CVD (depunere chimică din vapori) este o metodă frecvent utilizată pentru prepararea acoperirilor din carbură de siliciu.Acoperiri CVD din carbură de siliciuau multe caracteristici unice de performanță. Acest articol va introduce metoda de preparare a acoperirii cu carbură de siliciu CVD și caracteristicile sale de performanță.
1. Metoda de preparare aAcoperire CVD cu carbură de siliciu
Metoda CVD transformă precursorii gazoși în acoperiri solide de carbură de siliciu în condiții de temperatură ridicată. În funcție de diferiții precursori gazoși, aceștia pot fi împărțiți în CVD în fază gazoasă și CVD în fază lichidă.
1. Depunere chimică vapori (CVD) în fază de vapori
Depunerea chimică în fază de vapori (CVD) utilizează precursori gazoși, de obicei compuși organosilicici, pentru a realiza creșterea peliculelor de carbură de siliciu. Compușii organosilicici utilizați în mod obișnuit includ metilsilanul, dimetilsilanul, monosilanul etc., care formează pelicule de carbură de siliciu pe substraturi metalice prin transportul precursorilor gazoși în camere de reacție cu temperatură ridicată. Zonele cu temperatură ridicată din camera de reacție sunt de obicei generate prin încălzire prin inducție sau încălzire rezistivă.
2. Depunerea chimică în fază lichidă (CVD)
CVD în fază lichidă utilizează un precursor lichid, de obicei un solvent organic care conține siliciu și un compus silanol, care este încălzit și vaporizat într-o cameră de reacție, iar apoi pe substrat se formează o peliculă de carbură de siliciu printr-o reacție chimică.
2. Caracteristicile de performanță aleAcoperire CVD cu carbură de siliciu
1. Performanță excelentă la temperaturi ridicate
Acoperiri CVD din carbură de siliciuoferă o stabilitate excelentă la temperaturi ridicate și rezistență la oxidare. Este capabil să funcționeze în medii cu temperaturi ridicate și poate rezista la condiții extreme la temperaturi ridicate.
2. Proprietăți mecanice bune
Acoperire CVD cu carbură de siliciuAre duritate ridicată și rezistență bună la uzură. Protejează substraturile metalice de uzură și coroziune, prelungind durata de viață a materialului.
3. Stabilitate chimică excelentă
Acoperiri CVD din carbură de siliciusunt foarte rezistente la substanțe chimice comune, cum ar fi acizii, bazele și sărurile. Rezistă atacului chimic și coroziunii substratului.
4. Coeficient de frecare scăzut
Acoperire CVD cu carbură de siliciuAre un coeficient de frecare scăzut și proprietăți bune de autolubrifiere. Reduce frecarea și uzura și îmbunătățește eficiența utilizării materialelor.
5. Conductivitate termică bună
Acoperirea cu carbură de siliciu CVD are proprietăți bune de conductivitate termică. Poate conduce rapid căldura și poate îmbunătăți eficiența de disipare a căldurii pe baza metalică.
6. Proprietăți excelente de izolare electrică
Acoperirea cu carbură de siliciu CVD are proprietăți bune de izolare electrică și poate preveni scurgerile de curent. Este utilizată pe scară largă în protecția prin izolație a dispozitivelor electronice.
7. Grosime și compoziție reglabile
Prin controlul condițiilor din timpul procesului CVD și al concentrației precursorului, grosimea și compoziția peliculei de carbură de siliciu pot fi ajustate. Acest lucru oferă numeroase opțiuni și flexibilitate pentru o varietate de aplicații.
Pe scurt, acoperirea CVD din carbură de siliciu are performanțe excelente la temperaturi ridicate, proprietăți mecanice excelente, stabilitate chimică bună, coeficient de frecare redus, conductivitate termică bună și proprietăți de izolare electrică. Aceste proprietăți fac ca acoperirile CVD din carbură de siliciu să fie utilizate pe scară largă în multe domenii, inclusiv electronică, optică, aerospațială, industria chimică etc.
Data publicării: 20 martie 2024