CVD సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత తయారీ పద్ధతులు మరియు పనితీరు లక్షణాలు ఏమిటి?

సిలికాన్ కార్బైడ్ పూతలను తయారు చేయడానికి CVD (రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ) సాధారణంగా ఉపయోగించే పద్ధతి.CVD సిలికాన్ కార్బైడ్ పూతలుఅనేక ప్రత్యేక పనితీరు లక్షణాలను కలిగి ఉన్నాయి. ఈ వ్యాసం CVD సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత తయారీ పద్ధతి మరియు దాని పనితీరు లక్షణాలను పరిచయం చేస్తుంది.

1. తయారీ పద్ధతిCVD సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత

CVD పద్ధతి అధిక ఉష్ణోగ్రత పరిస్థితులలో వాయు పూర్వగాములను ఘన సిలికాన్ కార్బైడ్ పూతలుగా మారుస్తుంది. వివిధ వాయు పూర్వగాముల ప్రకారం, దీనిని వాయు దశ CVD మరియు ద్రవ దశ CVDగా విభజించవచ్చు.

1. ఆవిరి దశ CVD

ఆవిరి దశ CVD సిలికాన్ కార్బైడ్ ఫిల్మ్‌ల పెరుగుదలను సాధించడానికి వాయు పూర్వగాములను, సాధారణంగా ఆర్గానోసిలికాన్ సమ్మేళనాలను ఉపయోగిస్తుంది. సాధారణంగా ఉపయోగించే ఆర్గానోసిలికాన్ సమ్మేళనాలలో మిథైల్‌సిలేన్, డైమెథైల్‌సిలేన్, మోనోసిలేన్ మొదలైనవి ఉన్నాయి, ఇవి వాయు పూర్వగాములను అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రతిచర్య గదులలోకి రవాణా చేయడం ద్వారా లోహ ఉపరితలాలపై సిలికాన్ కార్బైడ్ ఫిల్మ్‌లను ఏర్పరుస్తాయి. ప్రతిచర్య గదిలో అధిక ఉష్ణోగ్రత ప్రాంతాలు సాధారణంగా ఇండక్షన్ తాపన లేదా నిరోధక తాపన ద్వారా ఉత్పత్తి చేయబడతాయి.

2. ద్రవ దశ CVD

లిక్విడ్-ఫేజ్ CVD ఒక ద్రవ పూర్వగామిని ఉపయోగిస్తుంది, సాధారణంగా సిలికాన్ మరియు సిలానాల్ సమ్మేళనం కలిగిన సేంద్రీయ ద్రావకం, ఇది ప్రతిచర్య గదిలో వేడి చేయబడి ఆవిరి చేయబడుతుంది, ఆపై రసాయన ప్రతిచర్య ద్వారా ఉపరితలంపై సిలికాన్ కార్బైడ్ ఫిల్మ్ ఏర్పడుతుంది.

2. పనితీరు లక్షణాలుCVD సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత

1.అద్భుతమైన అధిక ఉష్ణోగ్రత పనితీరు

CVD సిలికాన్ కార్బైడ్ పూతలుఅద్భుతమైన అధిక ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వం మరియు ఆక్సీకరణ నిరోధకతను అందిస్తాయి.ఇది అధిక ఉష్ణోగ్రత వాతావరణంలో పనిచేయగలదు మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద తీవ్ర పరిస్థితులను తట్టుకోగలదు.

2.మంచి యాంత్రిక లక్షణాలు

CVD సిలికాన్ కార్బైడ్ పూతఅధిక కాఠిన్యం మరియు మంచి దుస్తులు నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది. ఇది లోహపు ఉపరితలాలను దుస్తులు మరియు తుప్పు నుండి రక్షిస్తుంది, పదార్థం యొక్క సేవా జీవితాన్ని పొడిగిస్తుంది.

3. అద్భుతమైన రసాయన స్థిరత్వం

CVD సిలికాన్ కార్బైడ్ పూతలుఆమ్లాలు, క్షారాలు మరియు లవణాలు వంటి సాధారణ రసాయనాలకు అధిక నిరోధకతను కలిగి ఉంటాయి. ఇది రసాయన దాడి మరియు ఉపరితలం యొక్క తుప్పును నిరోధిస్తుంది.

4. తక్కువ ఘర్షణ గుణకం

CVD సిలికాన్ కార్బైడ్ పూతతక్కువ ఘర్షణ గుణకం మరియు మంచి స్వీయ-కందెన లక్షణాలను కలిగి ఉంటుంది. ఇది ఘర్షణ మరియు దుస్తులు తగ్గిస్తుంది మరియు పదార్థ వినియోగం యొక్క సామర్థ్యాన్ని మెరుగుపరుస్తుంది.

5.మంచి ఉష్ణ వాహకత

CVD సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత మంచి ఉష్ణ వాహకత లక్షణాలను కలిగి ఉంటుంది. ఇది త్వరగా వేడిని నిర్వహించగలదు మరియు మెటల్ బేస్ యొక్క ఉష్ణ వెదజల్లే సామర్థ్యాన్ని మెరుగుపరుస్తుంది.

6.అద్భుతమైన విద్యుత్ ఇన్సులేషన్ లక్షణాలు

CVD సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత మంచి విద్యుత్ ఇన్సులేషన్ లక్షణాలను కలిగి ఉంటుంది మరియు కరెంట్ లీకేజీని నిరోధించగలదు. ఇది ఎలక్ట్రానిక్ పరికరాల ఇన్సులేషన్ రక్షణలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది.

7. సర్దుబాటు చేయగల మందం మరియు కూర్పు

CVD ప్రక్రియ సమయంలో పరిస్థితులను మరియు పూర్వగామి యొక్క గాఢతను నియంత్రించడం ద్వారా, సిలికాన్ కార్బైడ్ ఫిల్మ్ యొక్క మందం మరియు కూర్పును సర్దుబాటు చేయవచ్చు. ఇది వివిధ రకాల అనువర్తనాలకు పుష్కలంగా ఎంపికలు మరియు వశ్యతను అందిస్తుంది.

సంక్షిప్తంగా, CVD సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత అద్భుతమైన అధిక ఉష్ణోగ్రత పనితీరు, అద్భుతమైన యాంత్రిక లక్షణాలు, మంచి రసాయన స్థిరత్వం, తక్కువ ఘర్షణ గుణకం, మంచి ఉష్ణ వాహకత మరియు విద్యుత్ ఇన్సులేషన్ లక్షణాలను కలిగి ఉంటుంది. ఈ లక్షణాలు CVD సిలికాన్ కార్బైడ్ పూతలను ఎలక్ట్రానిక్స్, ఆప్టిక్స్, ఏరోస్పేస్, రసాయన పరిశ్రమ మొదలైన అనేక రంగాలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించేలా చేస్తాయి.