Sebōpi se le seng sa kristale ke sesebelisoa se sebelisanghitara ea graphiteho qhibilihisa thepa ea silicon ea polycrystalline tikolohong e se nang khase (argon) 'me e sebelisa mokhoa oa Czochralski ho holisa likristale tse le' ngoe tse sa arohaneng. Haholo-holo e entsoe ka litsamaiso tse latelang:
Sistimi ea phetiso ea mechini
Sistimi ea phetiso ea mechini ke sistimi ea motheo ea ts'ebetso ea sebōpi se le seng sa kristale, e ikarabellang haholo-holo bakeng sa ho laola motsamao oa likristale lelithupa tsa mollo, ho kenyeletsoa le ho phahamisa le ho potoloha ha likristale tsa peo le ho phahamisa le ho potoloha halithupa tsa mollo. E ka fetola ka nepo diparamente tse kang boemo, lebelo le sekhutlo sa ho potoloha ha dikristale le di-crucible ho netefatsa kgatelopele e boreleli ya tshebetso ya kgolo ya kristale. Mohlala, mehatong e fapaneng ya kgolo ya kristale jwalo ka ho jala peo, ho kenya molala, ho tshwara mahetla, kgolo e lekanang ya bophara le ho hula mohatla, motsamao wa dikristale tsa peo le di-crucible o hloka ho laolwa ka nepo ke sistimi ena ho fihlela ditlhoko tsa tshebetso ya kgolo ya kristale.
Sistimi ea taolo ea mocheso o futhumatsang
Ena ke e 'ngoe ea litsamaiso tsa mantlha tsa sebōpi sa kristale se le seng, se sebelisetsoang ho hlahisa mocheso le ho laola mocheso ka nepo ka sebōping. Haholo-holo se entsoe ka likarolo tse kang li-heater, li-sensor tsa mocheso, le balaoli ba mocheso. Hangata sehatsetsi se etsoa ka thepa e kang graphite e hloekileng haholo. Ka mor'a hore motlakase o fetohang o fokotsoe ho eketsa motlakase, sehatsetsi se hlahisa mocheso ho qhibilihisa thepa ea polycrystalline e kang polysilicon ka har'a sebōpi. Sensor ea mocheso e hlokomela liphetoho tsa mocheso ka har'a sebōpi ka nako ea sebele 'me e fetisetsa letšoao la mocheso ho molaoli oa mocheso. Molaoli oa mocheso o laola ka nepo matla a ho futhumatsa ho latela liparamente tsa mocheso tse behiloeng le letšoao la mocheso oa maikutlo, ka hona o boloka botsitso ba mocheso ka har'a sebōpi le ho fana ka tikoloho e loketseng ea mocheso bakeng sa kholo ea kristale.
Sistimi ea vacuum
Mosebetsi o ka sehloohong oa sistimi ea vacuum ke ho theha le ho boloka tikoloho ea vacuum ka sebōping nakong ea ts'ebetso ea kholo ea kristale. Likhase tsa moea le litšila ka sebōping li ntšoa ka lipompo tsa vacuum le lisebelisoa tse ling ho etsa hore khatello ea khase ka sebōping e fihle boemong bo tlase haholo, ka kakaretso e ka tlase ho 5TOR (torr). Sena se ka thibela thepa ea silicon ho oxidized mochesong o phahameng le ho netefatsa bohloeki le boleng ba kholo ea kristale. Ka nako e ts'oanang, tikoloho ea vacuum le eona e thusa ho tlosa litšila tse feto-fetohang tse hlahisoang nakong ea ts'ebetso ea kholo ea kristale le ho ntlafatsa boleng ba kristale.
Sistimi ea Argon
Sistimi ea argon e bapala karolo ea ho sireletsa le ho laola khatello ka sebōping ka sebōping se le seng sa kristale. Kamora ho hloekisa ka vacuum, khase ea argon e hloekileng haholo (bohloeki bo lokela ho ba kaholimo ho 6 9) e tlatsoa ka sebōping. Ka lehlakoreng le leng, e ka thibela moea o kantle ho kena ka sebōping le ho thibela thepa ea silicon ho oxidized; ka lehlakoreng le leng, ho tlatsoa ha khase ea argon ho ka boloka khatello ka sebōping e tsitsitse 'me ha fana ka tikoloho e loketseng ea khatello bakeng sa kholo ea kristale. Ho phaella moo, phallo ea khase ea argon e ka boela ea tlosa mocheso o hlahisoang nakong ea ts'ebetso ea kholo ea kristale, e bapala karolo e itseng ea ho pholisa.
Sistimi ea ho pholisa metsi
Mosebetsi oa sistimi ea ho pholisa metsi ke ho pholisa likarolo tse fapaneng tsa mocheso o phahameng oa onto ea kristale e le 'ngoe ho netefatsa ts'ebetso e tloaelehileng le bophelo ba ts'ebeletso ea lisebelisoa. Nakong ea ts'ebetso ea onto ea kristale e le 'ngoe, hitara,sebopi sa mollo, electrode le dikarolo tse ding di tla hlahisa mocheso o mongata. Haeba di sa phodiswe ka nako, sesebediswa se tla futhumatsa haholo, se senyehe kapa se senyehe. Sistimi ya ho phodisa metsi e tlosa mocheso wa dikarolo tsena ka ho potoloha metsi a phodisang ho boloka mocheso wa sesebediswa o le sebakeng se sireletsehileng. Ka nako e ts'oanang, sistimi ya ho phodisa metsi e ka boela ya thusa ho lokisa mocheso ka ontong ho ntlafatsa ho nepahala ha taolo ya mocheso.
Sistimi ea taolo ea motlakase
Sistimi ea taolo ea motlakase ke "boko" ba sebōpi se le seng sa kristale, se ikarabellang bakeng sa ho beha leihlo le ho laola ts'ebetso ea lisebelisoa tsohle. E ka amohela matšoao ho tsoa ho li-sensor tse fapaneng, joalo ka li-sensor tsa mocheso, li-sensor tsa khatello, li-sensor tsa boemo, jj., 'me ea hokahanya le ho laola sistimi ea phetiso ea mechini, sistimi ea taolo ea mocheso oa ho futhumatsa, sistimi ea vacuum, sistimi ea argon le sistimi ea ho pholisa metsi ho latela matšoao ana. Mohlala, nakong ea ts'ebetso ea kholo ea kristale, sistimi ea taolo ea motlakase e ka fetola ka bo eona matla a ho futhumatsa ho latela lets'oao la mocheso le fepuoang ke sensor ea mocheso; ho latela kholo ea kristale, e ka laola lebelo la motsamao le sekhutlo sa ho potoloha ha kristale ea peo le sebolaya-mollo. Ka nako e ts'oanang, sistimi ea taolo ea motlakase e boetse e na le ts'ebetso ea tlhahlobo ea liphoso le alamo, e ka lemohang maemo a sa tloaelehang a lisebelisoa ka nako le ho netefatsa ts'ebetso e sireletsehileng ea lisebelisoa.
Nako ea poso: Loetse-23-2024