কোয়ার্টজ ওয়েফার বোটএটি সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন, ফটোভোল্টাইক সেল তৈরি এবং উন্নত উপাদান গবেষণা ও উন্নয়নের একটি প্রধান বাহক সরঞ্জাম, যা উচ্চ-তাপমাত্রার প্রক্রিয়াগুলিতে স্থিতিশীল ওয়েফার স্থানান্তর এবং স্থাপনের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। এই পণ্যটি অতি-উচ্চ বিশুদ্ধতার ফিউজড সিলিকা (SiO2) দিয়ে তৈরি, যার চমৎকার তাপমাত্রা প্রতিরোধ ক্ষমতা, রাসায়নিক স্থিতিশীলতা এবং অতি-নিম্ন ধাতব দূষণের বৈশিষ্ট্য রয়েছে। এটি ডিফিউশন ফার্নেস, অক্সিডেশন ফার্নেস, PECVD/LPCVD এবং অন্যান্য সরঞ্জামের জন্য উপযুক্ত এবং ওয়েফার কোটিং, আয়ন ইমপ্লান্টেশন, উচ্চ-তাপমাত্রার অ্যানিলিং এবং অন্যান্য মূল প্রক্রিয়াগুলিতে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়।
VET এনার্জির কোয়ার্টজ বোটের প্রধান সুবিধাগুলো হলো:
- অতি-উচ্চ বিশুদ্ধতার উপাদান
বিশুদ্ধতা ≥৯৯.৯৯%: অপদ্রব্যের পরিমাণ (Na, K, Fe, ইত্যাদি) <৫ পিপিএম, যা ওয়েফার দূষণ রোধ করে এবং চিপের উৎপাদন নিশ্চিত করে।
স্বল্প অধঃক্ষেপণ ও অধিশোষণ: কণার আসঞ্জন এবং গ্যাসীয় অবশেষ কমাতে পৃষ্ঠতলটিকে অতি-মসৃণ (Ra≤0.4μm) করা হয়েছে। - উচ্চ তাপমাত্রার স্থিতিশীলতা
তাপমাত্রার সীমা: দীর্ঘমেয়াদী কার্যকরী তাপমাত্রা ১১০০℃, স্বল্পমেয়াদী সর্বোচ্চ তাপমাত্রা ১৩০০℃, কোনো বিকৃতি বা স্ফটিক অধঃক্ষেপণ হয় না।
নিম্ন তাপীয় প্রসারণ সহগ (5.5x10-7/℃), চমৎকার তাপীয় অভিঘাত প্রতিরোধ ক্ষমতা, দ্রুত তাপমাত্রা বৃদ্ধি ও হ্রাসের প্রক্রিয়ার সাথে অভিযোজনযোগ্য (যেমন RTP র্যাপিড অ্যানিলিং)। - সুনির্দিষ্ট কাঠামোগত নকশা
স্লটের নির্ভুলতা ±০.১ মিমি: ২” থেকে ১২” ওয়েফারের জন্য উপযুক্ত, স্পেসিংয়ের অভিন্নতার ত্রুটি <০.০৫ মিমি, এবং ওয়েফারগুলোতে কোনো অফসেট নেই তা নিশ্চিত করা হয়।
উচ্চ ভারবহন ক্ষমতা: একটি বোটে সর্বোচ্চ ৫০টি ওয়েফার (১২” ওয়েফারের হিসাবে) ধারণ করতে পারে, যা পাতলা ওয়েফার (≥১০০um) স্থিতিশীলভাবে স্থানান্তরে সহায়তা করে। - রাসায়নিক নিষ্ক্রিয়তা
ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা: অ্যাসিড (HF ব্যতীত), ক্ষার এবং জৈব দ্রাবকের ক্ষয় প্রতিরোধী, CMP পরিশোধন প্রক্রিয়ার সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ।
চমৎকার গ্যাসরোধী ক্ষমতা: লিকেজ হার <5x10-10 Pa.m3/s, যা ভ্যাকুয়াম এবং সুরক্ষামূলক গ্যাস পরিবেশের জন্য উপযুক্ত। - দীর্ঘ জীবন এবং রক্ষণাবেক্ষণযোগ্যতা
আয়ুষ্কাল ≥ ৫০০০ চক্র (স্বাভাবিক কার্যকারিতায়), পৃষ্ঠতলটি বারবার পরিষ্কার করে ব্যবহার করা যায়, যা সামগ্রিক খরচ কমিয়ে আনে।
মডুলার ডিজাইন: আংশিক প্রতিস্থাপন সমর্থন করে (যেমন একটিমাত্র বোট টুথ), যা ডাউনটাইম কমায়।
আমরা গ্রাহকের চাহিদা অনুযায়ী স্বচ্ছ এবং অস্বচ্ছ উভয় প্রকার পৃষ্ঠতল সরবরাহ করে থাকি:
নিংবো ভিইটি এনার্জি টেকনোলজি কোং, লিমিটেড একটি উচ্চ-প্রযুক্তি সম্পন্ন প্রতিষ্ঠান যা উন্নত মানের উপকরণ উৎপাদন ও বিক্রয়ে মনোনিবেশ করে। এই উপকরণ ও প্রযুক্তির মধ্যে রয়েছে গ্রাফাইট, সিলিকন কার্বাইড, সিরামিক এবং সারফেস ট্রিটমেন্ট যেমন SiC কোটিং, TaC কোটিং, গ্লাসি কার্বন কোটিং, পাইরোলিটিক কার্বন কোটিং ইত্যাদি। এই পণ্যগুলি ফটোভোল্টাইক, সেমিকন্ডাক্টর, নতুন শক্তি, ধাতুবিদ্যা ইত্যাদি ক্ষেত্রে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়।
আমাদের কারিগরি দল দেশের শীর্ষস্থানীয় গবেষণা প্রতিষ্ঠান থেকে এসেছেন এবং পণ্যের কার্যকারিতা ও গুণমান নিশ্চিত করতে একাধিক পেটেন্টকৃত প্রযুক্তি উদ্ভাবন করেছেন, যা গ্রাহকদের পেশাদার উপাদানগত সমাধানও প্রদান করতে পারে।
