お客様の期待を超える満足感に応えるため、当社には強力なチームがあり、マーケティング、収益、企画、生産、優れた管理、梱包、倉庫保管、物流を含む最高の総合サポートを提供しています。OEM中国製高品質Sicグリーンシリコンカーバイドボンドコーティング研磨材の供給、高品質、タイムリーなサービス、積極的な価格設定により、国際的な激しい競争にもかかわらず、先進材料分野で優れた評判を得ています。

当社製SiCコーティンググラファイトサセプターの特長は、極めて高い純度、均一なコーティング、そして優れた耐用年数です。さらに、高い耐薬品性と耐熱性も備えています。

半導体用途向けグラファイト基板へのSiCコーティングは、優れた純度と酸化雰囲気に対する耐性を備えた部品を生み出す。
CVD SiCまたはCVI SiCは、単純な形状から複雑な形状まで、グラファイト製の部品に塗布されます。コーティングは様々な厚さで、非常に大きな部品にも適用可能です。

特徴：
・優れた耐熱衝撃性
・優れた物理的衝撃耐性
・優れた耐薬品性
・超高純度
・複雑な形状での対応が可能
・酸化雰囲気下で使用可能

応用：

ベースグラファイト材料の典型的な特性：

Carbon社は、現在稼働中のあらゆるエピタキシャルリアクター向けに、サセプターとグラファイト部品を提供しています。当社の製品ラインナップには、応用型およびLPEユニット用のバレルサセプター、LPE、CSD、およびGeminiユニット用のパンケーキサセプター、応用型およびASMユニット用のシングルウェーハサセプターが含まれます。VET社は、大手OEMとの強力なパートナーシップ、材料に関する専門知識、および製造ノウハウを組み合わせることで、お客様の用途に最適な設計を提供します。