Mae ffwrnais grisial sengl yn ddyfais sy'n defnyddio agwresogydd graffiti doddi deunyddiau silicon polygrisialog mewn amgylchedd nwy anadweithiol (argon) ac yn defnyddio dull Czochralski i dyfu crisialau sengl heb eu dadleoli. Mae'n cynnwys yn bennaf y systemau canlynol:
System drosglwyddo fecanyddol
Y system drosglwyddo fecanyddol yw system weithredu sylfaenol y ffwrnais grisial sengl, sy'n bennaf gyfrifol am reoli symudiad crisialau acroesfachau, gan gynnwys codi a chylchdroi crisialau hadau a chodi a chylchdroicroesfachauGall addasu paramedrau fel safle, cyflymder ac ongl cylchdro crisialau a chroesliniau yn gywir i sicrhau cynnydd llyfn y broses twf crisial. Er enghraifft, mewn gwahanol gamau twf crisial fel hadu, gwddf, ysgwyddu, twf diamedr cyfartal a chynffonnu, mae angen i symudiad crisialau hadau a chroesliniau gael ei reoli'n gywir gan y system hon i fodloni gofynion proses twf crisial.
System rheoli tymheredd gwresogi
Dyma un o systemau craidd y ffwrnais grisial sengl, a ddefnyddir i gynhyrchu gwres a rheoli'r tymheredd yn y ffwrnais yn gywir. Mae'n cynnwys yn bennaf gydrannau fel gwresogyddion, synwyryddion tymheredd, a rheolwyr tymheredd. Fel arfer, mae'r gwresogydd wedi'i wneud o ddeunyddiau fel graffit purdeb uchel. Ar ôl i'r cerrynt eiledol gael ei drawsnewid a'i leihau i gynyddu'r cerrynt, mae'r gwresogydd yn cynhyrchu gwres i doddi deunyddiau polygrisialog fel polysilicon yn y croeslin. Mae'r synhwyrydd tymheredd yn monitro'r newidiadau tymheredd yn y ffwrnais mewn amser real ac yn trosglwyddo'r signal tymheredd i'r rheolydd tymheredd. Mae'r rheolydd tymheredd yn rheoli'r pŵer gwresogi yn gywir yn ôl y paramedrau tymheredd a osodwyd a'r signal tymheredd adborth, a thrwy hynny gynnal sefydlogrwydd y tymheredd yn y ffwrnais a darparu amgylchedd tymheredd addas ar gyfer twf crisialau.
System gwactod
Prif swyddogaeth y system gwactod yw creu a chynnal amgylchedd gwactod yn y ffwrnais yn ystod y broses twf crisial. Mae'r aer a'r nwyon amhuredd yn y ffwrnais yn cael eu tynnu allan trwy bympiau gwactod ac offer arall i wneud i bwysau'r nwy yn y ffwrnais gyrraedd lefel isel iawn, yn gyffredinol islaw 5TOR (torr). Gall hyn atal y deunydd silicon rhag cael ei ocsideiddio ar dymheredd uchel a sicrhau purdeb ac ansawdd twf crisial. Ar yr un pryd, mae'r amgylchedd gwactod hefyd yn ffafriol i gael gwared ar amhureddau anweddol a gynhyrchir yn ystod y broses twf crisial a gwella ansawdd y grisial.
System Argon
Mae'r system argon yn chwarae rhan wrth amddiffyn a rheoleiddio'r pwysau yn y ffwrnais yn y ffwrnais grisial sengl. Ar ôl sugno, mae nwy argon purdeb uchel (rhaid i'r purdeb fod yn uwch na 6 9) yn cael ei lenwi i'r ffwrnais. Ar y naill law, gall atal aer allanol rhag mynd i mewn i'r ffwrnais ac atal deunyddiau silicon rhag cael eu ocsideiddio; ar y llaw arall, gall llenwi nwy argon gynnal y pwysau yn y ffwrnais yn sefydlog a darparu amgylchedd pwysau addas ar gyfer twf crisialau. Yn ogystal, gall llif nwy argon hefyd dynnu'r gwres a gynhyrchir yn ystod y broses twf crisialau i ffwrdd, gan chwarae rôl oeri benodol.
System oeri dŵr
Swyddogaeth y system oeri dŵr yw oeri gwahanol gydrannau tymheredd uchel y ffwrnais grisial sengl er mwyn sicrhau gweithrediad arferol a bywyd gwasanaeth yr offer. Yn ystod gweithrediad y ffwrnais grisial sengl, y gwresogydd,croesbren, bydd yr electrod a chydrannau eraill yn cynhyrchu llawer o wres. Os na chânt eu hoeri mewn pryd, bydd yr offer yn gorboethi, yn anffurfio neu hyd yn oed yn cael ei ddifrodi. Mae'r system oeri dŵr yn tynnu gwres y cydrannau hyn i ffwrdd trwy gylchredeg dŵr oeri i gadw tymheredd yr offer o fewn ystod ddiogel. Ar yr un pryd, gall y system oeri dŵr hefyd gynorthwyo i addasu'r tymheredd yn y ffwrnais i wella cywirdeb rheoli tymheredd.
System rheoli trydanol
Y system reoli drydanol yw “ymennydd” y ffwrnais grisial sengl, sy'n gyfrifol am fonitro a rheoli gweithrediad yr offer cyfan. Gall dderbyn signalau o synwyryddion amrywiol, megis synwyryddion tymheredd, synwyryddion pwysau, synwyryddion safle, ac ati, a chydlynu a rheoli'r system drosglwyddo fecanyddol, y system rheoli tymheredd gwresogi, y system gwactod, y system argon a'r system oeri dŵr yn seiliedig ar y signalau hyn. Er enghraifft, yn ystod y broses twf crisial, gall y system reoli drydanol addasu'r pŵer gwresogi yn awtomatig yn ôl y signal tymheredd a fwydir yn ôl gan y synhwyrydd tymheredd; yn ôl twf y grisial, gall reoli cyflymder symudiad ac ongl cylchdroi'r grisial hadau a'r croeslin. Ar yr un pryd, mae gan y system reoli drydanol hefyd swyddogaethau diagnosis nam a larwm, a all ganfod amodau annormal yr offer mewn pryd a sicrhau gweithrediad diogel yr offer.
Amser postio: Medi-23-2024