Dikey Fırın İçin SiC Yonga Levha Teknesi ve Tutucu
Silisyum karbür gofret teknesiEsas olarak, yarı iletken levhaların difüzyon, oksidasyon ve tavlama gibi yüksek sıcaklıktaki termal işlemlerinde levhaların desteklenmesi ve taşınması için kullanılır. Performansı, levha ürün kalitesini ve üretim verimliliğini doğrudan etkiler.
Silisyum karbür levha teknesinin yapısal tasarımları:
Genellikle yarık veya tarak benzeri bir yapıya sahiptir;
Yonga levhalarını yerleştirmek ve ayırmak için birden fazla yuva;
Gaz akış dağılımını dikkate alarak, homojen ısıtma ve soğutmayı sağlamak üzere tasarlanmıştır;
Dikey ve yatay fırınlar için uygundur;
3 inç, 4 inç, 6 inç, 8 inç, 12 inç gibi farklı boyutlardaki gofretler için tasarlanmıştır.
VET Energy'nin silisyum karbür gofret taşıyıcıları, gelişmiş sinterleme teknolojisi kullanılarak üretilir ve özellikle gelişmiş yarı iletken üretiminin katı proses taşıyıcı gereksinimlerini karşılamak üzere tasarlanmıştır. Üstün teknik avantajları öncelikle aşağıdaki yönlerde kendini gösterir:
1. Üstün Saflık ve Ultra Düşük Kirlilik
Ultra yüksek saflıkta ham maddeler kullanarak, ürünün son derece düşük metal iyon içeriğine (Na, K, Fe ve Ca için 1 ppm'den az) sahip olmasını sağlıyoruz. Yüksek sıcaklıklarda minimum çökelme, yonga levhası kirlenmesini etkili bir şekilde önleyerek yüksek çip verimi ve güvenilirliği sağlar; bu da onları süreç mükemmelliğine ulaşmayı hedefleyenler için ideal bir seçim haline getirir.
2. Mükemmel Termal Performans ve Kararlılık
SiC gofret taşıyıcılarımız son derece yüksek termal iletkenliğe ve mükemmel termal şok direncine sahiptir. Oda sıcaklığından 1600℃'ye kadar olan hızlı sıcaklık değişimlerine çatlama veya deformasyon olmadan dayanabilirler, bu da proses tekrarlanabilirliğini ve tutarlılığını sağlar ve taşıyıcı sorunlarından kaynaklanan plansız duruş sürelerini önemli ölçüde azaltır.
3. Olağanüstü Korozyon Direnci ve Mekanik Mukavemet
Yüksek sertliği ve güçlü aşınma direnci, asidik ve alkali ortamlara karşı olağanüstü direnciyle kuvars ve grafitten çok daha üstündür. Olağanüstü mekanik dayanımı, sık otomatik taşıma sırasında parçacık oluşumunu etkili bir şekilde önleyerek hizmet ömrünü önemli ölçüde uzatır ve genel işletme maliyetlerini düşürür.
4. Hassas Tasarım ve Mükemmel Tutarlılık
Gelişmiş kalıplama ve işleme teknolojilerinden yararlanarak, her bir wafer teknesinin hassas geometrik boyutlara ve mükemmel yüzey doğruluğuna sahip olmasını, böylece düzgün wafer aralığı ve istikrarlı hava akışı sağlamasını garanti ediyoruz.
| 重结晶碳化硅物理特性 Yeniden kristalleştirilmiş silisyum karbürün fiziksel özellikleri | |
| 性质 / Mülk | 典型数值 / Tipik Değer |
| Amerika Birleşik Devletleri/ Çalışma sıcaklığı (°C) | 1600°C (oksijenli ortamda), 1700°C (indirgeyici ortamda) |
| SiC含量/ SiC içeriği | > %99,96 |
| 自由Si含量/ Ücretsiz Si içeriği | < 0.1% |
| 体积密度/Hacimsel yoğunluk | 2,60-2,70 g/cm3 |
| 气孔率Görünür gözeneklilik | < %16 |
| 抗压强度/ Basınç dayanımı | > 600MPa |
| 常温抗弯强度/Soğuk eğilme dayanımı | 80-90 MPa (20°C) |
| Amerika Birleşik DevletleriSıcak bükme dayanımı | 90-100 MPa (1400°C) |
| Amerika Birleşik Devletleri/ 1500°C'de termal genleşme | 4.70 10-6/°C |
| 导热系数/1200°C'de termal iletkenlik | 23W/m•K |
| 杨氏模量/ Elastik modül | 240 GPa |
| 抗热震性/ Termal şok direnci | Son derece iyi |
VET Energy, grafit, silisyum karbür, kuvars gibi yüksek kaliteli gelişmiş malzemelerin yanı sıra SiC kaplama, TaC kaplama, camsı karbon kaplama, pirolitik karbon kaplama vb. malzeme işleme yöntemlerinin Ar-Ge ve üretimine odaklanan profesyonel bir üreticidir. Ürünler, fotovoltaik, yarı iletken, yeni enerji, metalurji vb. alanlarda yaygın olarak kullanılmaktadır.
Teknik ekibimiz, yurt içindeki önde gelen araştırma kurumlarından gelmektedir ve size daha profesyonel malzeme çözümleri sunabilir.
VET Energy'nin avantajları şunlardır:
• Kendi fabrikamız ve profesyonel laboratuvarımız;
• Sektör lideri saflık seviyeleri ve kalite;
• Rekabetçi fiyat ve hızlı teslimat süresi;
• Dünya çapında çok sayıda sektör ortaklığı;
Fabrikamızı ve laboratuvarımızı dilediğiniz zaman ziyaret etmenizi memnuniyetle karşılıyoruz!
