Tungku kristal tunggal yaiku piranti sing nggunakakepemanas grafitkanggo nglelehaké bahan silikon polikristalin ing lingkungan gas inert (argon) lan migunakaké metode Czochralski kanggo nuwuhaké kristal tunggal sing ora dislokasi. Iki utamané kasusun saka sistem ing ngisor iki:
Sistem transmisi mekanik
Sistem transmisi mekanik minangka sistem operasi dhasar saka tungku kristal tunggal, sing utamane tanggung jawab kanggo ngontrol gerakan kristal lanwadhah lebur, kalebu ngangkat lan rotasi kristal wiji lan ngangkat lan rotasiwadhah leburIki bisa nyetel parameter kanthi akurat kayata posisi, kecepatan, lan sudut rotasi kristal lan wadah kanggo njamin kemajuan proses pertumbuhan kristal sing lancar. Contone, ing tahap pertumbuhan kristal sing beda-beda kayata seeding, necking, shouldering, pertumbuhan diameter sing padha lan tailing, gerakan kristal wiji lan wadah kudu dikontrol kanthi akurat dening sistem iki kanggo nyukupi syarat proses pertumbuhan kristal.
Sistem kontrol suhu pemanas
Iki minangka salah sawijining sistem inti saka tungku kristal tunggal, sing digunakake kanggo ngasilake panas lan ngontrol suhu ing tungku kanthi akurat. Iki utamane kasusun saka komponen kayata pemanas, sensor suhu, lan pengontrol suhu. Pemanas biasane digawe saka bahan kayata grafit kemurnian tinggi. Sawise arus bolak-balik diowahi lan dikurangi kanggo nambah arus, pemanas ngasilake panas kanggo nglelehke bahan polikristalin kayata polisilikon ing wadhah. Sensor suhu ngawasi owah-owahan suhu ing tungku kanthi wektu nyata lan ngirim sinyal suhu menyang pengontrol suhu. Pengontrol suhu kanthi akurat ngontrol daya pemanasan miturut parameter suhu sing disetel lan sinyal suhu umpan balik, saengga njaga stabilitas suhu ing tungku lan nyedhiyakake lingkungan suhu sing cocog kanggo pertumbuhan kristal.
Sistem vakum
Fungsi utama sistem vakum yaiku kanggo nggawe lan njaga lingkungan vakum ing tungku sajrone proses pertumbuhan kristal. Udara lan gas pengotor ing tungku diekstrak liwat pompa vakum lan peralatan liyane kanggo nggawe tekanan gas ing tungku tekan tingkat sing sithik banget, umume ing ngisor 5TOR (torr). Iki bisa nyegah bahan silikon teroksidasi ing suhu dhuwur lan njamin kemurnian lan kualitas pertumbuhan kristal. Ing wektu sing padha, lingkungan vakum uga kondusif kanggo mbusak pengotor sing gampang nguap sing diasilake sajrone proses pertumbuhan kristal lan ningkatake kualitas kristal.
Sistem argon
Sistem argon nduweni peran kanggo nglindhungi lan ngatur tekanan ing tungku ing tungku kristal tunggal. Sawise nyedhot debu, gas argon kanthi kemurnian dhuwur (kemurnian kudu luwih saka 6 9) diisi menyang tungku. Ing sisih siji, bisa nyegah udara njaba mlebu tungku lan nyegah bahan silikon teroksidasi; ing sisih liyane, pengisian gas argon bisa njaga tekanan ing tungku tetep stabil lan nyedhiyakake lingkungan tekanan sing cocog kanggo pertumbuhan kristal. Kajaba iku, aliran gas argon uga bisa ngurangi panas sing diasilake sajrone proses pertumbuhan kristal, kanthi nduweni peran pendinginan tartamtu.
Sistem pendinginan banyu
Fungsi sistem pendingin banyu yaiku kanggo ngademake macem-macem komponen suhu dhuwur saka tungku kristal tunggal kanggo njamin operasi normal lan umur layanan peralatan kasebut. Sajrone operasi tungku kristal tunggal, pemanas,wadhah, elektroda, lan komponen liyane bakal ngasilake akeh panas. Yen ora didinginkan kanthi tepat wektu, peralatan kasebut bakal kepanasen, cacat, utawa malah rusak. Sistem pendingin banyu ngilangi panas komponen kasebut kanthi sirkulasi banyu pendingin kanggo njaga suhu peralatan ing kisaran sing aman. Ing wektu sing padha, sistem pendingin banyu uga bisa mbantu nyetel suhu ing tungku kanggo nambah akurasi kontrol suhu.
Sistem kontrol listrik
Sistem kontrol listrik minangka "otak" saka tungku kristal tunggal, sing tanggung jawab kanggo ngawasi lan ngontrol operasi kabeh peralatan. Sistem iki bisa nampa sinyal saka macem-macem sensor, kayata sensor suhu, sensor tekanan, sensor posisi, lan liya-liyane, lan koordinasi lan ngontrol sistem transmisi mekanik, sistem kontrol suhu pemanasan, sistem vakum, sistem argon lan sistem pendinginan banyu adhedhasar sinyal kasebut. Contone, sajrone proses pertumbuhan kristal, sistem kontrol listrik bisa kanthi otomatis nyetel daya pemanasan miturut sinyal suhu sing diumpan balik dening sensor suhu; miturut pertumbuhan kristal, bisa ngontrol kecepatan gerakan lan sudut rotasi kristal wiji lan wadah. Ing wektu sing padha, sistem kontrol listrik uga duwe fungsi diagnosis kesalahan lan alarm, sing bisa ndeteksi kahanan peralatan sing ora normal kanthi tepat wektu lan njamin operasi peralatan sing aman.
Wektu kiriman: 23-Sep-2024