Gelişmiş SiC Konsollu Pedal, Yarı İletken Levha İşleme İçin

Gelişmiş SiC Konsollu Pedallı Levha İşleme Cihazı (Öne Çıkan Görsel)

Kısa Açıklama:

Vet-china tarafından piyasaya sürülen Gelişmiş SiC Konsol Paddle, wafer işleme verimliliğini ve hassasiyetini artırmak için yüksek teknoloji ürünü SiC malzemeleri kullanmaktadır. Vet-china'nın konsol paddle'ı, mükemmel ısı ve korozyon direnci özelliklerine sahip olup, zorlu üretim ortamlarında istikrarlı wafer işleme performansı sağlayarak üretim verimliliğini artırmak için ideal bir seçimdir.

Bize e-posta gönderin PDF olarak indir

Ürün Detayı

Ürün Etiketleri

GelişmişSiC Konsol KürekVet-china tarafından geliştirilen bu gofret işleme çözümü, yarı iletken üretiminde mükemmel bir çözüm sunmaktadır. SiC (silisyum karbür) malzemeden üretilen bu konsol destek, yüksek sertliği ve ısı direnci sayesinde yüksek sıcaklık ve aşındırıcı ortamlarda bile mükemmel performans sergiler. Konsol desteğin tasarımı, gofretin işleme sırasında güvenilir bir şekilde desteklenmesini sağlayarak parçalanma ve hasar riskini azaltır.

SiC Konsol KürekOksidasyon fırını, difüzyon fırını ve tavlama fırını gibi yarı iletken üretim ekipmanlarında kullanılan özel bir bileşendir; başlıca kullanım amacı, yüksek sıcaklık işlemlerinde gofretlerin yüklenmesi ve boşaltılması, desteklenmesi ve taşınmasıdır.

Ortak yapılarile ilgiliSiCckaldıraç karşıtıpeyer: Bir ucu sabit, diğer ucu serbest olan konsol yapısı, tipik olarak düz ve kürek benzeri bir tasarıma sahiptir.

VET Energy, kaliteyi garanti altına almak için yüksek saflıkta yeniden kristalleştirilmiş silisyum karbür malzemeler kullanmaktadır.

Yeniden kristalleştirilmiş silisyum karbürün fiziksel özellikleri
Mülk	Tipik Değer
Çalışma sıcaklığı (°C)	1600°C (oksijenli ortamda), 1700°C (indirgeyici ortamda)
SiC içeriği	> %99,96
Ücretsiz Si içeriği	< 0.1%
Hacimsel yoğunluk	2,60-2,70 g/cm³
Görünür gözeneklilik	< %16
Basınç dayanımı	> 600MPa
Soğuk eğilme dayanımı	80-90 MPa (20°C)
Sıcak bükme dayanımı	90-100 MPa (1400°C)
1500°C'de termal genleşme	4.70 10^-6/°C
1200°C'de termal iletkenlik	23W/m•K
Elastik modül	240 GPa
Termal şok direnci	Son derece iyi