Chitofu chimwe chete chekristaro chinhu chinoshandisagirafu yegirafukunyungudutsa zvinhu zve polycrystalline silicon munzvimbo isina gasi (argon) uye inoshandisa nzira yeCzochralski kukura makristaro madiki asina kubviswa. Inonyanya kuumbwa nemaitiro anotevera:
Sisitimu yekutumira michina
Sisitimu yekutumira michina ndiyo sisitimu yekutanga yekushanda kwechoto chekristaro chimwe chete, iyo inonyanya kuita basa rekudzora kufamba kwemakristaro uyezviyo zvemoto, kusanganisira kusimudza nekutenderera kwemakristaro embeu uye kusimudza nekutenderera kwezviyo zvemotoInogona kugadzirisa nemazvo ma parameter akadai senzvimbo, kumhanya uye kona yekutenderera kwemakristaro nema crucibles kuti ive nechokwadi chekufambira mberi kwakanaka kwemaitiro ekukura kwemakristaro. Semuenzaniso, muzvikamu zvakasiyana zvekukura kwemakristaro zvakaita sekudyara mbeu, kukwesha mutsipa, kukwesha fudzi, kukura kwakaenzana kwedhayamita uye kukwesha tail, kufamba kwemakristaro embeu nema crucibles kunofanirwa kudzorwa nemazvo nehurongwa uhwu kuti kusangane nezvinodiwa zvekukura kwemakristaro.
Sisitimu yekudzora tembiricha yekudziyisa
Iyi ndeimwe yenzira huru dzechoto chekristaro chimwe chete, chinoshandiswa kugadzira kupisa uye kudzora tembiricha muchoto nemazvo. Chinonyanya kuumbwa nezvinhu zvakaita semaheater, ma temperature sensors, uye ma temperature controllers. Chitocho chinowanzo gadzirwa nezvinhu zvakaita se high-purity graphite. Mushure mekunge alternating current yashandurwa uye yaderedzwa kuti iwedzere current, heater inogadzira kupisa kuti inyungudise zvinhu zve polycrystalline zvakaita se polysilicon mu crucible. Chitocho chekupisa chinotarisa shanduko dzetembiricha muchoto munguva chaiyo uye chinotumira chiratidzo chetembiricha kumutocho wekupisa. Chitocho chekupisa chinodzora simba rekupisa nemazvo zvichienderana ne parameters dzetembiricha dzakatarwa uye chiratidzo che feedback temperature, nokudaro chichichengetedza kugadzikana kwetembiricha muchoto uye chichipa nzvimbo yakakodzera yetembiricha yekukura kwekristaro.
Sisitimu yekubvisa chando
Basa guru remuchina wekubvisa tsvina nderekugadzira nekuchengetedza nzvimbo yekubvisa tsvina muchoto panguva yekukura kwekristaro. Mhepo nemagasi asina kuchena muchoto zvinoburitswa kuburikidza nemapombi ekubvisa tsvina nezvimwe zvishandiso kuti kumanikidzwa kwegesi muchoto kusvike padanho rakaderera zvakanyanya, kazhinji pasi pe5TOR (torr). Izvi zvinogona kudzivirira zvinhu zvesilicon kuti zvisaoxidized pakupisa kwakanyanya uye kuve nechokwadi chekuchena uye kunaka kwekukura kwekristaro. Panguva imwe chete, nzvimbo yekubvisa tsvina inobatsirawo kubvisa tsvina inoshanduka inogadzirwa panguva yekukura kwekristaro uye kuvandudza kunaka kwekristaro.
Sisitimu yeArgon
Sisitimu yeargon inoita basa rekudzivirira nekudzora kumanikidzwa muchoto muchoto chekristaro chimwe chete. Mushure mekupukuta, gasi reargon rakachena kwazvo (kuchena kunofanira kunge kuri pamusoro pe6 9) rinozadzwa muchoto. Kune rumwe rutivi, rinogona kudzivirira mhepo yekunze kupinda muchoto uye kudzivirira zvinhu zvesilicon kuti zvisaoxidized; kune rumwe rutivi, kuzadzwa kwegasi reargon kunogona kuchengetedza kumanikidzwa muchoto kwakasimba uye kupa nzvimbo yakakodzera yekumanikidzwa kwekristaro. Pamusoro pezvo, kuyerera kwegasi reargon kunogonawo kubvisa kupisa kunogadzirwa panguva yekukura kwekristaro, zvichiita basa rakati rekuti kutonhodze.
Sisitimu yekutonhodza mvura
Basa remuchina wekutonhodza mvura nderekutonhodza zvikamu zvakasiyana-siyana zvemuchina wekristaro imwe chete kuti zvive nechokwadi chekuti michina inoshanda zvakanaka uye inoshanda kwenguva refu. Panguva yekushanda kwemuchina wekristaro imwe chete, muchina wekupisa,chipfuro chemoto, maerekitirodhi nezvimwe zvikamu zvinogadzira kupisa kwakawanda. Kana zvikasatonhodzwa nenguva, michina inozopisa zvakanyanya, inochinja chimiro kana kutokuvara. Sisitimu yekutonhodza mvura inobvisa kupisa kwezvikamu izvi nekutenderedza mvura inotonhodza kuti tembiricha yemidziyo igare iri munzvimbo yakachengeteka. Panguva imwe chete, sisitimu yekutonhodza mvura inogonawo kubatsira mukugadzirisa tembiricha muchoto kuti ivandudze kururama kwekudzora tembiricha.
Sisitimu yekudzora magetsi
Sisitimu yekudzora magetsi ndiyo "pfungwa" yechoto chekristaro chimwe chete, ine basa rekutarisa nekudzora mashandiro emidziyo yese. Inogona kugamuchira zviratidzo kubva kumasensa akasiyana-siyana, akadai semasensa ekupisa, masensa ekumanikidza, masensa enzvimbo, nezvimwewo, uye inobatanidza nekudzora sisitimu yekutumira michina, sisitimu yekudzora tembiricha yekupisa, sisitimu yekubvisa mvura, sisitimu yeargon uye sisitimu yekutonhodza mvura zvichibva pamasaini aya. Semuenzaniso, panguva yekukura kwekristaro, sisitimu yekudzora magetsi inogona kugadzirisa otomatiki simba rekupisa zvichienderana nechiratidzo chetembiricha chinodzoserwa nesensa yekupisa; zvichienderana nekukura kwekristaro, inogona kudzora kumhanya kwekufamba uye kona yekutenderera kwekristaro yembeu necrucible. Panguva imwecheteyo, sisitimu yekudzora magetsi inewo mabasa ekuongorora zvikanganiso uye alarm, ayo anogona kuona mamiriro asina kunaka emidziyo nenguva uye kuona kuti michina inoshanda zvakachengeteka.
Nguva yekutumira: Gunyana-23-2024