Unsa ang unom ka sistema sa usa ka single crystal furnace

Ang single crystal furnace usa ka aparato nga naggamit ugpampainit sa grapaytaron matunaw ang mga materyales nga polycrystalline silicon sa usa ka inert gas (argon) nga palibot ug gamiton ang pamaagi sa Czochralski aron motubo ang mga non-dislocated single crystals. Kini kasagaran gilangkoban sa mosunod nga mga sistema:

Mekanikal nga sistema sa transmisyon

Ang mekanikal nga sistema sa transmisyon mao ang sukaranan nga sistema sa pag-operate sa usa ka kristal nga hurno, nga panguna nga responsable sa pagkontrol sa paglihok sa mga kristal ugmga tunawan sa kalayo, lakip ang pag-alsa ug pagtuyok sa mga kristal sa liso ug ang pag-alsa ug pagtuyok samga tunawan sa kalayoMahimo niini nga tukma nga i-adjust ang mga parametro sama sa posisyon, katulin ug anggulo sa pagtuyok sa mga kristal ug mga crucible aron masiguro ang hapsay nga pag-uswag sa proseso sa pagtubo sa kristal. Pananglitan, sa lainlaing mga yugto sa pagtubo sa kristal sama sa pagpugas, pag-necking, pag-shoulder, pagtubo nga parehas ang diyametro ug pag-tailing, ang paglihok sa mga kristal sa liso ug mga crucible kinahanglan nga tukma nga makontrol niini nga sistema aron matubag ang mga kinahanglanon sa proseso sa pagtubo sa kristal.

Sistema sa pagkontrol sa temperatura sa pagpainit

Usa kini sa mga kinauyokan nga sistema sa single crystal furnace, nga gigamit sa pagmugna og kainit ug tukma nga pagkontrol sa temperatura sa furnace. Kini gilangkoban sa mga sangkap sama sa mga heater, temperature sensor, ug temperature controller. Ang heater kasagaran hinimo sa mga materyales sama sa high-purity graphite. Human mabag-o ug maminusan ang alternating current aron madugangan ang current, ang heater makamugna og kainit aron matunaw ang mga polycrystalline nga materyales sama sa polysilicon sa crucible. Ang temperature sensor nagmonitor sa mga pagbag-o sa temperatura sa furnace sa tinuod nga oras ug nagpadala sa signal sa temperatura ngadto sa temperature controller. Ang temperature controller tukma nga nagkontrol sa heating power sumala sa gitakda nga mga parameter sa temperatura ug sa feedback temperature signal, sa ingon nagmintinar sa kalig-on sa temperatura sa furnace ug naghatag og angay nga palibot sa temperatura alang sa pagtubo sa kristal.

Sistema sa vacuum

Ang pangunang gimbuhaton sa sistema sa vacuum mao ang paghimo ug pagmentinar sa usa ka palibot nga vacuum sa hurno atol sa proseso sa pagtubo sa kristal. Ang hangin ug mga gas nga hugaw sa hurno gikuha pinaagi sa mga vacuum pump ug uban pang kagamitan aron ang presyur sa gas sa hurno makaabot sa usa ka ubos kaayo nga lebel, kasagaran ubos sa 5TOR (torr). Kini makapugong sa materyal nga silicon nga ma-oxidize sa taas nga temperatura ug masiguro ang kaputli ug kalidad sa pagtubo sa kristal. Sa samang higayon, ang palibot nga vacuum makatabang usab sa pagtangtang sa dali moalisngaw nga mga hugaw nga namugna atol sa proseso sa pagtubo sa kristal ug pagpauswag sa kalidad sa kristal.

Sistema sa Argon

Ang sistema sa argon adunay papel sa pagpanalipod ug pag-regulate sa presyur sa hurno sa single crystal furnace. Human sa pag-vacuum, ang high-purity argon gas (ang kaputli kinahanglan nga labaw sa 6 9) isulod sa hurno. Sa usa ka bahin, mapugngan niini ang pagsulod sa hangin gikan sa gawas sa hurno ug mapugngan ang pag-oxidize sa mga materyales sa silicon; sa laing bahin, ang pagpuno sa argon gas makapadayon sa presyur sa hurno nga lig-on ug makahatag og angay nga palibot sa presyur para sa pagtubo sa kristal. Dugang pa, ang pag-agos sa argon gas makatangtang usab sa kainit nga namugna atol sa proseso sa pagtubo sa kristal, nga adunay papel sa pagpabugnaw.

Sistema sa pagpabugnaw sa tubig

Ang gimbuhaton sa sistema sa pagpabugnaw sa tubig mao ang pagpabugnaw sa lainlaing mga sangkap nga taas og temperatura sa single crystal furnace aron masiguro ang normal nga operasyon ug kinabuhi sa serbisyo sa kagamitan. Atol sa operasyon sa single crystal furnace, ang heater,tunawan sa kalayo, elektrod ug uban pang mga sangkap makamugna og daghang kainit. Kung dili kini pabugnawon sa hustong panahon, ang kagamitan moinit pag-ayo, mausab ang porma o madaot pa gani. Ang sistema sa pagpabugnaw sa tubig mokuha sa kainit niini nga mga sangkap pinaagi sa pagsirkular sa tubig nga makapabugnaw aron mapadayon ang temperatura sa kagamitan sulod sa luwas nga range. Sa samang higayon, ang sistema sa pagpabugnaw sa tubig makatabang usab sa pag-adjust sa temperatura sa hurno aron mapaayo ang katukma sa pagkontrol sa temperatura.

Sistema sa pagkontrol sa kuryente

Ang electrical control system mao ang "utok" sa single crystal furnace, nga responsable sa pagmonitor ug pagkontrol sa operasyon sa tibuok kagamitan. Makadawat kini og mga signal gikan sa lain-laing mga sensor, sama sa temperature sensors, pressure sensors, position sensors, ug uban pa, ug mo-coordinate ug mokontrol sa mechanical transmission system, heating temperature control system, vacuum system, argon system ug water cooling system base niining mga signal. Pananglitan, atol sa proseso sa pagtubo sa kristal, ang electrical control system awtomatikong maka-adjust sa heating power sumala sa temperature signal nga gipabalik sa temperature sensor; sumala sa pagtubo sa kristal, makontrol niini ang movement speed ug rotation angle sa seed crystal ug crucible. Sa samang higayon, ang electrical control system adunay usab fault diagnosis ug alarm functions, nga maka-detect sa abnormal nga kondisyon sa kagamitan sa tukmang panahon ug makasiguro sa luwas nga operasyon sa kagamitan.