GelişmişSiC Konsol Kürekvet-china tarafından oluşturulan Wafer İşleme için yarı iletken üretimi için mükemmel bir çözüm sunar. Bu konsol kürek SiC (silisyum karbür) malzemeden yapılmıştır ve yüksek sertliği ve ısı direnci, yüksek sıcaklık ve aşındırıcı ortamlarda mükemmel performans göstermesini sağlar. Konsol Kürek tasarımı, işleme sırasında wafer'ın güvenilir bir şekilde desteklenmesini sağlayarak parçalanma ve hasar riskini azaltır.
SiC Konsol KürekOksidasyon fırını, difüzyon fırını ve tavlama fırını gibi yarı iletken üretim ekipmanlarında kullanılan özel bir bileşendir, ana kullanım alanı gofret yükleme ve boşaltmadır, yüksek sıcaklık işlemleri sırasında gofretleri destekler ve taşır.
Ortak yapılarile ilgiliSiCcanti-kaldıraçpsersemletmek: Bir ucu sabit, diğer ucu serbest olan konsol yapı genellikle düz ve kürek benzeri bir tasarıma sahiptir.
VET Energy kaliteyi garanti altına almak için yüksek saflıkta yeniden kristalleştirilmiş silisyum karbür malzemeleri kullanır.
| Yeniden Kristalleştirilmiş Silisyum Karbürün Fiziksel Özellikleri | |
| Mülk | Tipik Değer |
| Çalışma sıcaklığı (°C) | 1600°C (oksijenli), 1700°C (indirgeyici ortam) |
| SiC içeriği | > %99,96 |
| Ücretsiz Si içeriği | < 0,1% |
| Yığın yoğunluğu | 2,60-2,70 gr/cm3 |
| Görünür gözeneklilik | < %16 |
| Basınç dayanımı | > 600MPa |
| Soğuk bükülme mukavemeti | 80-90 MPa (20°C) |
| Sıcak bükme mukavemeti | 90-100 MPa (1400°C) |
| Termal genleşme @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| Isı iletkenliği @1200°C | 23H/A•K |
| Elastiklik modülü | 240 GPa |
| Isıl şok direnci | Son derece iyi |
VET Energy'nin Wafer İşleme için Gelişmiş SiC Konsol Küreklerinin avantajları şunlardır:
-Yüksek sıcaklık kararlılığı: 1600°C'nin üzerindeki ortamlarda kullanılabilir;
-Düşük termal genleşme katsayısı: boyutsal kararlılığı koruyarak, gofret eğrilme riskini azaltır;
-Yüksek saflık: Metal kontaminasyonu riskinin daha düşük olması;
-Kimyasal atalet: korozyona dayanıklı, çeşitli gaz ortamlarına uygundur;
-Yüksek mukavemet ve sertlik: Aşınmaya dayanıklı, uzun hizmet ömrü;
-İyi ısı iletkenliği: gofretin homojen bir şekilde ısınmasına yardımcı olur.
-
Mükemmel sürtünme katsayısına sahip C/C Kompozitler (CFCS)...
-
Taşınabilir 1000w 24v Hidrojen Yakıt Hücresi Yakıt Hücresi...
-
Çin Üretici SiC Kaplamalı Grafit MOCVD Ep...
-
Elektrolitik hücrenin gaz difüzyon tabakası...
-
100w Yakıt Hücresi Yığını 12v Hidrojenle Çalışan Yakıt ...
-
Yüksek mukavemetli cam karbon pota...



