VET Energys produktsortiment är inte begränsat till kiselskivor. Vi erbjuder även ett brett utbud av halvledarsubstratmaterial, inklusive SiC-substrat, SOI-skivor, SiN-substrat, Epi-skivor etc., såväl som nya halvledarmaterial med brett bandgap som galliumoxid Ga2O3 och AlN-skivor. Dessa produkter kan möta olika kunders behov inom kraftelektronik, radiofrekvens, sensorer och andra områden.
Användningsområden:
•Integrerade kretsar:Som grundmaterial för tillverkning av integrerade kretsar används P-typ kiselskivor i stor utsträckning i olika logikkretsar, minnen etc.
•Strömförsörjningsenheter:P-typ kiselskivor kan användas för att tillverka kraftenheter som krafttransistorer och dioder.
•Sensorer:P-typ kiselskivor kan användas för att tillverka olika typer av sensorer, såsom trycksensorer, temperatursensorer etc.
•Solceller:P-typ kiselskivor är en viktig komponent i solceller.
VET Energy erbjuder kunder skräddarsydda waferlösningar och kan anpassa wafers med olika resistivitet, olika syrehalter, olika tjocklekar och andra specifikationer enligt kundernas specifika behov. Dessutom erbjuder vi professionell teknisk support och eftermarknadsservice för att hjälpa kunder att lösa olika problem som uppstår i produktionsprocessen.
SPECIFIKATIONER FÖR WAFERANLÄGGNING
*n-Pm=n-typ Pm-kvalitet,n-Ps=n-typ Ps-kvalitet,Sl=Halvisolerande
| Punkt | 8-tums | 6-tums | 4-tums | ||
| nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
| TTV (GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
| Båge(GF3YFCD) - Absolut värde | ≤15 μm | ≤15 μm | ≤25 μm | ≤15 μm | |
| Varpning (GF3YFER) | ≤25 μm | ≤25 μm | ≤40 μm | ≤25 μm | |
| LTV (SBIR) - 10 mm x 10 mm | <2 μm | ||||
| Waferkant | Avfasning | ||||
YTBEHANDLING
*n-Pm=n-typ Pm-kvalitet,n-Ps=n-typ Ps-kvalitet,Sl=Halvisolerande
| Punkt | 8-tums | 6-tums | 4-tums | ||
| nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
| Ytbehandling | Dubbelsidig optisk polering, Si-Face CMP | ||||
| Ytjämnhet | (10µm x 10µm) Si-FaceRa≤0,2nm | (5umx5um) Si-yta Ra≤0,2nm | |||
| Kantchips | Inget tillåtet (längd och bredd ≥0,5 mm) | ||||
| Indrag | Inget tillåtet | ||||
| Repor (Si-Face) | Antal ≤5, Kumulativt | Antal ≤5, Kumulativt | Antal ≤5, Kumulativt | ||
| Sprickor | Inget tillåtet | ||||
| Kantuslutning | 3 mm | ||||





