CVD (Kimyəvi Buxar Çöküntüsü) silikon karbid örtüklərinin hazırlanması üçün geniş istifadə olunan bir üsuldur.CVD silikon karbid örtükləribir çox unikal performans xüsusiyyətlərinə malikdir. Bu məqalədə CVD silikon karbid örtüyünün hazırlanma üsulu və onun performans xüsusiyyətləri təqdim olunacaq.
1. Hazırlama üsuluCVD silikon karbid örtüyü
CVD metodu qaz halındakı prekursorları yüksək temperatur şəraitində bərk silikon karbid örtüklərinə çevirir. Müxtəlif qaz halındakı prekursorlara görə, onu qaz fazalı CVD və maye fazalı CVD bölmək olar.
1. Buxar fazalı CVD
Buxar fazalı CVD, silikon karbid təbəqələrinin böyüməsinə nail olmaq üçün qaz halındakı prekursorlardan, adətən orqanosilikon birləşmələrindən istifadə edir. Tez-tez istifadə edilən orqanosilikon birləşmələrinə metilsilan, dimetilsilan, monosilan və s. daxildir ki, bunlar qaz halındakı prekursorları yüksək temperaturlu reaksiya kameralarına daşımaqla metal substratlarda silikon karbid təbəqələri əmələ gətirir. Reaksiya kamerasındakı yüksək temperaturlu sahələr adətən induksiya qızdırması və ya rezistiv qızdırma ilə yaranır.
2. Maye fazalı CVD
Maye fazalı CVD, adətən silikon və silanol birləşməsini ehtiva edən üzvi bir həlledici olan maye prekursorundan istifadə edir, bu həll reaksiya kamerasında qızdırılır və buxarlanır, sonra kimyəvi reaksiya yolu ilə substrat üzərində silikon karbid təbəqəsi əmələ gəlir.
2. Performans xüsusiyyətləriCVD silikon karbid örtüyü
1. Əla yüksək temperatur göstəricisi
CVD silikon karbid örtükləriƏla yüksək temperatur stabilliyi və oksidləşmə müqaviməti təklif edir. Yüksək temperaturlu mühitlərdə işləmək qabiliyyətinə malikdir və yüksək temperaturda ekstremal şəraitə tab gətirə bilir.
2.Yaxşı mexaniki xüsusiyyətlər
CVD silikon karbid örtüyüYüksək sərtliyə və yaxşı aşınma müqavimətinə malikdir. Metal substratları aşınma və korroziyadan qoruyur, materialın xidmət müddətini uzadır.
3. Əla kimyəvi sabitlik
CVD silikon karbid örtükləriturşular, qələvilər və duzlar kimi ümumi kimyəvi maddələrə qarşı yüksək dərəcədə davamlıdır. Kimyəvi hücuma və substratın korroziyasına davamlıdır.
4. Aşağı sürtünmə əmsalı
CVD silikon karbid örtüyüaşağı sürtünmə əmsalına və yaxşı öz-özünə yağlama xüsusiyyətlərinə malikdir. Sürtünməni və aşınmanı azaldır və material istifadəsinin səmərəliliyini artırır.
5.Yaxşı istilik keçiriciliyi
CVD silikon karbid örtüyü yaxşı istilik keçiriciliyi xüsusiyyətlərinə malikdir. İstiliyi tez bir zamanda keçirə və metal əsasın istilik yayılması səmərəliliyini artıra bilər.
6. Əla elektrik izolyasiya xüsusiyyətləri
CVD silikon karbid örtüyü yaxşı elektrik izolyasiya xüsusiyyətlərinə malikdir və cərəyan sızmasının qarşısını ala bilər. Elektron cihazların izolyasiya qorunmasında geniş istifadə olunur.
7. Tənzimlənən qalınlıq və tərkib
CVD prosesi zamanı şərtləri və prekursorun konsentrasiyasını idarə etməklə, silikon karbid təbəqəsinin qalınlığı və tərkibi tənzimlənə bilər. Bu, müxtəlif tətbiqlər üçün çoxlu seçim və rahatlıq təmin edir.
Bir sözlə, CVD silikon karbid örtüyü əla yüksək temperatur göstəricilərinə, əla mexaniki xüsusiyyətlərə, yaxşı kimyəvi stabilliyə, aşağı sürtünmə əmsalına, yaxşı istilik keçiriciliyinə və elektrik izolyasiya xüsusiyyətlərinə malikdir. Bu xüsusiyyətlər CVD silikon karbid örtüklərinin elektronika, optika, aerokosmik, kimya sənayesi və s. daxil olmaqla bir çox sahədə geniş istifadə olunmasına səbəb olur.
Yazı vaxtı: 20 Mart 2024