Ганц талст зуух нь дараах зүйлсийг ашигладаг төхөөрөмж юмбал чулуун халаагууринертийн хий (аргон) орчинд поликристал цахиурын материалыг хайлуулж, мултраагүй дан талстуудыг ургуулахын тулд Чохралскийн аргыг ашигладаг. Энэ нь голчлон дараах системүүдээс бүрдэнэ.
Механик дамжуулалтын систем
Механик дамжуулах систем нь дан талст зуухны үндсэн үйлдлийн систем бөгөөд голчлон талстуудын хөдөлгөөнийг хянах үүрэгтэй.тигельүрийн талстуудыг өргөх, эргүүлэх, өргөх, эргүүлэх зэрэг орнотигельЭнэ нь талст болон тигелийн байрлал, хурд, эргэлтийн өнцөг зэрэг параметрүүдийг нарийн тохируулж, талст ургах үйл явцыг жигд явуулж чадна. Жишээлбэл, үр суулгах, хүзүү ургах, мөр ургах, тэнцүү диаметртэй ургах, сүүл ургах зэрэг талст ургах янз бүрийн үе шатанд талст ургах үйл явцын шаардлагыг хангахын тулд үрийн талст болон тигелийн хөдөлгөөнийг энэ системээр нарийн хянах шаардлагатай.
Халаалтын температурын хяналтын систем
Энэ нь дан талст зуухны гол системүүдийн нэг бөгөөд дулааныг үүсгэж, зуухны температурыг нарийн хянах зориулалттай. Энэ нь голчлон халаагч, температур мэдрэгч, температур хянагч зэрэг бүрэлдэхүүн хэсгүүдээс бүрддэг. Халаагчийг ихэвчлэн өндөр цэвэршилттэй бал чулуу зэрэг материалаар хийдэг. Хувьсах гүйдлийг хувиргаж, гүйдлийг нэмэгдүүлсний дараа халаагч нь тигель дэх полисиликон зэрэг поликристал материалыг хайлуулах дулааныг үүсгэдэг. Температур мэдрэгч нь зуухны температурын өөрчлөлтийг бодит цаг хугацаанд хянаж, температурын дохиог температур хянагч руу дамжуулдаг. Температур хянагч нь тогтоосон температурын параметрүүд болон хариу урвалын температурын дохионы дагуу халаалтын хүчийг нарийн хянаж, улмаар зуухны температурын тогтвортой байдлыг хадгалж, талст ургахад тохиромжтой температурын орчныг бүрдүүлдэг.
Вакуум систем
Вакуум системийн гол үүрэг нь талст ургах явцад зууханд вакуум орчин бүрдүүлж, хадгалах явдал юм. Зууханд байгаа агаар болон хольцын хийг вакуум насос болон бусад тоног төхөөрөмжөөр дамжуулан гаргаж авдаг бөгөөд ингэснээр зуухны хийн даралтыг маш бага түвшинд, ерөнхийдөө 5TOR (torr)-аас доош түвшинд хүргэдэг. Энэ нь цахиурын материалыг өндөр температурт исэлдүүлэхээс сэргийлж, талст ургалтын цэвэршилт, чанарыг баталгаажуулдаг. Үүний зэрэгцээ вакуум орчин нь талст ургах явцад үүссэн дэгдэмхий хольцыг зайлуулж, талстын чанарыг сайжруулахад тусалдаг.
Аргон систем
Аргоны систем нь дан талст зууханд зуухны даралтыг хамгаалах, зохицуулах үүрэг гүйцэтгэдэг. Вакуум цэвэрлэсний дараа өндөр цэвэршилттэй аргон хийг (цэвэршилт нь 6 9-өөс дээш байх ёстой) зууханд дүүргэдэг. Нэг талаас, энэ нь гаднах агаарыг зууханд орохоос сэргийлж, цахиурын материалыг исэлдүүлэхээс сэргийлж чаддаг; нөгөө талаас, аргон хийг дүүргэх нь зуухны даралтыг тогтвортой байлгаж, талст ургахад тохиромжтой даралтын орчныг бүрдүүлж чаддаг. Үүнээс гадна, аргоны хийн урсгал нь талст ургах явцад үүссэн дулааныг авч, тодорхой хөргөлтийн үүрэг гүйцэтгэдэг.
Ус хөргөлтийн систем
Усны хөргөлтийн системийн үүрэг нь тоног төхөөрөмжийн хэвийн ажиллагаа, ашиглалтын хугацааг хангахын тулд дан талст зуухны янз бүрийн өндөр температурт эд ангиудыг хөргөх явдал юм. Дан талст зуухны ажиллагааны явцад халаагч,тигель, электрод болон бусад эд ангиуд нь их хэмжээний дулаан ялгаруулна. Хэрэв тэдгээрийг цаг тухайд нь хөргөхгүй бол тоног төхөөрөмж хэт халж, хэв гажилт эсвэл бүр гэмтэх болно. Усан хөргөлтийн систем нь тоног төхөөрөмжийн температурыг аюулгүй хүрээнд байлгахын тулд хөргөлтийн усыг эргүүлснээр эдгээр эд ангиудын дулааныг авдаг. Үүний зэрэгцээ, усны хөргөлтийн систем нь температурын хяналтын нарийвчлалыг сайжруулахын тулд зуухны температурыг тохируулахад тусалдаг.
Цахилгаан хяналтын систем
Цахилгаан хяналтын систем нь дан талст зуухны "тархи" бөгөөд бүхэл бүтэн тоног төхөөрөмжийн ажиллагааг хянах, хянах үүрэгтэй. Энэ нь температур мэдрэгч, даралт мэдрэгч, байрлал мэдрэгч гэх мэт янз бүрийн мэдрэгчээс дохио хүлээн авч, эдгээр дохион дээр үндэслэн механик дамжуулах систем, халаалтын температурын хяналтын систем, вакуум систем, аргон систем, ус хөргөх системийг зохицуулж, хянаж чаддаг. Жишээлбэл, талст ургах явцад цахилгаан хяналтын систем нь температур мэдрэгчээс буцаж ирсэн температурын дохионы дагуу халаалтын чадлыг автоматаар тохируулж чаддаг; талстын ургалтын дагуу үрийн талст болон тигелийн хөдөлгөөний хурд, эргэлтийн өнцгийг хянаж чаддаг. Үүний зэрэгцээ цахилгаан хяналтын систем нь алдаа оношлох, дохиоллын функцтэй бөгөөд энэ нь тоног төхөөрөмжийн хэвийн бус нөхцөл байдлыг цаг тухайд нь илрүүлж, тоног төхөөрөмжийн аюулгүй ажиллагааг хангах боломжтой.
Нийтэлсэн цаг: 2024 оны 9-р сарын 23