CVD (хемиско таложење со пареа) е најчесто користен метод за подготовка на премази од силициум карбид.CVD силициум карбидни премазиимаат многу уникатни карактеристики. Оваа статија ќе го претстави методот на подготовка на CVD силициум карбиден премаз и неговите карактеристики.
1. Метод на подготовка наCVD силициум карбиден слој
CVD методот ги претвора гасните прекурсори во цврсти силициум-карбидни премази под услови на висока температура. Според различните гасни прекурсори, може да се подели на CVD во гасна фаза и CVD во течна фаза.
1. CVD во парна фаза
CVD во парна фаза користи гасовити прекурсори, обично органосилициумски соединенија, за да се постигне раст на силициум карбидни филмови. Најчесто користените органосилициумски соединенија вклучуваат метилсилан, диметилсилан, моносилан итн., кои формираат силициум карбидни филмови на метални подлоги со транспорт на гасовити прекурсори во реакциони комори со висока температура. Областите со висока температура во реакционата комора обично се генерираат со индукциско загревање или отпорно загревање.
2. CVD во течна фаза
CVD во течна фаза користи течен прекурсор, обично органски растворувач што содржи силициум и силанол соединение, кој се загрева и испарува во реакциона комора, а потоа на подлогата се формира силициум карбиден филм преку хемиска реакција.
2. Карактеристики на перформансите наCVD силициум карбиден слој
1. Одлични перформанси на висока температура
CVD силициум карбидни премазиНуди одлична стабилност на високи температури и отпорност на оксидација. Способен е за работа во средини со висока температура и може да издржи екстремни услови на високи температури.
2. Добри механички својства
CVD силициум карбиден слојима висока цврстина и добра отпорност на абење. Ги штити металните подлоги од абење и корозија, продолжувајќи го животниот век на материјалот.
3. Одлична хемиска стабилност
CVD силициум карбидни премазисе многу отпорни на вообичаени хемикалии како што се киселини, алкалии и соли. Отпорни се на хемиски напад и корозија на подлогата.
4. Низок коефициент на триење
CVD силициум карбиден слојима низок коефициент на триење и добри својства за самоподмачкување. Го намалува триењето и абењето и ја подобрува ефикасноста на користењето на материјалот.
5. Добра топлинска спроводливост
CVD силициум карбидниот премаз има добри својства на топлинска спроводливост. Може брзо да спроведе топлина и да ја подобри ефикасноста на дисипација на топлината на металната основа.
6. Одлични електрични изолациски својства
CVD силициум карбидната обвивка има добри електрични изолациски својства и може да спречи истекување на струја. Широко се користи во изолациската заштита на електронските уреди.
7. Прилагодлива дебелина и состав
Со контролирање на условите за време на CVD процесот и концентрацијата на прекурсорот, дебелината и составот на силициум-карбидната фолија може да се прилагодат. Ова обезбедува многу опции и флексибилност за различни апликации.
Накратко, CVD силициум карбидните премази имаат одлични перформанси на висока температура, одлични механички својства, добра хемиска стабилност, низок коефициент на триење, добра топлинска спроводливост и електрични изолациски својства. Овие својства ги прават CVD силициум карбидните премази широко користени во многу области, вклучувајќи електроника, оптика, воздухопловство, хемиска индустрија итн.
Време на објавување: 20 март 2024 година