Componente e montagem em forma de meia-lua de grafite revestida com SiC para epitaxia de SiC.

Descrição resumida:

A VET Energy é uma fabricante e fornecedora profissional de componentes essenciais para fornos epitaxiais de carbeto de silício. Nosso conjunto em forma de meia-lua utiliza grafite de alta pureza combinado com tecnologia avançada de revestimento CVD. Ele foi projetado para ambientes epitaxiais de alta temperatura e alta corrosão. O grafite de alta pureza confere ao componente excelente resistência a altas temperaturas (>1600℃) e estabilidade térmica, garantindo a uniformidade do campo térmico; o revestimento CVD forma uma camada protetora densa na superfície por meio da tecnologia CVD, melhorando significativamente as propriedades antioxidantes e anticorrosivas, e prolongando a vida útil em mais de 3 vezes.

Material:Grafite de alta pureza

Tratamento:Revestimento CVD-SiC ou CVD-TaC

Personalização:Disponível

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Detalhes do produto

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Peça em forma de meia-lua de grafite revestida com SiCÉ um componente fundamental utilizado nos processos de fabricação de semicondutores, especialmente em equipamentos de epitaxia de SiC. Seu projeto estrutural e propriedades do material determinam diretamente a qualidade e a eficiência de produção dos wafers epitaxiais.

Construção da câmara de reação:
A parte em forma de meia-lua é composta por duas partes, a superior e a inferior, que são unidas para formar uma câmara de crescimento fechada, a qual acomoda o substrato de carbeto de silício (geralmente 4H-SiC ou 6H-SiC) e permite o crescimento epitaxial da camada através do controle preciso do fluxo de gás (como uma mistura de SiH₄, C₃H₈ e H₂).
Regulação do campo de temperatura:
A base de grafite de alta pureza, combinada com a bobina de aquecimento por indução, permite manter a uniformidade da temperatura da câmara (dentro de ±5°C) a uma temperatura elevada de 1500-1700°C, garantindo a consistência da espessura da camada epitaxial.
Orientação do fluxo de ar:
Ao projetar a posição da entrada e da saída de ar (como a entrada de ar lateral e a saída de ar superior do corpo do forno horizontal), o fluxo laminar do gás de reação é guiado através da superfície do substrato para reduzir os defeitos de crescimento causados pela turbulência.

Material base: grafite de alta pureza
Requisitos de pureza:Teor de carbono ≥99,99%, teor de cinzas ≤5 ppm, para garantir que nenhuma impureza se precipite e contamine a camada epitaxial em altas temperaturas.
Vantagens de desempenho:
Alta condutividade térmica:A condutividade térmica à temperatura ambiente atinge 150 W/(m・K), valor próximo ao do cobre, permitindo uma rápida transferência de calor.
Baixo coeficiente de expansão:5×10^-6/℃ (25-1000℃), compatível com o substrato de carbeto de silício (4,2×10^-6/℃), reduzindo o rachamento do revestimento causado pelo estresse térmico.
Precisão do processamento:Uma tolerância dimensional de ±0,05 mm é alcançada por meio de usinagem CNC para garantir a vedação da câmara.

Aplicações diferenciadas de CVD SiC e CVD TaC

Revestimento	Processo	Comparação	Aplicação típica
CVD-SiC	Temperatura: 1000-1200℃ Pressão: 10-100 Torr	Dureza HV2500, espessura de 50 a 100 µm, excelente resistência à oxidação (estável abaixo de 1600 °C).	Fornos epitaxiais universais, adequados para atmosferas convencionais como hidrogênio e silano.
CVD-TaC	Temperatura: 1600-1800℃ Pressão: 1-10 Torr	Dureza HV3000, espessura de 20 a 50 µm, extremamente resistente à corrosão (suporta gases corrosivos como HCl, NH₃, etc.).	Ambientes altamente corrosivos (como equipamentos de epitaxia e corrosão de GaN) ou processos especiais que exigem temperaturas ultra-altas de 2600 °C.

A VET Energy é uma fabricante profissional focada em pesquisa e desenvolvimento e na produção de materiais avançados de alta qualidade, como grafite, carbeto de silício e quartzo, além de tratamentos de materiais como revestimento de SiC, revestimento de TaC, revestimento de carbono vítreo, revestimento de carbono pirolítico, etc. Os produtos são amplamente utilizados em células fotovoltaicas, semicondutores, energias renováveis, metalurgia, entre outros.

Nossa equipe técnica é formada por profissionais das principais instituições de pesquisa nacionais, podendo oferecer soluções de materiais mais especializadas.

As vantagens da VET Energy incluem:
• Fábrica própria e laboratório profissional;
• Níveis de pureza e qualidade líderes do setor;
• Preço competitivo e prazo de entrega rápido;
• Diversas parcerias com a indústria em todo o mundo;

Teremos todo o prazer em receber a sua visita à nossa fábrica e laboratório!