CVD (ការដាក់ចំហាយគីមី) គឺជាវិធីសាស្ត្រដែលត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅសម្រាប់រៀបចំថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាប៊ីត។ថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាប៊ីដ CVDមានលក្ខណៈប្រតិបត្តិការពិសេសៗជាច្រើន។ អត្ថបទនេះនឹងណែនាំវិធីសាស្រ្តរៀបចំថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាប៊ីត CVD និងលក្ខណៈប្រតិបត្តិការរបស់វា។
១. វិធីសាស្រ្តរៀបចំថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាប៊ីដ CVD
វិធីសាស្ត្រ CVD បំលែងសារធាតុបឋមឧស្ម័នទៅជាថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដរឹងក្រោមលក្ខខណ្ឌសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។ យោងតាមសារធាតុបឋមឧស្ម័នផ្សេងៗគ្នា វាអាចបែងចែកជា CVD ដំណាក់កាលឧស្ម័ន និង CVD ដំណាក់កាលរាវ។
១. CVD ដំណាក់កាលចំហាយទឹក
CVD ដំណាក់កាលចំហាយទឹកប្រើប្រាស់សារធាតុបឋមឧស្ម័ន ជាធម្មតាសមាសធាតុ organosilicon ដើម្បីសម្រេចបាននូវការលូតលាស់នៃខ្សែភាពយន្ត silicon carbide។ សមាសធាតុ organosilicon ដែលត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅរួមមាន methylsilane, dimethylsilane, monosilane ជាដើម ដែលបង្កើតជាខ្សែភាពយន្ត silicon carbide នៅលើស្រទាប់លោហៈដោយការដឹកជញ្ជូនសារធាតុបឋមឧស្ម័នចូលទៅក្នុងបន្ទប់ប្រតិកម្មសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។ តំបន់សីតុណ្ហភាពខ្ពស់នៅក្នុងបន្ទប់ប្រតិកម្មជាធម្មតាត្រូវបានបង្កើតឡើងដោយកំដៅអាំងឌុចស្យុង ឬកំដៅធន់។
2. CVD ដំណាក់កាលរាវ
CVD ដំណាក់កាលរាវប្រើសារធាតុបឋមរាវ ជាធម្មតាជាសារធាតុរំលាយសរីរាង្គដែលមានផ្ទុកស៊ីលីកុន និងសមាសធាតុស៊ីឡាណុល ដែលត្រូវបានកំដៅ និងហួតនៅក្នុងបន្ទប់ប្រតិកម្ម ហើយបន្ទាប់មកខ្សែភាពយន្តស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដ្រាតត្រូវបានបង្កើតឡើងនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមតាមរយៈប្រតិកម្មគីមី។
2. លក្ខណៈនៃការអនុវត្តថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាប៊ីដ CVD
1. ដំណើរការសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ល្អឥតខ្ចោះ
ថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាប៊ីដ CVDផ្តល់នូវស្ថេរភាពសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ដ៏ល្អឥតខ្ចោះ និងភាពធន់នឹងអុកស៊ីតកម្ម។ វាអាចដំណើរការក្នុងបរិយាកាសសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងអាចទប់ទល់នឹងលក្ខខណ្ឌធ្ងន់ធ្ងរនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។
2. លក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិចល្អ
ថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាប៊ីដ CVDមានភាពរឹងខ្ពស់ និងធន់នឹងការពាក់ល្អ។ វាការពារស្រទាប់លោហៈពីការពាក់ និងការច្រេះ ដែលពន្យារអាយុកាលសេវាកម្មរបស់វត្ថុធាតុ។
៣. ស្ថេរភាពគីមីដ៏ល្អឥតខ្ចោះ
ថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាប៊ីដ CVDមានភាពធន់នឹងសារធាតុគីមីទូទៅដូចជាអាស៊ីត អាល់កាឡាំង និងអំបិល។ វាទប់ទល់នឹងការវាយប្រហារគីមី និងការច្រេះនៃស្រទាប់ខាងក្រោម។
៤. មេគុណកកិតទាប
ថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាប៊ីដ CVDមានមេគុណកកិតទាប និងលក្ខណៈសម្បត្តិរំអិលដោយខ្លួនឯងល្អ។ វាកាត់បន្ថយការកកិត និងការពាក់ ព្រមទាំងបង្កើនប្រសិទ្ធភាពនៃការប្រើប្រាស់សម្ភារៈ។
៥. ចរន្តកំដៅល្អ
ថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាបៃ CVD មានលក្ខណៈសម្បត្តិនៃចរន្តកំដៅល្អ។ វាអាចបញ្ជូនកំដៅបានយ៉ាងឆាប់រហ័ស និងបង្កើនប្រសិទ្ធភាពនៃការរលាយកំដៅនៃមូលដ្ឋានលោហៈ។
៦. លក្ខណៈសម្បត្តិអ៊ីសូឡង់អគ្គិសនីដ៏ល្អឥតខ្ចោះ
ថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាបៃ CVD មានលក្ខណៈសម្បត្តិអ៊ីសូឡង់អគ្គិសនីល្អ និងអាចការពារការលេចធ្លាយចរន្ត។ វាត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងការការពារអ៊ីសូឡង់នៃឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិច។
៧. កម្រាស់ និងសមាសភាពអាចលៃតម្រូវបាន
តាមរយៈការគ្រប់គ្រងលក្ខខណ្ឌក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការ CVD និងកំហាប់នៃសារធាតុបឋម កម្រាស់ និងសមាសធាតុនៃខ្សែភាពយន្តស៊ីលីកុនកាប៊ីតអាចត្រូវបានកែតម្រូវ។ នេះផ្តល់នូវជម្រើស និងភាពបត់បែនជាច្រើនសម្រាប់កម្មវិធីជាច្រើន។
សរុបមក ថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាបៃ CVD មានដំណើរការសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ល្អឥតខ្ចោះ លក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិចល្អឥតខ្ចោះ ស្ថេរភាពគីមីល្អ មេគុណកកិតទាប ចរន្តកំដៅល្អ និងលក្ខណៈសម្បត្តិអ៊ីសូឡង់អគ្គិសនី។ លក្ខណៈសម្បត្តិទាំងនេះធ្វើឱ្យថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាបៃ CVD ត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងវិស័យជាច្រើន រួមទាំងអេឡិចត្រូនិច អុបទិក អាកាសចរណ៍ ឧស្សាហកម្មគីមីជាដើម។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ២០ ខែមីនា ឆ្នាំ ២០២៤