'S e CVD (Chemical Vapor Deposition) dòigh cumanta airson còmhdach silicon carbide ullachadh.Còmhdaichean silicon carbide CVDtha mòran fheartan coileanaidh sònraichte aca. Bheir an t-artaigil seo a-steach dòigh ullachaidh còmhdach silicon carbide CVD agus na feartan coileanaidh aige.
1. Modh ullachaidhCòmhdach silicon carbide CVD
Bidh an dòigh CVD ag atharrachadh ro-ruithearan gasach gu còtaichean silicon carbide cruaidh fo chumhachan teòthachd àrd. A rèir nan diofar ro-ruithearan gasach, faodar a roinn ann an CVD ìre gasach agus CVD ìre leaghaidh.
1. CVD ìre smùide
Bidh CVD ìre smùide a’ cleachdadh ro-ruithearan gasach, mar as trice todhar organosilicon, gus fàs fhilmichean silicon carbide a choileanadh. Am measg nan todhar organosilicon a thathas a’ cleachdadh gu cumanta tha methylsilane, dimethylsilane, monosilane, msaa., a bhios a’ cruthachadh fhilmichean silicon carbide air bun-stuthan meatailt le bhith a’ giùlan ro-ruithearan gasach a-steach do sheòmraichean ath-bhualadh àrd-teòthachd. Mar as trice bidh raointean àrd-teòthachd anns an t-seòmar ath-bhualadh air an gineadh le teasachadh inntrigidh no teasachadh resistive.
2. CVD ìre leaghaidh
Bidh CVD ìre-leaghaidh a’ cleachdadh ro-ruithear leaghaidh, mar as trice fuasglaiche organach anns a bheil silicon agus todhar silanol, a thèid a theasachadh agus a ghalachadh ann an seòmar ath-bhualadh, agus an uairsin thèid film silicon carbide a chruthachadh air an t-substrate tro ath-bhualadh ceimigeach.
2. Feartan coileanaidhCòmhdach silicon carbide CVD
1. Coileanadh teòthachd àrd sàr-mhath
Còmhdaichean silicon carbide CVDa’ tabhann seasmhachd sàr-mhath aig teòthachd àrd agus strì an aghaidh ocsaideachaidh. Tha e comasach dha obrachadh ann an àrainneachdan teòthachd àrd agus faodaidh e seasamh an aghaidh suidheachaidhean anabarrach aig teòthachd àrd.
2. Feartan meacanaigeach math
Còmhdach silicon carbide CVDTha cruas àrd agus deagh sheasamh an aghaidh caitheamh aige. Bidh e a’ dìon bun-stuthan meatailt bho chaitheamh is creimeadh, a’ leudachadh beatha seirbheis an stuth.
3. Seasmhachd cheimigeach sàr-mhath
Còmhdaichean silicon carbide CVDtha iad gu math dìonach an aghaidh cheimigean cumanta leithid searbhagan, alcalan agus salainn. Tha iad a’ seasamh an aghaidh ionnsaigh cheimigeach agus creimeadh an t-substrate.
4. Co-èifeachd frithidh ìosal
Còmhdach silicon carbide CVDTha co-èifeachd frithidh ìosal agus deagh fheartan fèin-lubricaidh aige. Bidh e a’ lughdachadh frithidh agus caitheamh agus a’ leasachadh èifeachdas cleachdadh stuthan.
5. Seòltachd teirmeach math
Tha feartan giùlain teirmeach math aig còmhdach silicon carbide CVD. Faodaidh e teas a ghiùlan gu luath agus èifeachdas sgaoileadh teas bunait meatailt a leasachadh.
6. Togalaichean inslithe dealain sàr-mhath
Tha deagh fheartan inslithe dealain aig còmhdach silicon carbide CVD agus faodaidh e casg a chuir air aodion gnàthach. Tha e air a chleachdadh gu farsaing ann an dìon inslithe innealan dealanach.
7. Tiughas agus co-dhèanamh a ghabhas atharrachadh
Le bhith a’ cumail smachd air na suidheachaidhean rè pròiseas CVD agus dùmhlachd an ro-ruithear, faodar tiugh agus co-dhèanamh film silicon carbide atharrachadh. Tha seo a’ toirt seachad pailteas roghainnean agus sùbailteachd airson grunn thagraidhean.
Ann an ùine ghoirid, tha coileanadh teòthachd àrd sàr-mhath aig còmhdach silicon carbide CVD, feartan meacanaigeach sàr-mhath, deagh sheasmhachd cheimigeach, co-èifeachd frithidh ìosal, deagh ghiùlan teirmeach agus feartan insulation dealain. Tha na feartan seo a’ dèanamh còmhdach silicon carbide CVD air an cleachdadh gu farsaing ann an iomadh raon, a’ gabhail a-steach electronics, optics, aerospace, gnìomhachas ceimigeach, msaa.
Àm puist: 20 Màrt 2024