CVD (хімічнае асаджэнне з паравой фазы) — гэта распаўсюджаны метад атрымання пакрыццяў з карбіду крэмнію.Пакрыцці з карбіду крэмнію CVDмаюць шмат унікальных характарыстык. У гэтым артыкуле будзе прадстаўлены метад атрымання пакрыцця з карбіду крэмнію метадам CVD і яго характарыстыкі.
1. Спосаб падрыхтоўкіПакрыццё з карбіду крэмнію CVD
Метад CVD пераўтварае газападобныя папярэднікі ў цвёрдыя пакрыцці з карбіду крэмнію пры высокай тэмпературы. У залежнасці ад розных газападобных папярэднікаў, яго можна падзяліць на CVD у газавай фазе і CVD у вадкай фазе.
1. Хімічная хімічна апрацоўка парай
У парафазнай хімічнай осаджвальнай тэхналогіі (ХПГ) для росту плёнак карбіду крэмнію выкарыстоўваюцца газападобныя папярэднікі, звычайна арганакрэмніевыя злучэнні. Да часта выкарыстоўваных арганакрэмніевых злучэнняў адносяцца метылсілан, дыметылсілан, монасілан і г.д., якія ўтвараюць плёнкі карбіду крэмнію на металічных падкладках шляхам транспарціроўкі газападобных папярэднікаў у рэакцыйныя камеры з высокай тэмпературай. Высокатэмпературныя зоны ў рэакцыйнай камеры звычайна ствараюцца індукцыйным награваннем або рэзістыўным награваннем.
2. Хімічная хімічна апрацоўка вадкай фазы
Вадкафазная CVD выкарыстоўвае вадкі папярэднік, звычайна арганічны растваральнік, які змяшчае крэмній і сіланол, які награваецца і выпараецца ў рэакцыйнай камеры, а затым у выніку хімічнай рэакцыі на падкладцы ўтвараецца плёнка карбіду крэмнію.
2. Характарыстыкі эксплуатацыіПакрыццё з карбіду крэмнію CVD
1. Выдатная праца пры высокіх тэмпературах
Пакрыцці з карбіду крэмнію CVDзабяспечвае выдатную стабільнасць пры высокіх тэмпературах і ўстойлівасць да акіслення. Здольны працаваць у асяроддзях з высокімі тэмпературамі і вытрымліваць экстрэмальныя ўмовы пры высокіх тэмпературах.
2. Добрыя механічныя ўласцівасці
Пакрыццё з карбіду крэмнію CVDмае высокую цвёрдасць і добрую зносаўстойлівасць. Абараняе металічныя падкладкі ад зносу і карозіі, падаўжаючы тэрмін службы матэрыялу.
3. Выдатная хімічная стабільнасць
Пакрыцці з карбіду крэмнію CVDвельмі ўстойлівыя да распаўсюджаных хімічных рэчываў, такіх як кіслоты, шчолачы і солі. Яны супрацьстаяць хімічнаму ўздзеянню і карозіі падкладкі.
4. Нізкі каэфіцыент трэння
Пакрыццё з карбіду крэмнію CVDмае нізкі каэфіцыент трэння і добрыя самазмазвальныя ўласцівасці. Гэта памяншае трэнне і знос, а таксама павышае эфектыўнасць выкарыстання матэрыялу.
5. Добрая цеплаправоднасць
Пакрыццё з карбіду крэмнію, атрыманае метадам CVD, мае добрыя цеплаправодныя ўласцівасці. Яно можа хутка праводзіць цяпло і паляпшаць эфектыўнасць рассейвання цяпла металічнай асновай.
6. Выдатныя электраізаляцыйныя ўласцівасці
Пакрыццё з карбіду крэмнію, атрыманае метадам CVD, мае добрыя электраізаляцыйныя ўласцівасці і можа прадухіліць уцечку току. Яно шырока выкарыстоўваецца для абароны ізаляцыі электронных прылад.
7. Рэгуляваная таўшчыня і склад
Кантралюючы ўмовы падчас працэсу CVD і канцэнтрацыю папярэдніка, можна рэгуляваць таўшчыню і склад плёнкі карбіду крэмнію. Гэта забяспечвае мноства варыянтаў і гнуткасць для розных ужыванняў.
Карацей кажучы, CVD-пакрыццё з карбіду крэмнію мае выдатныя характарыстыкі пры высокіх тэмпературах, выдатныя механічныя ўласцівасці, добрую хімічную стабільнасць, нізкі каэфіцыент трэння, добрую цеплаправоднасць і электраізаляцыйныя ўласцівасці. Гэтыя ўласцівасці робяць CVD-пакрыцці з карбіду крэмнію шырока выкарыстоўванымі ў многіх галінах, у тым ліку ў электроніцы, оптыцы, аэракасмічнай, хімічнай прамысловасці і г.д.
Час публікацыі: 20 сакавіка 2024 г.