Wafer İşleme için Gelişmiş SiC Konsol Kürek

Kısa Açıklama:

vet-china tarafından piyasaya sürülen Wafer İşleme için Gelişmiş SiC Konsol Kürek, wafer işlemenin verimliliğini ve hassasiyetini artırmak için yüksek teknoloji SiC malzemeleri kullanır. Vet-china'nın konsol küreği, zorlu üretim ortamlarında istikrarlı wafer işleme performansı sağlayarak mükemmel ısı direnci ve korozyon direncine sahiptir ve bu da onu üretim verimini artırmak için ideal bir seçim haline getirir.


Ürün Detayı

Ürün Etiketleri

GelişmişSiC Konsol Kürekvet-china tarafından oluşturulan Wafer İşleme için yarı iletken üretimi için mükemmel bir çözüm sunar. Bu konsol kürek SiC (silisyum karbür) malzemeden yapılmıştır ve yüksek sertliği ve ısı direnci, yüksek sıcaklık ve aşındırıcı ortamlarda mükemmel performans göstermesini sağlar. Konsol Kürek tasarımı, işleme sırasında wafer'ın güvenilir bir şekilde desteklenmesini sağlayarak parçalanma ve hasar riskini azaltır.

SiC Konsol KürekOksidasyon fırını, difüzyon fırını ve tavlama fırını gibi yarı iletken üretim ekipmanlarında kullanılan özel bir bileşendir, ana kullanım alanı gofret yükleme ve boşaltmadır, yüksek sıcaklık işlemleri sırasında gofretleri destekler ve taşır.

Ortak yapılarile ilgiliSiCcanti-kaldıraçpsersemletmek: Bir ucu sabit, diğer ucu serbest olan konsol yapı genellikle düz ve kürek benzeri bir tasarıma sahiptir.

VET Energy kaliteyi garanti altına almak için yüksek saflıkta yeniden kristalleştirilmiş silisyum karbür malzemeleri kullanır.

Yeniden Kristalleştirilmiş Silisyum Karbürün Fiziksel Özellikleri

Mülk

Tipik Değer

Çalışma sıcaklığı (°C)

1600°C (oksijenli), 1700°C (indirgeyici ortam)

SiC içeriği

> %99,96

Ücretsiz Si ​​içeriği

< 0,1%

Yığın yoğunluğu

2,60-2,70 gr/cm3

Görünür gözeneklilik

< %16

Basınç dayanımı

> 600MPa

Soğuk bükülme mukavemeti

80-90 MPa (20°C)

Sıcak bükme mukavemeti

90-100 MPa (1400°C)

Termal genleşme @1500°C

4.70 10-6/°C

Isı iletkenliği @1200°C

23H/A•K

Elastiklik modülü

240 GPa

Isıl şok direnci

Son derece iyi

VET Energy'nin Wafer İşleme için Gelişmiş SiC Konsol Küreklerinin avantajları şunlardır:

-Yüksek sıcaklık kararlılığı: 1600°C'nin üzerindeki ortamlarda kullanılabilir;

-Düşük termal genleşme katsayısı: boyutsal kararlılığı koruyarak, gofret eğrilme riskini azaltır;

-Yüksek saflık: Metal kontaminasyonu riskinin daha düşük olması;

-Kimyasal atalet: korozyona dayanıklı, çeşitli gaz ortamlarına uygundur;

-Yüksek mukavemet ve sertlik: Aşınmaya dayanıklı, uzun hizmet ömrü;

-İyi ısı iletkenliği: gofretin homojen bir şekilde ısınmasına yardımcı olur.

Konsol Kürek10
Konsol Kürek16
研发团队2
生产设备1
公司客户1

  • Öncesi:
  • Sonraki:

  • WhatsApp Online Sohbet!