SiC এপিট্যাক্সিয়াল বৃদ্ধির জন্য উন্নত CVD আবরণ
চরম তাপীয় চাপের (১৫০০°C - ১৭০০°C) অধীনে পরিচালিত উচ্চ-ক্ষমতাসম্পন্ন সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইস প্রসেসের জন্য বিশেষভাবে তৈরি, আমাদের CVD SiC এবং TaC প্রলেপযুক্ত প্ল্যানেটারি সাসসেপ্টর, স্যাটেলাইট ডিস্ক এবং গ্যাস ডিফ্লেক্টরগুলো উৎকৃষ্ট কার্যক্ষমতার জন্য নির্মিত। কণা তৈরি, পৃষ্ঠের অবক্ষয় এবং প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাস এচিং (H₂, SiH₄, C₃H∯) প্রতিরোধ করার জন্য ডিজাইন করা আমাদের উন্নত কোটিংগুলো দীর্ঘ কর্মক্ষম জীবনকাল, উন্নত ডোপ্যান্ট নিয়ন্ত্রণ এবং সর্বত্র ফিল্মের পুরুত্বের উচ্চ সমরূপতা নিশ্চিত করে।৬-ইঞ্চি এবং ৮-ইঞ্চি SiC এপিট্যাক্সিয়াল ওয়েফার.
তীব্র H₂/সিলেন বিজারক পরিবেশে ১৭০০°C পর্যন্ত তাপীয়ভাবে স্থিতিশীল।
দ্রুত তাপীয় চক্রের সময় আবরণের স্তরবিচ্ছিন্নতা, ক্ষুদ্র ফাটল এবং খসে পড়া রোধ করে।
পরবর্তী প্রজন্মের উচ্চ-উৎপাদনশীল SiC Epi রিয়্যাক্টর (LPE, Aixtron, Nuflare)-এর জন্য বিশেষভাবে তৈরি নির্ভুল CNC মেশিনিং।
| প্রযুক্তিগত পরামিতি | স্পেসিফিকেশন মান | মান / পরীক্ষার পদ্ধতি |
|---|---|---|
| আবরণ উপকরণের বিকল্প | CVD SiC / ট্যান্টালাম কার্বাইড (TaC) | উচ্চ-বিশুদ্ধ হারমেটিক স্তর |
| ভিত্তি স্তর | বিশুদ্ধ আইসোস্ট্যাটিক গ্রাফাইট | স্থূল অশুদ্ধি < 5 ppm |
| তাপীয় শক প্রতিরোধ | ডেল্টা টি > ৫০০°সে র্যাম্প রেট | কোন ফাটল / খোসা ওঠা নেই |
| পৃষ্ঠের অমসৃণতা (Ra) | ≤ ০.৪ μm (আয়নার মতো মসৃণ) | ওয়েফার আটকে যাওয়া এবং কণা প্রতিরোধ করে |
-
SiC কোটিং গ্রাফাইট MOCVD ওয়েফার ক্যারিয়ার সাকসে...
-
SiC প্রলেপযুক্ত গ্রাফাইট ভিত্তিক বাহক
-
Si-এর জন্য উপরের এবং নীচের গ্রাফাইট অর্ধচন্দ্রাকার অংশ...
-
W-এর জন্য SiC প্রলেপযুক্ত গ্রাফাইট সাসসেপ্টর এবং ক্যারিয়ার...
-
সিলিকন সি-এর জন্য SiC প্রলেপযুক্ত গ্রাফাইট অর্ধচন্দ্রাকার অংশ...
-
SiC প্রলেপযুক্ত গ্রাফাইট অর্ধচন্দ্রাকার অংশ এবং সংযোজন...