ລະບົບຫົກຢ່າງຂອງເຕົາເຜົາຜລຶກດຽວແມ່ນຫຍັງ?

ເຕົາເຜົາຜລຶກດຽວແມ່ນອຸປະກອນທີ່ໃຊ້ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນແກຣໄຟເພື່ອລະລາຍວັດສະດຸຊິລິກອນໂພລີຄຣິສຕາລິນໃນສະພາບແວດລ້ອມອາຍແກັສອະນິນ (ອາກອນ) ແລະໃຊ້ວິທີ Czochralski ເພື່ອປູກຜລຶກດ່ຽວທີ່ບໍ່ແຕກອອກ. ມັນສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນປະກອບດ້ວຍລະບົບຕໍ່ໄປນີ້:

ລະບົບສົ່ງກຳລັງແບບກົນຈັກ

ລະບົບສົ່ງກຳລັງກົນຈັກແມ່ນລະບົບປະຕິບັດການພື້ນຖານຂອງເຕົາຜລຶກດຽວ, ເຊິ່ງສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນຮັບຜິດຊອບໃນການຄວບຄຸມການເຄື່ອນໄຫວຂອງຜລຶກ ແລະເຕົາອົບ, ລວມທັງການຍົກ ແລະ ການໝູນວຽນຂອງຜລຶກເມັດພັນ ແລະ ການຍົກ ແລະ ການໝູນວຽນຂອງເຕົາອົບມັນສາມາດປັບຕົວກໍານົດການຕ່າງໆເຊັ່ນ: ຕໍາແໜ່ງ, ຄວາມໄວ ແລະ ມຸມໝຸນຂອງຜລຶກ ແລະ ເຕົາອົບໄດ້ຢ່າງຖືກຕ້ອງເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມຄືບໜ້າຢ່າງລຽບງ່າຍຂອງຂະບວນການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກ. ຕົວຢ່າງ, ໃນໄລຍະການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກທີ່ແຕກຕ່າງກັນເຊັ່ນ: ການຫວ່ານແກ່ນ, ການຄໍ, ການບ່າໄຫລ່, ການເຕີບໂຕຂອງເສັ້ນຜ່າສູນກາງເທົ່າກັນ ແລະ ການຫາງ, ການເຄື່ອນໄຫວຂອງຜລຶກແກ່ນ ແລະ ເຕົາອົບຕ້ອງໄດ້ຮັບການຄວບຄຸມຢ່າງຖືກຕ້ອງໂດຍລະບົບນີ້ເພື່ອຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການຂອງຂະບວນການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກ.

ລະບົບຄວບຄຸມອຸນຫະພູມຄວາມຮ້ອນ

ນີ້ແມ່ນໜຶ່ງໃນລະບົບຫຼັກຂອງເຕົາເຜົາຜລຶກດຽວ, ເຊິ່ງໃຊ້ເພື່ອຜະລິດຄວາມຮ້ອນ ແລະ ຄວບຄຸມອຸນຫະພູມໃນເຕົາເຜົາໄດ້ຢ່າງຖືກຕ້ອງ. ມັນສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນປະກອບດ້ວຍອົງປະກອບຕ່າງໆເຊັ່ນ: ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ, ເຊັນເຊີອຸນຫະພູມ, ແລະ ຕົວຄວບຄຸມອຸນຫະພູມ. ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນມັກຈະເຮັດດ້ວຍວັດສະດຸເຊັ່ນ: ແກຣໄຟທ໌ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ. ຫຼັງຈາກກະແສໄຟຟ້າສະຫຼັບຖືກປ່ຽນ ແລະ ຫຼຸດລົງເພື່ອເພີ່ມກະແສໄຟຟ້າ, ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນຈະສ້າງຄວາມຮ້ອນເພື່ອລະລາຍວັດສະດຸໂພລີຄຣິສຕິນເຊັ່ນ: ໂພລີຊິລິຄອນໃນເຕົາອົບ. ເຊັນເຊີອຸນຫະພູມຕິດຕາມການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມໃນເຕົາເຜົາໃນເວລາຈິງ ແລະ ສົ່ງສັນຍານອຸນຫະພູມໄປຫາຕົວຄວບຄຸມອຸນຫະພູມ. ຕົວຄວບຄຸມອຸນຫະພູມຄວບຄຸມພະລັງງານຄວາມຮ້ອນໄດ້ຢ່າງຖືກຕ້ອງຕາມພາລາມິເຕີອຸນຫະພູມທີ່ຕັ້ງໄວ້ ແລະ ສັນຍານອຸນຫະພູມຕອບຮັບ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງຮັກສາຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງອຸນຫະພູມໃນເຕົາເຜົາ ແລະ ສະໜອງສະພາບແວດລ້ອມອຸນຫະພູມທີ່ເໝາະສົມສຳລັບການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກ.

ລະບົບສູນຍາກາດ

ໜ້າທີ່ຫຼັກຂອງລະບົບສູນຍາກາດແມ່ນເພື່ອສ້າງ ແລະ ຮັກສາສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດໃນເຕົາອົບໃນລະຫວ່າງຂະບວນການເຕີບໃຫຍ່ຂອງຜລຶກ. ອາກາດ ແລະ ອາຍແກັສສິ່ງເຈືອປົນໃນເຕົາອົບຖືກສະກັດຜ່ານປ້ຳສູນຍາກາດ ແລະ ອຸປະກອນອື່ນໆເພື່ອເຮັດໃຫ້ຄວາມດັນອາຍແກັສໃນເຕົາອົບບັນລຸລະດັບຕໍ່າຫຼາຍ, ໂດຍທົ່ວໄປຕໍ່າກວ່າ 5TOR (torr). ສິ່ງນີ້ສາມາດປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ວັດສະດຸຊິລິໂຄນຖືກຜຸພັງໃນອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ຮັບປະກັນຄວາມບໍລິສຸດ ແລະ ຄຸນນະພາບຂອງການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກ. ໃນເວລາດຽວກັນ, ສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດຍັງເອື້ອອຳນວຍໃຫ້ແກ່ການກຳຈັດສິ່ງເຈືອປົນທີ່ລະເຫີຍໄດ້ທີ່ເກີດຂຶ້ນໃນລະຫວ່າງຂະບວນການເຕີບໃຫຍ່ຂອງຜລຶກ ແລະ ປັບປຸງຄຸນນະພາບຂອງຜລຶກ.

ລະບົບອາກອນ

ລະບົບອາກອນມີບົດບາດໃນການປົກປ້ອງ ແລະ ຄວບຄຸມຄວາມກົດດັນໃນເຕົາເຜົາໃນເຕົາເຜົາຜລຶກດຽວ. ຫຼັງຈາກດູດຝຸ່ນແລ້ວ, ອາຍແກັສອາກອນທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ (ຄວາມບໍລິສຸດຕ້ອງສູງກວ່າ 6 9) ຈະຖືກຕື່ມເຂົ້າໄປໃນເຕົາເຜົາ. ໃນດ້ານໜຶ່ງ, ມັນສາມາດປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ອາກາດພາຍນອກເຂົ້າໄປໃນເຕົາເຜົາ ແລະ ປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ວັດສະດຸຊິລິໂຄນຖືກຜຸພັງ; ໃນທາງກົງກັນຂ້າມ, ການຕື່ມອາຍແກັສອາກອນສາມາດຮັກສາຄວາມກົດດັນໃນເຕົາເຜົາໃຫ້ໝັ້ນຄົງ ແລະ ສະໜອງສະພາບແວດລ້ອມຄວາມກົດດັນທີ່ເໝາະສົມສຳລັບການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກ. ນອກຈາກນັ້ນ, ການໄຫຼຂອງອາຍແກັສອາກອນຍັງສາມາດດູດເອົາຄວາມຮ້ອນທີ່ເກີດຂຶ້ນໃນລະຫວ່າງຂະບວນການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກ, ມີບົດບາດໃນການເຮັດໃຫ້ເຢັນ.

ລະບົບເຮັດຄວາມເຢັນດ້ວຍນໍ້າ

ໜ້າທີ່ຂອງລະບົບເຮັດຄວາມເຢັນດ້ວຍນ້ຳແມ່ນເພື່ອເຮັດໃຫ້ສ່ວນປະກອບທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງຕ່າງໆຂອງເຕົາເຜົາຜລຶກດຽວເຢັນລົງເພື່ອຮັບປະກັນການເຮັດວຽກປົກກະຕິແລະອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງອຸປະກອນ. ໃນລະຫວ່າງການດຳເນີນງານຂອງເຕົາເຜົາຜລຶກດຽວ, ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ,ເຕົາອົບ, ຂົ້ວໄຟຟ້າ ແລະ ອົງປະກອບອື່ນໆຈະສ້າງຄວາມຮ້ອນຫຼາຍ. ຖ້າພວກມັນບໍ່ຖືກເຮັດໃຫ້ເຢັນລົງຕາມເວລາ, ອຸປະກອນຈະຮ້ອນເກີນໄປ, ຜິດຮູບ ຫຼື ແມ່ນແຕ່ເສຍຫາຍ. ລະບົບເຮັດຄວາມເຢັນດ້ວຍນ້ຳຈະເອົາຄວາມຮ້ອນຂອງອົງປະກອບເຫຼົ່ານີ້ອອກໄປໂດຍການໝູນວຽນນ້ຳເຮັດຄວາມເຢັນເພື່ອຮັກສາອຸນຫະພູມຂອງອຸປະກອນໃຫ້ຢູ່ໃນລະດັບທີ່ປອດໄພ. ໃນເວລາດຽວກັນ, ລະບົບເຮັດຄວາມເຢັນດ້ວຍນ້ຳຍັງສາມາດຊ່ວຍໃນການປັບອຸນຫະພູມໃນເຕົາອົບເພື່ອປັບປຸງຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມ.

ລະບົບຄວບຄຸມໄຟຟ້າ

ລະບົບຄວບຄຸມໄຟຟ້າແມ່ນ "ສະໝອງ" ຂອງເຕົາຜລຶກດຽວ, ຮັບຜິດຊອບໃນການຕິດຕາມ ແລະ ຄວບຄຸມການເຮັດວຽກຂອງອຸປະກອນທັງໝົດ. ມັນສາມາດຮັບສັນຍານຈາກເຊັນເຊີຕ່າງໆ, ເຊັ່ນ: ເຊັນເຊີອຸນຫະພູມ, ເຊັນເຊີຄວາມດັນ, ເຊັນເຊີຕຳແໜ່ງ, ແລະອື່ນໆ, ແລະ ປະສານງານ ແລະ ຄວບຄຸມລະບົບສົ່ງກຳລັງກົນຈັກ, ລະບົບຄວບຄຸມອຸນຫະພູມຄວາມຮ້ອນ, ລະບົບສູນຍາກາດ, ລະບົບອາກອນ ແລະ ລະບົບເຮັດຄວາມເຢັນນ້ຳໂດຍອີງໃສ່ສັນຍານເຫຼົ່ານີ້. ຕົວຢ່າງ, ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກ, ລະບົບຄວບຄຸມໄຟຟ້າສາມາດປັບພະລັງງານຄວາມຮ້ອນໂດຍອັດຕະໂນມັດຕາມສັນຍານອຸນຫະພູມທີ່ປ້ອນກັບຄືນໂດຍເຊັນເຊີອຸນຫະພູມ; ອີງຕາມການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກ, ມັນສາມາດຄວບຄຸມຄວາມໄວໃນການເຄື່ອນທີ່ ແລະ ມຸມໝຸນຂອງເມັດຜລຶກ ແລະ ເຕົາອົບ. ໃນເວລາດຽວກັນ, ລະບົບຄວບຄຸມໄຟຟ້າຍັງມີໜ້າທີ່ກວດສອບຄວາມຜິດພາດ ແລະ ສັນຍານເຕືອນໄພ, ເຊິ່ງສາມາດກວດພົບສະພາບຜິດປົກກະຕິຂອງອຸປະກອນໄດ້ທັນເວລາ ແລະ ຮັບປະກັນການເຮັດວຽກທີ່ປອດໄພຂອງອຸປະກອນ.