Mifumo sita ya tanuru moja ya fuwele ni ipi?

Tanuru moja ya kioo ni kifaa kinachotumiahita ya grafitikuyeyusha vifaa vya silikoni ya poliklistoni katika mazingira ya gesi isiyo na gesi (argon) na hutumia mbinu ya Czochralski kukuza fuwele moja zisizotengana. Imeundwa zaidi na mifumo ifuatayo:

Mfumo wa upitishaji wa mitambo

Mfumo wa upitishaji wa mitambo ndio mfumo wa msingi wa uendeshaji wa tanuru moja ya fuwele, ambayo inawajibika hasa kudhibiti mwendo wa fuwele navitu vya kusulubiwa, ikiwa ni pamoja na kuinua na kuzungusha fuwele za mbegu na kuinua na kuzungushavitu vya kusulubiwaInaweza kurekebisha kwa usahihi vigezo kama vile nafasi, kasi na pembe ya mzunguko wa fuwele na vitoweo ili kuhakikisha maendeleo laini ya mchakato wa ukuaji wa fuwele. Kwa mfano, katika hatua tofauti za ukuaji wa fuwele kama vile kupanda mbegu, kushika shingo, kushika mabega, ukuaji na mkia wa kipenyo sawa, harakati za fuwele na vitoweo vya mbegu zinahitaji kudhibitiwa kwa usahihi na mfumo huu ili kukidhi mahitaji ya mchakato wa ukuaji wa fuwele.

Mfumo wa kudhibiti halijoto ya kupasha joto

Hii ni mojawapo ya mifumo ya msingi ya tanuru moja ya fuwele, ambayo hutumika kutoa joto na kudhibiti kwa usahihi halijoto katika tanuru. Inaundwa zaidi na vipengele kama vile hita, vitambuzi vya halijoto, na vidhibiti vya halijoto. Hita kwa kawaida hutengenezwa kwa vifaa kama vile grafiti ya usafi wa hali ya juu. Baada ya mkondo mbadala kubadilishwa na kupunguzwa ili kuongeza mkondo, hita hutoa joto ili kuyeyusha vifaa vya polikristali kama vile polisiliconi kwenye chombo cha kuchomea. Kitambuzi cha halijoto hufuatilia mabadiliko ya halijoto katika tanuru kwa wakati halisi na hutuma ishara ya halijoto kwa kidhibiti cha halijoto. Kidhibiti cha halijoto hudhibiti kwa usahihi nguvu ya joto kulingana na vigezo vya halijoto vilivyowekwa na ishara ya halijoto ya maoni, na hivyo kudumisha uthabiti wa halijoto katika tanuru na kutoa mazingira yanayofaa ya halijoto kwa ukuaji wa fuwele.

Mfumo wa utupu

Kazi kuu ya mfumo wa utupu ni kuunda na kudumisha mazingira ya utupu katika tanuru wakati wa mchakato wa ukuaji wa fuwele. Gesi za hewa na uchafu katika tanuru hutolewa kupitia pampu za utupu na vifaa vingine ili kufanya shinikizo la gesi katika tanuru lifikie kiwango cha chini sana, kwa ujumla chini ya 5TOR (torr). Hii inaweza kuzuia nyenzo za silikoni kuoksidishwa katika halijoto ya juu na kuhakikisha usafi na ubora wa ukuaji wa fuwele. Wakati huo huo, mazingira ya utupu pia yanafaa kuondoa uchafu tete unaotokana wakati wa mchakato wa ukuaji wa fuwele na kuboresha ubora wa fuwele.

Mfumo wa Argon

Mfumo wa argon una jukumu la kulinda na kudhibiti shinikizo katika tanuru katika tanuru moja ya fuwele. Baada ya kusafisha kwa utupu, gesi ya argon yenye usafi wa hali ya juu (usafi lazima uwe juu ya 6 9) hujazwa ndani ya tanuru. Kwa upande mmoja, inaweza kuzuia hewa ya nje kuingia kwenye tanuru na kuzuia vifaa vya silikoni kuoksidishwa; kwa upande mwingine, kujazwa kwa gesi ya argon kunaweza kudumisha shinikizo katika tanuru kuwa thabiti na kutoa mazingira yanayofaa ya shinikizo kwa ukuaji wa fuwele. Kwa kuongezea, mtiririko wa gesi ya argon unaweza pia kuondoa joto linalozalishwa wakati wa mchakato wa ukuaji wa fuwele, na kuchukua jukumu fulani la kupoeza.

Mfumo wa kupoeza maji

Kazi ya mfumo wa kupoeza maji ni kupoeza vipengele mbalimbali vya halijoto ya juu vya tanuru moja ya fuwele ili kuhakikisha uendeshaji wa kawaida na maisha ya huduma ya vifaa. Wakati wa uendeshaji wa tanuru moja ya fuwele, hita,msalaba, elektrodi na vipengele vingine vitatoa joto nyingi. Ikiwa havitapozwa kwa wakati, vifaa vitapasha joto kupita kiasi, vitaharibika au hata kuharibika. Mfumo wa kupoeza maji huondoa joto la vipengele hivi kwa kusambaza maji ya kupoeza ili kuweka halijoto ya vifaa ndani ya kiwango salama. Wakati huo huo, mfumo wa kupoeza maji unaweza pia kusaidia katika kurekebisha halijoto katika tanuru ili kuboresha usahihi wa udhibiti wa halijoto.

Mfumo wa kudhibiti umeme

Mfumo wa udhibiti wa umeme ni "ubongo" wa tanuru moja ya fuwele, unaowajibika kwa ufuatiliaji na udhibiti wa uendeshaji wa vifaa vyote. Unaweza kupokea ishara kutoka kwa vitambuzi mbalimbali, kama vile vitambuzi vya halijoto, vitambuzi vya shinikizo, vitambuzi vya nafasi, n.k., na kuratibu na kudhibiti mfumo wa upitishaji wa mitambo, mfumo wa kudhibiti halijoto ya kupasha joto, mfumo wa utupu, mfumo wa argon na mfumo wa kupoeza maji kulingana na ishara hizi. Kwa mfano, wakati wa mchakato wa ukuaji wa fuwele, mfumo wa udhibiti wa umeme unaweza kurekebisha kiotomatiki nguvu ya kupasha joto kulingana na ishara ya halijoto inayolishwa na kitambuzi cha halijoto; kulingana na ukuaji wa fuwele, unaweza kudhibiti kasi ya mwendo na pembe ya mzunguko wa fuwele ya mbegu na kitu kinachoweza kuchomwa. Wakati huo huo, mfumo wa udhibiti wa umeme pia una kazi za utambuzi wa hitilafu na kengele, ambazo zinaweza kugundua hali zisizo za kawaida za vifaa kwa wakati na kuhakikisha uendeshaji salama wa vifaa.