Кварцова лодка с висока чистота за обработка на вафли

Кварцова вафлена лодкае ключов инструмент-носител в производството на полупроводници, производството на фотоволтаични клетки и съвременните изследвания и разработки на материали, предназначен за стабилно прехвърляне и позициониране на пластини при високотемпературни процеси. Този продукт е изработен от свръхвисокочист стопен силициев диоксид (SiO2), с отлична температурна устойчивост, химическа стабилност и ултраниски характеристики на замърсяване с метал, подходящ за дифузионни пещи, окислителни пещи, PECVD/LPCVD и друго оборудване, широко използван при покриване на пластини, йонна имплантация, високотемпературно отгряване и други основни процеси.

Основните предимства на кварцовата лодка на VET Energy:

• Материал с ултрависока чистота
  Чистота ≥99,99%: Съдържание на примеси (Na, K, Fe и др.) <5 ppm, което избягва замърсяване на пластините и гарантира добив на чип.
  Ниско утаяване и адсорбция: повърхността е супер полирана (Ra≤0.4μm), за да се намали адхезията на частиците и остатъците от газ.
• Стабилност при висока температура
  Температурно ограничение: Дългосрочна работна температура от 1100℃, краткосрочен пик от 1300℃, без деформация, без кристално утаяване.
  Нисък коефициент на термично разширение (5,5x10-7/℃), отлична устойчивост на термичен удар, адаптивност към бързо повишаване и спадане на температурата (напр. бързо отгряване RTP).
• Прецизен структурен дизайн
  Прецизност на слота ±0,1 мм: съвпадение на пластини от 2” до 12”, грешка в равномерността на разстоянието <0,05 мм, гарантиращо, че пластините нямат отместване.
  Висока товароносимост: Максимално натоварване от 50 пластини (по отношение на 12-инчови пластини) в една лодка, което поддържа стабилен трансфер на тънки пластини (≥100um).
• Химическа инертност
  Устойчивост на корозия: Устойчив на киселини (с изключение на HF), основи и корозия от органични разтворители, съвместим с процеса на почистване CMP.
  Отлична газонепропускливост: Скорост на течове <5x10-10 Pa.m3/s, подходяща за вакуумни и защитни газови среди.
• Дълъг живот и поддръжка
  Продължителност на живота ≥ 5000 цикъла (нормални работни условия), повърхността може да се почиства и използва многократно, което намалява общите разходи.
  Модулен дизайн: поддържа частична подмяна (напр. единичен зъб на лодка), намалявайки времето за престой.

Предлагаме както прозрачни, така и матирани повърхности според изискванията на клиента:

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd е високотехнологично предприятие, фокусирано върху производството и продажбата на висококачествени съвременни материали. Материалите и технологиите включват графит, силициев карбид, керамика, повърхностна обработка като SiC покритие, TaC покритие, стъкловидно въглеродно покритие, пиролитично въглеродно покритие и др. Тези продукти се използват широко във фотоволтаиката, полупроводниците, новата енергетика, металургията и др.

Нашият технически екип идва от водещи местни изследователски институции и е разработил множество патентовани технологии, за да гарантира производителност и качество на продуктите, а също така може да предостави на клиентите професионални решения за материали.