CVD (kemiallinen höyrypinnoitus) on yleisesti käytetty menetelmä piikarbidipinnoitteiden valmistukseen.CVD-piikarbidipinnoitteeton monia ainutlaatuisia suorituskykyominaisuuksia. Tässä artikkelissa esitellään CVD-piikarbidipinnoitteen valmistusmenetelmä ja sen suorituskykyominaisuudet.
1. ValmistusmenetelmäCVD-piikarbidipinnoite
CVD-menetelmä muuntaa kaasumaisia esiasteita kiinteiksi piikarbidipinnoitteiksi korkeissa lämpötiloissa. Eri kaasumaisten esiasteiden mukaan se voidaan jakaa kaasufaasi-CVD:hen ja nestefaasi-CVD:hen.
1. Höyryfaasi-CVD
Höyryfaasi-CVD:ssä käytetään kaasumaisia lähtöaineita, yleensä organopiiyhdisteitä, piikarbidikalvojen kasvattamiseen. Yleisesti käytettyjä organopiiyhdisteitä ovat metyylisilaani, dimetyylisilaani, monosilaani jne., jotka muodostavat piikarbidikalvoja metallialustoille kuljettamalla kaasumaisia lähtöaineita korkean lämpötilan reaktiokammioihin. Reaktiokammion korkean lämpötilan alueet syntyvät yleensä induktiokuumennuksella tai resistiivisellä kuumennuksella.
2. Nestemäinen CVD
Nestemäisessä CVD-menetelmässä käytetään nestemäistä esiastetta, yleensä piitä ja silanoliyhdistettä sisältävää orgaanista liuotinta, jota kuumennetaan ja höyrystetään reaktiokammiossa, minkä jälkeen substraatille muodostetaan kemiallisen reaktion avulla piikarbidikalvo.
2. SuorituskykyominaisuudetCVD-piikarbidipinnoite
1. Erinomainen suorituskyky korkeassa lämpötilassa
CVD-piikarbidipinnoitteettarjoaa erinomaisen korkeiden lämpötilojen vakauden ja hapettumisenkestävyyden. Se pystyy toimimaan korkeissa lämpötiloissa ja kestää äärimmäisiä olosuhteita korkeissa lämpötiloissa.
2. Hyvät mekaaniset ominaisuudet
CVD-piikarbidipinnoiteon erittäin kova ja kulutusta kestävä. Se suojaa metallipintoja kulumiselta ja korroosiolta, mikä pidentää materiaalin käyttöikää.
3. Erinomainen kemiallinen stabiilius
CVD-piikarbidipinnoitteetkestävät erittäin hyvin yleisiä kemikaaleja, kuten happoja, emäksiä ja suoloja. Se kestää kemiallisia vaikutuksia ja alustan korroosiota.
4. Alhainen kitkakerroin
CVD-piikarbidipinnoitesillä on alhainen kitkakerroin ja hyvät itsevoitelevat ominaisuudet. Se vähentää kitkaa ja kulumista sekä parantaa materiaalin käytön tehokkuutta.
5. Hyvä lämmönjohtavuus
CVD-piikarbidipinnoitteella on hyvät lämmönjohtavuusominaisuudet. Se voi johtaa lämpöä nopeasti ja parantaa metallipohjan lämmönpoistotehokkuutta.
6. Erinomaiset sähköeristysominaisuudet
CVD-piikarbidipinnoitteella on hyvät sähköeristysominaisuudet ja se voi estää vuotovirran. Sitä käytetään laajalti elektronisten laitteiden eristyssuojauksessa.
7. Säädettävä paksuus ja koostumus
Piikarbidikalvon paksuutta ja koostumusta voidaan säätää kontrolloimalla CVD-prosessin olosuhteita ja esiasteen pitoisuutta. Tämä tarjoaa runsaasti vaihtoehtoja ja joustavuutta erilaisiin sovelluksiin.
Lyhyesti sanottuna CVD-piikarbidipinnoitteella on erinomainen korkean lämpötilan suorituskyky, erinomaiset mekaaniset ominaisuudet, hyvä kemiallinen stabiilius, alhainen kitkakerroin, hyvä lämmönjohtavuus ja sähköneristysominaisuudet. Näiden ominaisuuksien ansiosta CVD-piikarbidipinnoitteita käytetään laajalti monilla aloilla, kuten elektroniikassa, optiikassa, ilmailu- ja kemianteollisuudessa.
Julkaisun aika: 20.3.2024