Grafitový krúžok s povlakom TaC

Spoločnosť VET Energy sa zameriava na výskum, vývoj a výrobu vysokovýkonných grafitových krúžkov s CVD povlakom z karbidu tantalu (TaC) a je odhodlaná poskytovať základné riešenia v oblasti spotrebného materiálu pre polovodičový, fotovoltaický a vysokoteplotný priemysel. Naša nezávisle vyvinutá technológia chemického nanášania z pár (CVD) vytvára na povrchu grafitového substrátu hustý a rovnomerný povlak karbidu tantalu pomocou presných procesov, čím výrazne zlepšuje odolnosť produktu voči vysokým teplotám (> 3000 ℃), odolnosť voči korózii a odolnosť voči tepelným šokom, čím predlžuje životnosť viac ako 3-násobne a znižuje komplexné náklady zákazníkov.

Naše technické výhody:
1. Odolnosť voči oxidácii pri vysokých teplotách
V atmosfére vzduchu s teplotou 1200 ℃ je miera oxidačného nárastu hmotnosti ≤ 0,05 mg/cm²/h, čo je viac ako 3-násobok životnosti oxidačnej odolnosti bežného grafitu a je vhodné pre vysokofrekvenčné cykly ohrevu a chladenia.
2. Odolnosť voči korózii roztaveného kremíka/kovu
Povlak TaC je extrémne inertný voči kovom, ako je tekutý kremík (1600 ℃), roztavený hliník/meď atď., čím sa zabráni štrukturálnemu poškodeniu tradičných vodiacich krúžkov v dôsledku prenikania kovu, a je obzvlášť vhodný pre výrobu výkonových polovodičov a polovodičov tretej generácie.
3. Ultranízka kontaminácia časticami
Proces CVD dosahuje hustotu povlaku > 99,5 % a drsnosť povrchu Ra ≤ 0,2 μm, čím sa znižuje riziko uvoľňovania častíc zo zdroja a spĺňajú sa prísne požiadavky na čistotu pri výrobe 12-palcových doštičiek.
4. Presná kontrola veľkosti
Vďaka presnému CNC obrábaniu je tolerancia veľkosti grafitového substrátu ±0,01 mm a celková deformácia po nanesení povlaku je <±5 μm, čo je vhodné na inštaláciu do komor s vysoko presnými zariadeniami.