A CVD (kémiai gőzfázisú leválasztás) egy általánosan használt módszer a szilícium-karbid bevonatok előállítására.CVD szilícium-karbid bevonatokszámos egyedi teljesítményjellemzővel rendelkeznek. Ez a cikk bemutatja a CVD szilícium-karbid bevonat előállítási módszerét és teljesítményjellemzőit.
1. Elkészítési módszerCVD szilícium-karbid bevonat
A CVD módszer gáznemű prekurzorokat alakít át szilárd szilícium-karbid bevonatokká magas hőmérsékleten. A különböző gáznemű prekurzorok szerint gázfázisú CVD-re és folyékony fázisú CVD-re osztható.
1. Gőzfázisú CVD
A gőzfázisú CVD gáznemű prekurzorokat, általában szerves szilíciumvegyületeket használ a szilícium-karbid filmek növesztéséhez. A gyakran használt szerves szilíciumvegyületek közé tartozik a metilszilán, dimetilszilán, monoszilán stb., amelyek szilícium-karbid filmeket képeznek fém hordozókon a gáznemű prekurzorok magas hőmérsékletű reakciókamrákba juttatásával. A reakciókamrában a magas hőmérsékletű területeket általában indukciós melegítéssel vagy ellenállásos melegítéssel hozzák létre.
2. Folyékony fázisú CVD
A folyékony fázisú CVD eljárás egy folyékony prekurzort, általában szilíciumot és szilanolvegyületet tartalmazó szerves oldószert használ, amelyet egy reakciókamrában melegítenek és elpárologtatnak, majd kémiai reakció révén szilícium-karbid filmet képeznek az aljzaton.
2. TeljesítményjellemzőkCVD szilícium-karbid bevonat
1. Kiváló magas hőmérsékleti teljesítmény
CVD szilícium-karbid bevonatokkiváló magas hőmérsékleti stabilitást és oxidációs ellenállást kínálnak. Magas hőmérsékletű környezetben is képes működni, és ellenáll a szélsőséges körülményeknek magas hőmérsékleten.
2.Jó mechanikai tulajdonságok
CVD szilícium-karbid bevonatNagy keménységgel és jó kopásállósággal rendelkezik. Védi a fémfelületeket a kopástól és a korróziótól, meghosszabbítva az anyag élettartamát.
3. Kiváló kémiai stabilitás
CVD szilícium-karbid bevonatokRendkívül ellenállóak a gyakori vegyszerekkel, például savakkal, lúgokkal és sókkal szemben. Ellenáll a kémiai támadásnak és az aljzat korróziójának.
4. Alacsony súrlódási együttható
CVD szilícium-karbid bevonatAlacsony súrlódási együtthatóval és jó önkenő tulajdonságokkal rendelkezik. Csökkenti a súrlódást és a kopást, valamint javítja az anyagfelhasználás hatékonyságát.
5.Jó hővezető képesség
A CVD szilícium-karbid bevonat jó hővezető tulajdonságokkal rendelkezik. Gyorsan vezeti a hőt és javítja a fém alap hőelvezetési hatékonyságát.
6. Kiváló elektromos szigetelési tulajdonságok
A CVD szilícium-karbid bevonat jó elektromos szigetelő tulajdonságokkal rendelkezik, és megakadályozhatja az áram szivárgását. Széles körben használják elektronikus eszközök szigetelésvédelmében.
7. Állítható vastagság és összetétel
A CVD eljárás körülményeinek és a prekurzor koncentrációjának szabályozásával a szilícium-karbid film vastagsága és összetétele beállítható. Ez számos lehetőséget és rugalmasságot kínál a különféle alkalmazásokhoz.
Röviden, a CVD szilícium-karbid bevonat kiváló magas hőmérsékleti teljesítménnyel, kiváló mechanikai tulajdonságokkal, jó kémiai stabilitással, alacsony súrlódási együtthatóval, jó hővezető képességgel és elektromos szigetelő tulajdonságokkal rendelkezik. Ezek a tulajdonságok széles körben alkalmazzák a CVD szilícium-karbid bevonatokat számos területen, beleértve az elektronikát, az optikát, a repülőgépipart, a vegyipart stb.
Közzététel ideje: 2024. márc. 20.