एकल क्रिस्टल भट्ठी एक उपकरण है जोग्रेफाइट हीटरपॉलीक्रिस्टलाइन सिलिकॉन सामग्री को निष्क्रिय गैस (आर्गन) वातावरण में पिघलाने के लिए और गैर-विस्थापित एकल क्रिस्टल विकसित करने के लिए ज़ोच्रल्स्की विधि का उपयोग करता है। यह मुख्य रूप से निम्नलिखित प्रणालियों से बना है:
यांत्रिक संचरण प्रणाली
यांत्रिक संचरण प्रणाली एकल क्रिस्टल भट्टी की मूल संचालन प्रणाली है, जो मुख्य रूप से क्रिस्टल की गति को नियंत्रित करने के लिए जिम्मेदार है औरक्रूसिबल्स, जिसमें बीज क्रिस्टल का उठाना और घुमाना और उठाना और घुमाना शामिल हैक्रूसिबल्सयह क्रिस्टल और क्रूसिबल की स्थिति, गति और रोटेशन कोण जैसे मापदंडों को सटीक रूप से समायोजित कर सकता है ताकि क्रिस्टल विकास प्रक्रिया की सुचारू प्रगति सुनिश्चित हो सके। उदाहरण के लिए, विभिन्न क्रिस्टल विकास चरणों जैसे कि सीडिंग, नेकिंग, शोल्डरिंग, समान व्यास की वृद्धि और टेलिंग में, क्रिस्टल विकास की प्रक्रिया आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए बीज क्रिस्टल और क्रूसिबल की गति को इस प्रणाली द्वारा सटीक रूप से नियंत्रित करने की आवश्यकता होती है।
ताप तापमान नियंत्रण प्रणाली
यह एकल क्रिस्टल भट्टी की मुख्य प्रणालियों में से एक है, जिसका उपयोग गर्मी उत्पन्न करने और भट्ठी में तापमान को सटीक रूप से नियंत्रित करने के लिए किया जाता है। यह मुख्य रूप से हीटर, तापमान सेंसर और तापमान नियंत्रक जैसे घटकों से बना होता है। हीटर आमतौर पर उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट जैसी सामग्रियों से बना होता है। प्रत्यावर्ती धारा को बदलने और धारा को बढ़ाने के लिए कम करने के बाद, हीटर क्रूसिबल में पॉलीसिलिकॉन जैसे पॉलीक्रिस्टलाइन पदार्थों को पिघलाने के लिए गर्मी उत्पन्न करता है। तापमान सेंसर वास्तविक समय में भट्ठी में तापमान में परिवर्तन की निगरानी करता है और तापमान संकेत को तापमान नियंत्रक तक पहुंचाता है। तापमान नियंत्रक निर्धारित तापमान मापदंडों और प्रतिक्रिया तापमान संकेत के अनुसार हीटिंग शक्ति को सटीक रूप से नियंत्रित करता है, जिससे भट्ठी में तापमान की स्थिरता बनी रहती है और क्रिस्टल विकास के लिए उपयुक्त तापमान वातावरण प्रदान होता है।
वैक्यूम सिस्टम
वैक्यूम सिस्टम का मुख्य कार्य क्रिस्टल वृद्धि प्रक्रिया के दौरान भट्ठी में वैक्यूम वातावरण बनाना और बनाए रखना है। भट्ठी में हवा और अशुद्धता गैसों को वैक्यूम पंप और अन्य उपकरणों के माध्यम से निकाला जाता है ताकि भट्ठी में गैस का दबाव बेहद कम स्तर पर पहुंच जाए, आमतौर पर 5TOR (टॉर) से नीचे। यह सिलिकॉन सामग्री को उच्च तापमान पर ऑक्सीकरण होने से रोक सकता है और क्रिस्टल वृद्धि की शुद्धता और गुणवत्ता सुनिश्चित कर सकता है। साथ ही, वैक्यूम वातावरण क्रिस्टल वृद्धि प्रक्रिया के दौरान उत्पन्न अस्थिर अशुद्धियों को हटाने और क्रिस्टल की गुणवत्ता में सुधार करने के लिए भी अनुकूल है।
आर्गन प्रणाली
आर्गन सिस्टम एकल क्रिस्टल भट्टी में भट्ठी में दबाव की रक्षा और विनियमन में एक भूमिका निभाता है। वैक्यूमिंग के बाद, उच्च शुद्धता वाली आर्गन गैस (शुद्धता 6 9 से ऊपर होनी चाहिए) को भट्ठी में भर दिया जाता है। एक ओर, यह बाहरी हवा को भट्ठी में प्रवेश करने से रोक सकता है और सिलिकॉन सामग्री को ऑक्सीकरण होने से रोक सकता है; दूसरी ओर, आर्गन गैस भरने से भट्ठी में दबाव स्थिर रह सकता है और क्रिस्टल विकास के लिए उपयुक्त दबाव वातावरण प्रदान कर सकता है। इसके अलावा, आर्गन गैस का प्रवाह क्रिस्टल विकास प्रक्रिया के दौरान उत्पन्न गर्मी को भी दूर कर सकता है, एक निश्चित शीतलन भूमिका निभा सकता है।
जल शीतलन प्रणाली
जल शीतलन प्रणाली का कार्य एकल क्रिस्टल भट्टी के विभिन्न उच्च तापमान घटकों को ठंडा करना है ताकि उपकरणों के सामान्य संचालन और सेवा जीवन को सुनिश्चित किया जा सके। एकल क्रिस्टल भट्टी के संचालन के दौरान, हीटर,क्रूसिबल, इलेक्ट्रोड और अन्य घटक बहुत अधिक गर्मी उत्पन्न करेंगे। यदि उन्हें समय पर ठंडा नहीं किया जाता है, तो उपकरण ज़्यादा गरम हो जाएगा, ख़राब हो जाएगा या क्षतिग्रस्त भी हो सकता है। जल शीतलन प्रणाली उपकरण के तापमान को सुरक्षित सीमा के भीतर रखने के लिए शीतलन जल को प्रसारित करके इन घटकों की गर्मी को दूर करती है। साथ ही, जल शीतलन प्रणाली तापमान नियंत्रण की सटीकता में सुधार करने के लिए भट्ठी में तापमान को समायोजित करने में भी सहायता कर सकती है।
विद्युत नियंत्रण प्रणाली
विद्युत नियंत्रण प्रणाली एकल क्रिस्टल भट्टी का "मस्तिष्क" है, जो पूरे उपकरण के संचालन की निगरानी और नियंत्रण के लिए जिम्मेदार है। यह विभिन्न सेंसर, जैसे तापमान सेंसर, दबाव सेंसर, स्थिति सेंसर, आदि से संकेत प्राप्त कर सकता है, और इन संकेतों के आधार पर यांत्रिक संचरण प्रणाली, हीटिंग तापमान नियंत्रण प्रणाली, वैक्यूम सिस्टम, आर्गन सिस्टम और जल शीतलन प्रणाली का समन्वय और नियंत्रण कर सकता है। उदाहरण के लिए, क्रिस्टल विकास प्रक्रिया के दौरान, विद्युत नियंत्रण प्रणाली तापमान सेंसर द्वारा वापस खिलाए गए तापमान संकेत के अनुसार हीटिंग पावर को स्वचालित रूप से समायोजित कर सकती है; क्रिस्टल की वृद्धि के अनुसार, यह बीज क्रिस्टल और क्रूसिबल की गति और रोटेशन कोण को नियंत्रित कर सकती है। साथ ही, विद्युत नियंत्रण प्रणाली में दोष निदान और अलार्म फ़ंक्शन भी हैं, जो समय पर उपकरणों की असामान्य स्थितियों का पता लगा सकते हैं और उपकरणों के सुरक्षित संचालन को सुनिश्चित कर सकते हैं।
पोस्ट करने का समय: सितम्बर-23-2024

