Tấm đỡ quang phủ SiC trên than chì là một thành phần quan trọng được sử dụng trong nhiều quy trình sản xuất chất bán dẫn. Chúng tôi sử dụng công nghệ được cấp bằng sáng chế của mình để sản xuất tấm đỡ quang với độ tinh khiết cực cao, độ đồng nhất lớp phủ tốt và tuổi thọ sử dụng tuyệt vời, cũng như khả năng kháng hóa chất và ổn định nhiệt cao.
Đặc điểm nổi bật của sản phẩm chúng tôi:
1. Khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao lên đến 1700℃.
2. Độ tinh khiết cao và tính đồng nhất về nhiệt độ
3. Khả năng chống ăn mòn tuyệt vời: axit, kiềm, muối và các chất phản ứng hữu cơ.
4. Độ cứng cao, bề mặt đặc chắc, hạt mịn.
5. Tuổi thọ cao hơn và bền hơn
| Bệnh tim mạch SiC薄膜基本物理性能 Các tính chất vật lý cơ bản của SiC CVDlớp phủ | |
| 性质 / Tài sản | 典型数值 Giá trị điển hình |
| 晶体结构 Cấu trúc tinh thể | Pha β của FCC多晶, 主要为（111)取向 |
| 密度 / Tỉ trọng | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 Độ cứng | 2500 维氏硬度(tải 500g) |
| 晶粒大小 / Kích thước hạt | 2~10μm |
| 纯度 Độ tinh khiết hóa học | 99,99995% |
| 热容 / Dung lượng nhiệt | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 Nhiệt độ thăng hoa | 2700℃ |
| 抗弯强度 Sức mạnh uốn cong | 415 MPa RT 4 điểm |
| 杨氏模量 Mô đun Young | Uốn cong 4 điểm, 430 GPa, 1300℃ |
| 导热系数 / ThermalĐộ dẫn điện | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 Hệ số giãn nở nhiệt (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy là nhà sản xuất thực sự các sản phẩm than chì và cacbua silic tùy chỉnh với các lớp phủ khác nhau như lớp phủ SiC, lớp phủ TaC, lớp phủ cacbon thủy tinh, lớp phủ cacbon nhiệt phân, v.v., có thể cung cấp nhiều linh kiện tùy chỉnh cho ngành công nghiệp bán dẫn và quang điện.
Đội ngũ kỹ thuật của chúng tôi đến từ các viện nghiên cứu hàng đầu trong nước, có thể cung cấp cho bạn các giải pháp vật liệu chuyên nghiệp hơn.
Chúng tôi liên tục phát triển các quy trình tiên tiến để cung cấp các vật liệu chất lượng cao hơn, và đã phát triển một công nghệ độc quyền được cấp bằng sáng chế, giúp tăng cường độ bám dính giữa lớp phủ và chất nền, đồng thời giảm nguy cơ bong tróc.
Rất hân hạnh được đón tiếp quý khách đến thăm nhà máy của chúng tôi, hãy cùng trao đổi thêm nhé!
