Silisiumkarbidbelagt grafittmotstand for LED-etsing

Kort beskrivelse:

Silisiumkarbid-motstand for LED-etsing (SiC-brett) er et spesielt tilbehør for dyp silisiumetsing (ICP-etsemaskin). Waferbærer, også kjent som waferbærer, silisiumwaferbærer, også kjent som lommewafer. Mye brukt i halvleder-CVD og vakuumsputtering.


Produktdetaljer

Produktetiketter

Silisiumkarbidbelagt susceptor era nøkkelKomponenter som brukes i ulike produksjonsprosesser for halvledere.Vi bruker vår patenterte teknologi til å lage den silisiumkarbidbelagte susceptoren medekstremt høy renhet,godbeleggensartethetog en utmerket levetid, så vel somhøy kjemisk motstand og termiske stabilitetsegenskaper.

VET Energi er deekte produsent av tilpassede grafitt- og silisiumkarbidprodukter med CVD-belegg,kan leverediverseTilpassede deler for halvleder- og solcelleindustrien. OVårt tekniske team kommer fra topp innenlandske forskningsinstitusjoner, og kan tilby mer profesjonelle materialløsningerfor deg.

Vi utvikler kontinuerlig avanserte prosesser for å tilby mer avanserte materialer,oghar utviklet en eksklusiv patentert teknologi som kan gjøre bindingen mellom belegget og underlaget tettere og mindre utsatt for løsning.

Fegenskaper ved våre produkter:

1. Høy temperatur oksidasjonsmotstand opptil 1700.
2. Høy renhet ogtermisk ensartethet
3. Utmerket korrosjonsbestandighet: syre, alkali, salt og organiske reagenser.
4. Høy hardhet, kompakt overflate, fine partikler.
5. Lengre levetid og mer holdbar

Hjerte- og kardiovaskulær sykdom SiC薄膜基本物理性能

Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiCbelegg

性质 / Eiendom

典型数值 / Typisk verdi

晶体结构 / Krystallstruktur

FCC β-fase多晶,主要为(111)取向

密度 / Tetthet

3,21 g/cm³

硬度 / Hardhet

2500 维氏硬度(500g belastning)

晶粒大小 / Kornstørrelse

2~10 μm

纯度 / Kjemisk renhet

99,99995 %

热容 / Varmekapasitet

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimeringstemperatur

2700 ℃

抗弯强度 / Bøyestyrke

415 MPa RT 4-punkts

杨氏模量 / Youngs modul

430 Gpa 4pt bøy, 1300 ℃

导热系数 / TermalKonduktivitet

300 W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Termisk ekspansjon (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Hjertelig velkommen til å besøke fabrikken vår, la oss snakke videre!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Tidligere:
  • Neste:

  • WhatsApp online chat!