රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම (CVD) යනු සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපන සකස් කිරීම සඳහා බහුලව භාවිතා වන ක්රමයකි.CVD සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනබොහෝ අද්විතීය කාර්ය සාධන ලක්ෂණ ඇත. මෙම ලිපියෙන් CVD සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනය සකස් කිරීමේ ක්රමය සහ එහි කාර්ය සාධන ලක්ෂණ හඳුන්වා දෙනු ඇත.
1. සකස් කිරීමේ ක්රමයCVD සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනය
CVD ක්රමය මඟින් වායුමය පූර්වගාමීන් ඉහළ උෂ්ණත්ව තත්ත්ව යටතේ ඝන සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපන බවට පරිවර්තනය කරයි. විවිධ වායුමය පූර්වගාමීන්ට අනුව, එය වායු අවධියේ CVD සහ ද්රව අවධියේ CVD ලෙස බෙදිය හැකිය.
1. වාෂ්ප අවධිය CVD
වාෂ්ප අවධියේ CVD, සිලිකන් කාබයිඩ් පටල වර්ධනය සාක්ෂාත් කර ගැනීම සඳහා වායුමය පූර්වගාමීන්, සාමාන්යයෙන් ඕගනොසිලිකන් සංයෝග භාවිතා කරයි. බහුලව භාවිතා වන ඕගනොසිලිකන් සංයෝග අතර මෙතිල්සිලේන්, ඩයිමෙතිල්සිලේන්, මොනොසිලේන් ආදිය ඇතුළත් වන අතර, වායුමය පූර්වගාමීන් ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්රතික්රියා කුටිවලට ප්රවාහනය කිරීමෙන් ලෝහ උපස්ථර මත සිලිකන් කාබයිඩ් පටල සාදයි. ප්රතික්රියා කුටියේ ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්රදේශ සාමාන්යයෙන් ප්රේරක උණුසුම හෝ ප්රතිරෝධක උණුසුම මගින් ජනනය වේ.
2. ද්රව අදියර CVD
ද්රව-අදියර CVD සඳහා ද්රව පූර්වගාමියෙකු භාවිතා කරයි, සාමාන්යයෙන් සිලිකන් සහ සිලනෝල් සංයෝගයක් අඩංගු කාබනික ද්රාවකයක් වන අතර එය ප්රතික්රියා කුටියක රත් කර වාෂ්ප කර, පසුව රසායනික ප්රතික්රියාවක් හරහා උපස්ථරය මත සිලිකන් කාබයිඩ් පටලයක් සාදනු ලැබේ.
2. කාර්ය සාධන ලක්ෂණCVD සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනය
1. විශිෂ්ට ඉහළ උෂ්ණත්ව කාර්ය සාධනය
CVD සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනවිශිෂ්ට ඉහළ උෂ්ණත්ව ස්ථායිතාවයක් සහ ඔක්සිකරණ ප්රතිරෝධයක් ලබා දෙයි. එය ඉහළ උෂ්ණත්ව පරිසරයක වැඩ කිරීමට හැකියාව ඇති අතර ඉහළ උෂ්ණත්වවලදී ආන්තික තත්වයන්ට ඔරොත්තු දිය හැකිය.
2.හොඳ යාන්ත්රික ගුණාංග
CVD සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනයඉහළ දෘඪතාවක් සහ හොඳ ඇඳුම් ප්රතිරෝධයක් ඇත. එය ලෝහ උපස්ථර ඇඳීම් හා විඛාදනයෙන් ආරක්ෂා කරයි, ද්රව්යයේ සේවා කාලය දීර්ඝ කරයි.
3. විශිෂ්ට රසායනික ස්ථායිතාව
CVD සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනඅම්ල, ක්ෂාර සහ ලවණ වැනි පොදු රසායනික ද්රව්යවලට බෙහෙවින් ප්රතිරෝධී වේ. එය රසායනික ප්රහාරයට සහ උපස්ථරයේ විඛාදනයට ප්රතිරෝධී වේ.
4. අඩු ඝර්ෂණ සංගුණකය
CVD සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනයඅඩු ඝර්ෂණ සංගුණකයක් සහ හොඳ ස්වයං-ලිහිසිකරණ ගුණ ඇත. එය ඝර්ෂණය සහ ගෙවී යාම අඩු කරන අතර ද්රව්ය භාවිතයේ කාර්යක්ෂමතාව වැඩි දියුණු කරයි.
5.හොඳ තාප සන්නායකතාවය
CVD සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනය හොඳ තාප සන්නායකතා ගුණ ඇත. එය ඉක්මනින් තාපය සන්නයනය කළ හැකි අතර ලෝහ පාදයේ තාප විසර්ජන කාර්යක්ෂමතාව වැඩි දියුණු කළ හැකිය.
6. විශිෂ්ට විදුලි පරිවාරක ගුණ
CVD සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනය හොඳ විද්යුත් පරිවාරක ගුණ ඇති අතර ධාරා කාන්දු වීම වළක්වා ගත හැකිය. ඉලෙක්ට්රොනික උපාංගවල පරිවාරක ආරක්ෂණයේදී එය බහුලව භාවිතා වේ.
7. සකස් කළ හැකි ඝණකම සහ සංයුතිය
CVD ක්රියාවලියේදී තත්ත්වයන් සහ පූර්වගාමියාගේ සාන්ද්රණය පාලනය කිරීමෙන්, සිලිකන් කාබයිඩ් පටලයේ ඝණකම සහ සංයුතිය සකස් කළ හැකිය. මෙය විවිධ යෙදුම් සඳහා විකල්ප සහ නම්යශීලී බවක් ලබා දෙයි.
කෙටියෙන් කිවහොත්, CVD සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනය විශිෂ්ට ඉහළ උෂ්ණත්ව ක්රියාකාරිත්වයක්, විශිෂ්ට යාන්ත්රික ගුණාංග, හොඳ රසායනික ස්ථායිතාව, අඩු ඝර්ෂණ සංගුණකය, හොඳ තාප සන්නායකතාවය සහ විද්යුත් පරිවාරක ගුණාංග ඇත. මෙම ගුණාංග CVD සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපන ඉලෙක්ට්රොනික, දෘෂ්ටි විද්යාව, අභ්යවකාශ, රසායනික කර්මාන්තය ඇතුළු බොහෝ ක්ෂේත්රවල බහුලව භාවිතා කරයි.
පළ කිරීමේ කාලය: මාර්තු-20-2024