VET Energys produktlinje er ikke begrenset til silisiumskiver. Vi tilbyr også et bredt spekter av halvledersubstratmaterialer, inkludert SiC-substrat, SOI-skiver, SiN-substrat, Epi-skiver osv., samt nye halvledermaterialer med bredt båndgap som galliumoksid Ga2O3 og AlN-skiver. Disse produktene kan dekke behovene til ulike kunder innen kraftelektronikk, radiofrekvens, sensorer og andre felt.
Søknadsfelt:
•Integrerte kretser:Som basismateriale for produksjon av integrerte kretser er P-type silisiumskiver mye brukt i ulike logiske kretser, minner, etc.
•Strømforsyninger:P-type silisiumskiver kan brukes til å lage kraftenheter som krafttransistorer og dioder.
•Sensorer:P-type silisiumskiver kan brukes til å lage ulike typer sensorer, for eksempel trykksensorer, temperatursensorer, etc.
•Solceller:P-type silisiumskiver er en viktig komponent i solceller.
VET Energy tilbyr kundene tilpassede waferløsninger, og kan tilpasse wafere med ulik resistivitet, ulikt oksygeninnhold, ulik tykkelse og andre spesifikasjoner i henhold til kundenes spesifikke behov. I tillegg tilbyr vi også profesjonell teknisk støtte og ettersalgsservice for å hjelpe kundene med å løse ulike problemer som oppstår i produksjonsprosessen.
SPESIFIKASJONER FOR VAFFERING
*n-Pm=n-type Pm-kvalitet, n-Ps=n-type Ps-kvalitet, Sl=Halvisolerende
| Punkt | 8-tommers | 6-tommers | 4-tommers | ||
| nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
| TTV (GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
| Bue(GF3YFCD) – Absolutt verdi | ≤15 μm | ≤15 μm | ≤25 μm | ≤15 μm | |
| Varp (GF3YFER) | ≤25 μm | ≤25 μm | ≤40 μm | ≤25 μm | |
| LTV (SBIR) - 10 mm x 10 mm | <2 μm | ||||
| Waferkant | Avfasing | ||||
OVERFLATEFINISH
*n-Pm=n-type Pm-kvalitet, n-Ps=n-type Ps-kvalitet, Sl=Halvisolerende
| Punkt | 8-tommers | 6-tommers | 4-tommers | ||
| nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
| Overflatebehandling | Dobbeltsidig optisk polering, Si-Face CMP | ||||
| Overflateruhet | (10µm x 10µm) Si-FaceRa≤0,2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0,2nm | |||
| Kantbrikker | Ingen tillatt (lengde og bredde ≥0,5 mm) | ||||
| Innrykk | Ingen tillatt | ||||
| Riper (Si-Face) | Antall ≤5, Kumulativ | Antall ≤5, Kumulativ | Antall ≤5, Kumulativ | ||
| Sprekker | Ingen tillatt | ||||
| Kantekskludering | 3 mm | ||||





