်အပိုင်းများသည် အပူများစွာ ထုတ်ပေးလိမ့်မည်။ ၎င်းတို့ကို အချိန်မီ အအေးမခံပါက စက်ပစ္စည်းသည် အပူလွန်ကဲခြင်း၊ ပုံပျက်ခြင်း သို့မဟုတ် ပျက်စီးခြင်းပင် ဖြစ်လိမ့်မည်။ ရေအအေးပေးစနစ်သည် စက်ပစ္စည်း၏ အပူချိန်ကို ဘေးကင်းသော အတိုင်းအတာအတွင်း ထိန်းထားရန် အအေးပေးရေကို လည်ပတ်စေခြင်းဖြင့် ဤအစိတ်အပိုင်းများ၏ အပူကို ဖယ်ရှားပေးသည်။ တစ်ချိန်တည်းမှာပင်၊ ရေအအေးပေးစနစ်သည် အပူချိန်ထိန်းချုပ်မှု၏ တိကျမှုကို မြှင့်တင်ရန် မီးဖိုရှိ အပူချိန်ကို ချိန်ညှိရာတွင်လည်း ကူညီပေးနိုင်သည်။
လျှပ်စစ်ထိန်းချုပ်စနစ်
လျှပ်စစ်ထိန်းချုပ်စနစ်သည် တစ်ခုတည်းသော ပုံဆောင်ခဲမီးဖို၏ “ဦးနှောက်” ဖြစ်ပြီး စက်ပစ္စည်းတစ်ခုလုံး၏ လည်ပတ်မှုကို စောင့်ကြည့်ထိန်းချုပ်ရန် တာဝန်ရှိသည်။ ၎င်းသည် အပူချိန်အာရုံခံကိရိယာများ၊ ဖိအားအာရုံခံကိရိယာများ၊ အနေအထားအာရုံခံကိရိယာများ စသည်တို့ကဲ့သို့သော အာရုံခံကိရိယာများမှ အချက်ပြမှုများကို လက်ခံရရှိနိုင်ပြီး ဤအချက်ပြမှုများအပေါ် အခြေခံ၍ စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂီယာစနစ်၊ အပူပေးအပူချိန်ထိန်းချုပ်စနစ်၊ လေဟာနယ်စနစ်၊ အာဂွန်စနစ်နှင့် ရေအအေးပေးစနစ်တို့ကို ညှိနှိုင်းထိန်းချုပ်နိုင်သည်။ ဥပမာအားဖြင့်၊ ပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမှုလုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း၊ လျှပ်စစ်ထိန်းချုပ်စနစ်သည် အပူချိန်အာရုံခံကိရိယာမှ ပြန်လည်ပေးပို့သော အပူချိန်အချက်ပြမှုအရ အပူပေးစွမ်းအားကို အလိုအလျောက် ချိန်ညှိနိုင်သည်။ ပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမှုအရ၊ အစေ့ပုံဆောင်ခဲနှင့် crucible ၏ ရွေ့လျားမှုအမြန်နှုန်းနှင့် လည်ပတ်ထောင့်ကို ထိန်းချုပ်နိုင်သည်။ တစ်ချိန်တည်းမှာပင်၊ လျှပ်စစ်ထိန်းချုပ်စနစ်တွင် ချို့ယွင်းချက်ရှာဖွေခြင်းနှင့် အချက်ပေးလုပ်ဆောင်ချက်များလည်း ရှိပြီး စက်ပစ္စည်း၏ ပုံမှန်မဟုတ်သော အခြေအနေများကို အချိန်မီ ထောက်လှမ်းနိုင်ပြီး စက်ပစ္စည်း၏ ဘေးကင်းသောလည်ပတ်မှုကို သေချာစေသည်။
ပို့စ်တင်ချိန်: ၂၀၂၄ ခုနှစ်၊ စက်တင်ဘာလ ၂၃ ရက်