Фокусни прстен са CVD премазом за плазма нагризање је критична потрошна компонента која се користи у напредним системима за нагризање полупроводника. Пројектован са композитном структуром подлоге + CVD премаза, овај производ је дизајниран да оптимизује дистрибуцију плазме, побољша уједначеност нагризања и продужи век трајања компоненти коморе.
У компанији Vet Energy, користимо дубинско стручно знање у технологији хемијског таложења из паре (CVD) и напредних керамичких материјала како бисмо испоручили фокусне прстенове који испуњавају строге захтеве модерних полупроводничких чворова, укључујући FinFET и 3D NAND процесе.
Улога фокусног прстена у плазма нагризању
У системима за плазма нагризање (као што су ICP и CCP реактори), фокусни прстен је постављен око ивице плочице и игра виталну улогу у стабилности процеса и приносу.
1. Контрола униформности плазме
Фокусни прстен делује као електрична и физичка граница која помаже у регулисању расподеле густине плазме по површини плочице.
Кључне предности:
● Побољшана уједначеност брзине нагризања
● Смањена варијација од центра до ивице
● Побољшана поновљивост процеса
2. Компензација ефекта ивице
Без фокусног прстена, изобличење плазма омотача на ивици плочице може довести до неравномерног нагризања.
Фокусни прстен ефикасно функционише као „виртуелно продужење плочице“, минимизирајући аномалије повезане са ивицама као што су:
● Прекомерно нагризање на ивицама плочице
● Одступање критичне димензије (CD)
● Изобличење профила
3. Јонска трајекторија и контрола енергије
Утицајем на локално електрично поље, фокусни прстен помаже у стабилизацији углова упада јона и расподеле енергије, што је кључно за:
● Нагризање са високим односом ширине и висине (HAR)
● Анизотропна контрола профила
● Смањено оштећење бочних зидова
4. Заштита коморе и смањење контаминације
Као жртвена компонента, фокусни прстен апсорбује директно излагање плазми и нуспроизводе таложења.
Резултујуће предности:
● Смањена ерозија зидова коморе
● Мања контаминација честицама
● Продужени циклуси одржавања (интервали одржавања)
