Монокристалл мич - ул кулланыла торган җайланмаграфит җылыткычполикристалл кремний материалларын инерт газ (аргон) мохитендә эретү һәм Чожральский ысулын кулланып, урыныннан чыкмаган монокристаллларны үстерә. Ул, нигездә, түбәндәге системалардан тора:
Механик трансмиссия системасы
Механик тапшыру системасы - монокристалл мичнең төп эш системасы, ул, нигездә, кристаллар хәрәкәтен контрольдә тоту өчен җаваплы һәмтигельләр, шул исәптән орлык кристалларын күтәрү һәм әйләндерү, һәм күтәрү һәм әйләндерүтигельләрКристалл үсү процессының шома барышын тәэмин итү өчен, ул кристаллларның һәм тигельләрнең урнашуы, тизлеге һәм әйләнү почмагы кебек параметрларны төгәл көйли ала. Мәсәлән, орлык чәчү, муенга утырту, җилкәгә утырту, тигез диаметрлы үсү һәм койрык калдыру кебек кристалл үсүенең төрле этапларында, кристалл үсү процессы таләпләрен канәгатьләндерү өчен, орлык кристаллары һәм тигельләрнең хәрәкәтен бу система төгәл контрольдә тотарга тиеш.
Җылыту температурасын контрольдә тоту системасы
Бу - җылылык җитештерү һәм мичтәге температураны төгәл контрольдә тоту өчен кулланыла торган монокристалл мичнең төп системаларының берсе. Ул, нигездә, җылыткычлар, температура датчиклары һәм температура контроллерлары кебек компонентлардан тора. Җылыткыч гадәттә югары сафлыклы графит кебек материаллардан ясала. Алмаш ток трансформацияләнгәннән һәм киметелгәннән соң, токны арттыру өчен, җылыткыч тигельдә поликристалл материалларны, мәсәлән, поликремнийны эретү өчен җылылык җитештерә. Температура датчигы мичтәге температура үзгәрешләрен реаль вакыт режимында күзәтә һәм температура сигналын температура контроллерына җибәрә. Температура контроллеры җылыту көчен билгеләнгән температура параметрларына һәм кире элемтә температура сигналына туры китереп төгәл контрольдә тота, шуның белән мичтәге температураның тотрыклылыгын саклый һәм кристалл үсеше өчен уңайлы температура мохите тәэмин итә.
Вакуум системасы
Вакуум системасының төп функциясе - кристалл үсү процессында мичтә вакуум мохитен булдыру һәм саклау. Мичтәге һава һәм катнашма газлар вакуум насослары һәм башка җиһазлар аша чыгарыла, шуның белән мичтәге газ басымы бик түбән дәрәҗәгә, гадәттә 5TOR (торр) тан түбән дәрәҗәгә җитә. Бу кремний материалының югары температурада оксидлашуын булдырмаска һәм кристалл үсүенең сафлыгын һәм сыйфатын тәэмин итәргә мөмкин. Шул ук вакытта, вакуум мохите кристалл үсү процессында барлыкка килгән очучан катнашмаларны бетерүгә һәм кристалл сыйфатын яхшыртуга да ярдәм итә.
Аргон системасы
Аргон системасы монокристалл мичтә мичтәге басымны саклауда һәм көйләүдә роль уйный. Вакуум белән чистартканнан соң, мичкә югары чисталыклы аргон газы (чисталык 6 9 дан югары булырга тиеш) тутырыла. Бер яктан, ул тышкы һаваның мичкә керүенә комачаулый һәм кремний материалларының оксидлашуына комачаулый; икенче яктан, аргон газы белән тутыру мичтәге басымны тотрыклы тота һәм кристалл үсүе өчен яраклы басым мохите бирә ала. Моннан тыш, аргон газы агымы кристалл үсү процессында барлыкка килгән җылылыкны да алып китә ала, билгеле бер суыту ролен уйный.
Су суыту системасы
Су белән суыту системасының функциясе - җиһазларның нормаль эшләвен һәм хезмәт итү вакытын тәэмин итү өчен монокристалл мичнең төрле югары температуралы компонентларын суыту. Монокристалл мич эшләгәндә, җылыткыч,тигель, электрод һәм башка компонентлар күп җылылык бүлеп чыгарачак. Әгәр алар вакытында суытылмаса, җиһазлар артык кызачак, деформацияләнәчәк яки хәтта зыян күрәчәк. Су белән суыту системасы җиһазларның температурасын куркынычсыз диапазонда тоту өчен суыту суын әйләндереп, бу компонентларның җылылыгын ала. Шул ук вакытта, су белән суыту системасы температураны контрольдә тотуның төгәллеген арттыру өчен мичтәге температураны көйләргә дә ярдәм итә ала.
Электр белән идарә итү системасы
Электр белән идарә итү системасы - монокристалл мичнең "мие", ул бөтен җиһазның эшләвен күзәтү һәм контрольдә тоту өчен җаваплы. Ул төрле сенсорлардан, мәсәлән, температура сенсорларыннан, басым сенсорларыннан, позиция сенсорларыннан һ.б. сигналлар ала ала, һәм механик тапшыру системасын, җылыту температурасын контрольдә тоту системасын, вакуум системасын, аргон системасын һәм су суыту системасын бу сигналлар нигезендә координацияли һәм контрольдә тота ала. Мәсәлән, кристалл үсү процессында электр белән идарә итү системасы температура сенсоры тарафыннан җибәрелгән температура сигналына туры китереп җылыту көчен автоматик рәвештә көйли ала; кристалл үсүенә карап, ул орлык кристалының һәм тигельнең хәрәкәт тизлеген һәм әйләнү почмагын контрольдә тота ала. Шул ук вакытта, электр белән идарә итү системасында шулай ук җитешсезлекләрне диагностикалау һәм сигнал бирү функцияләре бар, алар җиһазның аномаль шартларын вакытында ачыклый һәм җиһазның куркынычсыз эшләвен тәэмин итә ала.
Бастырылган вакыты: 2024 елның 23 сентябре