CVD (כעמישע פארע דעפאזיציע) איז א געווענליך גענוצטע מעטאד פארן צוגרייטן סיליקאן קארבייד קאוטינגס.CVD סיליקאָן קאַרבייד קאָוטינגזהאָבן פילע אייגנאַרטיקע פאָרשטעלונג קעראַקטעריסטיקס. דער אַרטיקל וועט באַקענען די צוגרייטונג מעטאָד פון CVD סיליקאָן קאַרבייד קאָוטינג און זייַן פאָרשטעלונג קעראַקטעריסטיקס.
1. צוגרייטונג מעטאָדע פוןCVD סיליקאָן קאַרבייד קאָוטינג
די CVD מעטאָדע קאָנווערטירט גאַז-פאַרגייער אין האַרטע סיליקאָן קאַרבייד באַדעקונגען אונטער הויכע טעמפּעראַטור באדינגונגען. לויט די פאַרשידענע גאַז-פאַרגייער, קען מען עס צעטיילט אין גאַז-פאַזע CVD און פליסיק-פאַזע CVD.
1. פארע פאזע CVD
פארע-פאזע CVD ניצט גאז-פארגייער, געווענליך ארגאנאסיליקאן פארבינדונגען, צו דערגרייכן דעם וואוקס פון סיליקאן קארבייד פילמען. געווענליך גענוצטע ארגאנאסיליקאן פארבינדונגען שליסן איין מעטילסילאן, דימעטהילסילאן, מאנאסילאן, א.א.וו., וועלכע פארמען סיליקאן קארבייד פילמען אויף מעטאל סובסטראטן דורך טראנספארטירן גאז-פארגייער אין הויך-טעמפּעראַטור רעאקציע קאמערן. הויך-טעמפּעראַטור געביטן אין דער רעאקציע קאמער ווערן געווענליך גענערירט דורך אינדוקציע הייצונג אדער רעזיסטיוו הייצונג.
2. פליסיקע פאַזע CVD
פליסיק-פאַזע CVD ניצט אַ פליסיקן פאָרגייער, געוויינטלעך אַן אָרגאַנישן סאָלוואַנט וואָס כּולל סיליקאָן און אַ סילאַנאָל קאַמפּאַונד, וואָס ווערט געהייצט און פארדאַמפּט אין אַ רעאַקציע קאַמער, און דערנאָך ווערט אַ סיליקאָן קאַרבייד פילם געשאפן אויף דעם סאַבסטראַט דורך אַ כעמישער רעאַקציע.
2. פאָרשטעלונג קעראַקטעריסטיקס פוןCVD סיליקאָן קאַרבייד קאָוטינג
1. אויסגעצייכנט הויך טעמפּעראַטור פאָרשטעלונג
CVD סיליקאָן קאַרבייד קאָוטינגזאָפֿערן אויסגעצייכנטע הויך טעמפּעראַטור סטאַביליטעט און אַקסאַדיישאַן קעגנשטעל. עס איז טויגעוודיק צו אַרבעטן אין הויך טעמפּעראַטור ינווייראַנמאַנץ און קען וויטסטאַנד עקסטרעמע באדינגונגען ביי הויך טעמפּעראַטורן.
2. גוטע מעכאנישע אייגנשאפטן
CVD סיליקאָן קאַרבייד קאָוטינגהאט הויכע האַרטקייט און גוטע טראָגן קעגנשטעל. עס באַשיצט מעטאַל סאַבסטראַטן פון טראָגן און קעראָוזשאַן, פאַרלענגערנדיק די מאַטעריאַל ס דינסט לעבן.
3. אויסגעצייכנטע כעמישע פעסטקייט
CVD סיליקאָן קאַרבייד קאָוטינגזזענען העכסט קעגנשטעליק צו געוויינטלעכע כעמיקאַלן ווי זויערן, אַלקאַליס און זאַלץ. עס שטעלט זיך קעגן כעמישע אַטאַקעס און קעראָוזשאַן פון די סאַבסטראַט.
4. נידעריקע רייַבונג קאָעפיציענט
CVD סיליקאָן קאַרבייד קאָוטינגהאט אַ נידעריקן רייַבונג קאָעפֿיציענט און גוטע זיך-לובריקירנדיקע אייגנשאַפֿטן. עס רעדוצירט רייַבונג און טראָגן און פֿאַרבעסערט די עפֿעקטיווקייט פֿון מאַטעריאַל נוצן.
5. גוטע טערמישע קאַנדאַקטיוויטי
CVD סיליקאָן קאַרבייד קאָוטינג האט גוטע טערמישע קאַנדאַקטיוויטי פּראָפּערטיעס. עס קען שנעל פירן היץ און פֿאַרבעסערן די היץ דיסיפּיישאַן עפעקטיווקייַט פון די מעטאַל באַזע.
6. אויסגעצייכנטע עלעקטרישע איזאָלאַציע פּראָפּערטיעס
CVD סיליקאָן קאַרבייד קאָוטינג האט גוטע עלעקטרישע איזאָלאַציע אייגנשאַפטן און קען פאַרהיטן קראַנט ליקאַדזש. עס ווערט ברייט גענוצט אין דער איזאָלאַציע שוץ פון עלעקטראָנישע דעוויסעס.
7. אַדזשאַסטאַבאַל גרעב און זאַץ
דורך קאנטראלירן די באדינגונגען בעת דעם CVD פראצעס און די קאנצענטראציע פון דעם פארגייער, קען מען צופאסן די גרעב און צוזאמענשטעלונג פון דעם סיליקאן קארבייד פילם. דאס גיט אסאך אפציעס און בייגיקייט פאר א פארשיידנקייט פון אנווענדונגען.
קורץ געזאגט, CVD סיליקאן קאַרבייד קאָוטינג האט אויסגעצייכנטע הויך טעמפּעראַטור פאָרשטעלונג, אויסגעצייכנטע מעכאַנישע אייגנשאַפטן, גוטע כעמישע פעסטקייט, נידעריקע רייַבונג קאָעפֿיציענט, גוטע טערמישע קאַנדאַקטיוויטי און עלעקטרישע איזאָלאַציע אייגנשאַפטן. די אייגנשאַפטן מאַכן CVD סיליקאן קאַרבייד קאָוטינגז וויידלי געניצט אין פילע פעלדער, אַרייַנגערעכנט עלעקטראָניק, אָפּטיק, אַעראָספּייס, כעמישע אינדוסטריע, אאז"ו ו.
פּאָסט צייט: 20סטן מערץ 2024