In ienkristaloven is in apparaat dat gebrûk makket fan ingrafytferwaarmerom polykristallijne silisiummaterialen te smelten yn in inerte gasomjouwing (argon) en brûkt de Czochralski-metoade om net-ferpleatste ienkristallen te groeien. It bestiet benammen út de folgjende systemen:
Mechanysk oerdrachtsysteem
It meganyske oerdrachtsysteem is it basis bestjoeringssysteem fan 'e ienkristaloven, dy't benammen ferantwurdlik is foar it kontrolearjen fan 'e beweging fan kristallen enkroezen, ynklusyf it opheffen en rotearjen fan siedkristallen en it opheffen en rotearjen fankroezenIt kin parameters lykas de posysje, snelheid en rotaasjehoek fan kristallen en kroesen sekuer oanpasse om de soepele foarútgong fan it kristalgroeiproses te garandearjen. Bygelyks, yn ferskate kristalgroeistadia lykas siedzjen, nekken, skouderjen, groei mei gelikense diameter en sturten, moat de beweging fan siedkristallen en kroesen sekuer wurde kontroleare troch dit systeem om te foldwaan oan de proseseasken fan kristalgroei.
Ferwaarmingstemperatuerkontrôlesysteem
Dit is ien fan 'e kearnsystemen fan 'e ienkristaloven, dy't brûkt wurdt om waarmte te generearjen en de temperatuer yn 'e oven sekuer te kontrolearjen. It bestiet benammen út komponinten lykas ferwaarmingsapparaten, temperatuersensors en temperatuerregelaars. De ferwaarmingsapparat is meastentiids makke fan materialen lykas grafyt mei hege suverens. Nei't de wikselstroom transformearre en fermindere is om de stroom te ferheegjen, genereart de ferwaarmingsapparat waarmte om polykristallijne materialen lykas polysilicium yn 'e kroes te smelten. De temperatuersensor kontrolearret de temperatuerferoarings yn 'e oven yn realtime en stjoert it temperatuersignaal nei de temperatuerregelaar. De temperatuerregelaar kontrolearret it ferwaarmingsfermogen sekuer neffens de ynstelde temperatuerparameters en it feedbacktemperatuersignaal, wêrtroch't de stabiliteit fan 'e temperatuer yn 'e oven behâlden wurdt en in geskikte temperatueromjouwing foar kristalgroei levere wurdt.
Vakuümsysteem
De wichtichste funksje fan it fakuümsysteem is it meitsjen en ûnderhâlden fan in fakuümomjouwing yn 'e oven tidens it kristalgroeiproses. De loft en ûnreinheidsgassen yn 'e oven wurde ôffierd troch fakuümpompen en oare apparatuer om de gasdruk yn 'e oven in ekstreem leech nivo te berikken, oer it algemien ûnder 5TOR (torr). Dit kin foarkomme dat it silisiummateriaal by hege temperatueren oksidearre wurdt en de suverens en kwaliteit fan 'e kristalgroei garandearje. Tagelyk is de fakuümomjouwing ek geunstich foar it fuortheljen fan flechtige ûnreinheden dy't ûntsteane tidens it kristalgroeiproses en it ferbetterjen fan 'e kwaliteit fan it kristal.
Argonsysteem
It argonsysteem spilet in rol by it beskermjen en regeljen fan 'e druk yn 'e oven yn 'e ienkristaloven. Nei it stofzuigjen wurdt heechsuvere argongas (suverens moat boppe 6,9 wêze) yn 'e oven fold. Oan 'e iene kant kin it foarkomme dat bûtenlucht de oven ynkomt en foarkomme dat silisiummaterialen oksidearre wurde; oan 'e oare kant kin it foljen fan argongas de druk yn 'e oven stabyl hâlde en in gaadlike drukomjouwing leverje foar kristalgroei. Derneist kin de stream fan argongas ek de waarmte fuortnimme dy't ûntstiet tidens it kristalgroeiproses, en in bepaalde koeljende rol spilet.
Wetterkoelsysteem
De funksje fan it wetterkoelsysteem is om de ferskate hege-temperatuerkomponinten fan 'e ienkristaloven te koelen om de normale wurking en libbensdoer fan 'e apparatuer te garandearjen. Tidens de wurking fan 'e ienkristaloven, de ferwaarming,kroes, elektrode en oare komponinten sille in soad waarmte generearje. As se net op 'e tiid ôfkuolle wurde, sil de apparatuer oerferhitte, misfoarmje of sels beskeadige wurde. It wetterkoelsysteem nimt de waarmte fan dizze komponinten fuort troch koelwetter te sirkulearjen om de temperatuer fan 'e apparatuer binnen in feilich berik te hâlden. Tagelyk kin it wetterkoelsysteem ek helpe by it oanpassen fan 'e temperatuer yn' e oven om de krektens fan temperatuerkontrôle te ferbetterjen.
Elektrysk kontrôlesysteem
It elektryske kontrôlesysteem is it "brein" fan 'e ienkristaloven, ferantwurdlik foar it kontrolearjen en kontrolearjen fan 'e wurking fan' e heule apparatuer. It kin sinjalen ûntfange fan ferskate sensoren, lykas temperatuerensors, druksensors, posysjesensors, ensfh., en it meganyske oerdrachtsysteem, ferwaarmingstemperatuerkontrôlesysteem, fakuümsysteem, argonsysteem en wetterkoelsysteem koördinearje en kontrolearje op basis fan dizze sinjalen. Bygelyks, tidens it kristalgroeiproses kin it elektryske kontrôlesysteem automatysk it ferwaarmingsfermogen oanpasse neffens it temperatuersignaal dat troch de temperatuersensor weromjûn wurdt; neffens de groei fan it kristal kin it de bewegingssnelheid en rotaasjehoeke fan it siedkristal en de kroes kontrolearje. Tagelyk hat it elektryske kontrôlesysteem ek foutdiagnose en alarmfunksjes, dy't abnormale omstannichheden fan 'e apparatuer op' e tiid kinne detektearje en de feilige wurking fan 'e apparatuer garandearje.
Pleatsingstiid: 23 septimber 2024