ஒரு படிக உலையின் ஆறு அமைப்புகள் யாவை?

ஒற்றைப் படிக உலை என்பது ஒரு சாதனத்தைப் பயன்படுத்தும் ஒரு சாதனம் ஆகும்.கிராஃபைட் ஹீட்டர்மந்த வாயு (ஆர்கான்) சூழலில் பாலிகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் பொருட்களை உருக்குவதற்கும், இடப்பெயர்ச்சி செய்யப்படாத ஒற்றை படிகங்களை வளர்ப்பதற்கு சோக்ரால்ஸ்கி முறையைப் பயன்படுத்துவதற்கும் இது முக்கியமாக பின்வரும் அமைப்புகளைக் கொண்டுள்ளது:

இயந்திர பரிமாற்ற அமைப்பு

இயந்திர பரிமாற்ற அமைப்பு என்பது ஒற்றை படிக உலையின் அடிப்படை இயக்க முறைமையாகும், இது முக்கியமாக படிகங்களின் இயக்கத்தைக் கட்டுப்படுத்துவதற்குப் பொறுப்பாகும் மற்றும்சிலுவைவிதை படிகங்களைத் தூக்குதல் மற்றும் சுழற்சி செய்தல் மற்றும் தூக்குதல் மற்றும் சுழற்சி செய்தல் உட்படசிலுவை. படிக வளர்ச்சி செயல்முறையின் சீரான முன்னேற்றத்தை உறுதி செய்வதற்காக, படிகங்கள் மற்றும் சிலுவைகளின் நிலை, வேகம் மற்றும் சுழற்சி கோணம் போன்ற அளவுருக்களை இது துல்லியமாக சரிசெய்ய முடியும். எடுத்துக்காட்டாக, விதைத்தல், கழுத்துதல், தோள்பட்டை, சம விட்டம் வளர்ச்சி மற்றும் வால்பிடித்தல் போன்ற வெவ்வேறு படிக வளர்ச்சி நிலைகளில், படிக வளர்ச்சியின் செயல்முறைத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய விதை படிகங்கள் மற்றும் சிலுவைகளின் இயக்கத்தை இந்த அமைப்பு துல்லியமாகக் கட்டுப்படுத்த வேண்டும்.

வெப்பமூட்டும் வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு

இது ஒற்றை படிக உலையின் மைய அமைப்புகளில் ஒன்றாகும், இது வெப்பத்தை உருவாக்கவும் உலையில் வெப்பநிலையை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்தவும் பயன்படுகிறது. இது முக்கியமாக ஹீட்டர்கள், வெப்பநிலை சென்சார்கள் மற்றும் வெப்பநிலை கட்டுப்படுத்திகள் போன்ற கூறுகளால் ஆனது. ஹீட்டர் பொதுவாக உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் போன்ற பொருட்களால் ஆனது. மாற்று மின்னோட்டம் மாற்றப்பட்டு மின்னோட்டத்தை அதிகரிக்க குறைக்கப்பட்ட பிறகு, ஹீட்டர் சிலுவையிலுள்ள பாலிசிலிகான் போன்ற பாலிகிரிஸ்டலின் பொருட்களை உருக வெப்பத்தை உருவாக்குகிறது. வெப்பநிலை சென்சார் உலையில் வெப்பநிலை மாற்றங்களை நிகழ்நேரத்தில் கண்காணித்து வெப்பநிலை கட்டுப்படுத்திக்கு வெப்பநிலை சமிக்ஞையை அனுப்புகிறது. வெப்பநிலை கட்டுப்படுத்தி அமைக்கப்பட்ட வெப்பநிலை அளவுருக்கள் மற்றும் பின்னூட்ட வெப்பநிலை சமிக்ஞையின் படி வெப்ப சக்தியை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்துகிறது, இதன் மூலம் உலையில் வெப்பநிலையின் நிலைத்தன்மையை பராமரிக்கிறது மற்றும் படிக வளர்ச்சிக்கு பொருத்தமான வெப்பநிலை சூழலை வழங்குகிறது.

வெற்றிட அமைப்பு

படிக வளர்ச்சி செயல்பாட்டின் போது உலையில் ஒரு வெற்றிட சூழலை உருவாக்கி பராமரிப்பதே வெற்றிட அமைப்பின் முக்கிய செயல்பாடு. உலையில் உள்ள காற்று மற்றும் அசுத்த வாயுக்கள் வெற்றிட பம்புகள் மற்றும் பிற உபகரணங்கள் மூலம் பிரித்தெடுக்கப்பட்டு, உலையில் உள்ள வாயு அழுத்தம் மிகவும் குறைந்த அளவை, பொதுவாக 5TOR (torr) க்குக் கீழே அடையும். இது சிலிக்கான் பொருள் அதிக வெப்பநிலையில் ஆக்ஸிஜனேற்றப்படுவதைத் தடுக்கலாம் மற்றும் படிக வளர்ச்சியின் தூய்மை மற்றும் தரத்தை உறுதி செய்யலாம். அதே நேரத்தில், வெற்றிட சூழல் படிக வளர்ச்சி செயல்பாட்டின் போது உருவாகும் கொந்தளிப்பான அசுத்தங்களை அகற்றுவதற்கும் படிகத்தின் தரத்தை மேம்படுத்துவதற்கும் உகந்ததாகும்.

ஆர்கான் அமைப்பு

ஒற்றை படிக உலையில் உலையில் உள்ள அழுத்தத்தைப் பாதுகாப்பதிலும் ஒழுங்குபடுத்துவதிலும் ஆர்கான் அமைப்பு ஒரு பங்கை வகிக்கிறது. வெற்றிடமாக்கலுக்குப் பிறகு, அதிக தூய்மை கொண்ட ஆர்கான் வாயு (தூய்மை 6 9 க்கு மேல் இருக்க வேண்டும்) உலையில் நிரப்பப்படுகிறது. ஒருபுறம், வெளிப்புறக் காற்று உலைக்குள் நுழைவதைத் தடுக்கலாம் மற்றும் சிலிக்கான் பொருட்கள் ஆக்ஸிஜனேற்றப்படுவதைத் தடுக்கலாம்; மறுபுறம், ஆர்கான் வாயுவை நிரப்புவது உலையில் அழுத்தத்தை நிலையானதாக பராமரிக்கலாம் மற்றும் படிக வளர்ச்சிக்கு ஏற்ற அழுத்த சூழலை வழங்கலாம். கூடுதலாக, ஆர்கான் வாயுவின் ஓட்டம் படிக வளர்ச்சி செயல்பாட்டின் போது உருவாகும் வெப்பத்தையும் அகற்றி, ஒரு குறிப்பிட்ட குளிரூட்டும் பாத்திரத்தை வகிக்கும்.

நீர் குளிரூட்டும் அமைப்பு

நீர் குளிரூட்டும் அமைப்பின் செயல்பாடு, உபகரணங்களின் இயல்பான செயல்பாடு மற்றும் சேவை வாழ்க்கையை உறுதி செய்வதற்காக, ஒற்றை படிக உலையின் பல்வேறு உயர் வெப்பநிலை கூறுகளை குளிர்விப்பதாகும். ஒற்றை படிக உலையின் செயல்பாட்டின் போது, ​​ஹீட்டர்,சிலுவை, மின்முனை மற்றும் பிற கூறுகள் அதிக வெப்பத்தை உருவாக்கும். அவை சரியான நேரத்தில் குளிர்விக்கப்படாவிட்டால், உபகரணங்கள் அதிக வெப்பமடையும், சிதைந்துவிடும் அல்லது சேதமடையும். நீர் குளிரூட்டும் அமைப்பு, உபகரணங்களின் வெப்பநிலையை பாதுகாப்பான வரம்பிற்குள் வைத்திருக்க குளிர்விக்கும் நீரை சுழற்சி செய்வதன் மூலம் இந்த கூறுகளின் வெப்பத்தை நீக்குகிறது. அதே நேரத்தில், வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டின் துல்லியத்தை மேம்படுத்த உலையில் வெப்பநிலையை சரிசெய்வதிலும் நீர் குளிரூட்டும் அமைப்பு உதவும்.

மின் கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு

மின் கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு ஒற்றை படிக உலையின் "மூளை" ஆகும், இது முழு உபகரணங்களின் செயல்பாட்டையும் கண்காணித்து கட்டுப்படுத்துவதற்கு பொறுப்பாகும். இது வெப்பநிலை உணரிகள், அழுத்த உணரிகள், நிலை உணரிகள் போன்ற பல்வேறு உணரிகளிலிருந்து சமிக்ஞைகளைப் பெறலாம், மேலும் இந்த சமிக்ஞைகளின் அடிப்படையில் இயந்திர பரிமாற்ற அமைப்பு, வெப்பமூட்டும் வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு, வெற்றிட அமைப்பு, ஆர்கான் அமைப்பு மற்றும் நீர் குளிரூட்டும் அமைப்பு ஆகியவற்றை ஒருங்கிணைத்து கட்டுப்படுத்தலாம். எடுத்துக்காட்டாக, படிக வளர்ச்சி செயல்பாட்டின் போது, ​​வெப்பநிலை உணரியால் வழங்கப்படும் வெப்பநிலை சமிக்ஞைக்கு ஏற்ப மின் கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு தானாகவே வெப்ப சக்தியை சரிசெய்ய முடியும்; படிகத்தின் வளர்ச்சியின் படி, விதை படிகம் மற்றும் சிலுவையின் இயக்க வேகம் மற்றும் சுழற்சி கோணத்தை இது கட்டுப்படுத்த முடியும். அதே நேரத்தில், மின் கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு தவறு கண்டறிதல் மற்றும் எச்சரிக்கை செயல்பாடுகளையும் கொண்டுள்ளது, இது சரியான நேரத்தில் உபகரணங்களின் அசாதாரண நிலைமைகளைக் கண்டறிந்து உபகரணங்களின் பாதுகாப்பான செயல்பாட்டை உறுதி செய்யும்.