O le CVD (Chemical Vapor Deposition) o se metotia e masani ona faʻaaogaina mo le sauniaina o ufiufi silicon carbide.Ufiufi CVD silicon carbidee tele uiga tulaga ese o le faatinoga. O lenei tusiga o le a faʻalauiloa atu ai le metotia o le sauniuniga o le ufiufi CVD silicon carbide ma ona uiga faʻatino.
1. Metotia o le sauniuniga oUfiufi CVD silicon carbide
O le metotia CVD e liua ai mea e pei o le kesi i ni ufiufi silicon carbide malo i lalo o tulaga vevela maualuga. E tusa ai ma mea eseese e pei o le kesi, e mafai ona vaevaeina i le CVD vaega kesi ma le CVD vaega vai.
1. CVD vaega ausa
O le vapor phase CVD e faʻaaogaina ai mea e pei o le kesi, e masani lava o mea e fai i le organosilicon, e ausia ai le tuputupu aʻe o ata tifaga silicon carbide. O mea e masani ona faʻaaogaina i le organosilicon e aofia ai le methylsilane, dimethylsilane, monosilane, ma isi, ia e fausia ai ata tifaga silicon carbide i luga o mea uʻamea e ala i le felauaiga o mea e fai i le kesi i totonu o potu e tali atu ai i le vevela maualuga. O vaega e maualuga le vevela i totonu o le potu e tali atu ai e masani ona gaosia e ala i le faʻavevela o le induction poʻo le faʻavevela teteʻe.
2. CVD vaega vai
O le CVD vai-phase e faʻaaogaina se vailaʻau muamua, e masani lava o se solvent organic e iai le silicon ma se silanol compound, lea e faʻavevela ma faʻasusu i totonu o se potu tali, ona fausia lea o se ata silicon carbide i luga o le substrate e ala i se tali faʻakemikolo.
2. Uiga o le faatinoga oUfiufi CVD silicon carbide
1. Fa'atinoga lelei tele i le vevela maualuga
Ufiufi CVD silicon carbidee ofoina atu le mautu lelei i le vevela maualuga ma le tete'e atu i le 'okesaita. E mafai ona galue i siosiomaga vevela maualuga ma e mafai ona tatalia tulaga ogaoga i le vevela maualuga.
2. Meatotino lelei fa'amekanika
Ufiufi CVD silicon carbidee maualuga le ma'a'a ma e tete'e lelei i le ofuina. E puipuia ai mea u'amea mai le ofuina ma le 'ele, ma fa'alauteleina ai le umi e fa'aaoga ai le mea.
3. Tulaga mautu lelei o vailaʻau
Ufiufi CVD silicon carbidee matuā tete'e lava i vaila'au masani e pei o 'āsi, kalasi ma masima. E tete'e atu i osofa'iga fa'akemikolo ma le 'ele o le mea e fa'apipi'i i ai.
4. Fa'atusatusaga o le fete'ena'iga maualalo
Ufiufi CVD silicon carbidee maualalo le fua fa'atatau o le fete'ena'iga ma e lelei fo'i ona fa'a'asu. E fa'aitiitia ai le fete'ena'iga ma le ofuina ma fa'aleleia atili ai le lelei o le fa'aaogaina o meafaitino.
5. Fa'aleleia lelei o le vevela
E lelei le fa'avevela o le ufi CVD silicon carbide. E vave ona fa'avevela ma fa'aleleia atili ai le lelei o le fa'asa'olotoina o le vevela o le u'amea.
6. Meatotino fa'a'ese'ese eletise lelei tele
O le ufiufi CVD silicon carbide e iai ona uiga lelei e puipuia ai le eletise ma e mafai ona puipuia ai le tafe o le eletise. E faʻaaogaina lautele i le puipuiga o masini eletise mai le vevela.
7. Mafiafia ma le tuufaatasiga e mafai ona fetu'una'i
I le puleaina o tulaga i le taimi o le faagasologa o le CVD ma le malosi o le precursor, e mafai ona fetu'una'i le mafiafia ma le tuufaatasiga o le silicon carbide film. E maua ai le tele o filifiliga ma le fetu'una'i mo le tele o fa'aoga.
I se aotelega, o le ufiufi CVD silicon carbide e sili ona lelei i le vevela maualuga, meatotino fa'ainisinia sili ona lelei, mautu lelei i vaila'au, maualalo le tau o le fete'ena'iga, lelei le fa'avevela ma meatotino fa'a'eletise. O nei meatotino e fa'aaogaina lautele ai ufiufi CVD silicon carbide i le tele o matā'upu, e aofia ai mea fa'aeletoronika, mea va'ai, va'alele, alamanuia vaila'au, ma isi.
Taimi na lafoina ai: Mati-20-2024