CVD (Chemical Vapor Deposition) nyaéta métode anu umum dianggo pikeun nyiapkeun palapis silikon karbida.Lapisan silikon karbida CVDmibanda seueur ciri kinerja anu unik. Artikel ieu bakal ngenalkeun metode persiapan palapis silikon karbida CVD sareng ciri kinerjana.
1. Métode persiapanLapisan silikon karbida CVD
Métode CVD ngarobah prékursor gas jadi lapisan silikon karbida padet dina kaayaan suhu anu luhur. Numutkeun prékursor gas anu béda-béda, éta tiasa dibagi kana CVD fase gas sareng CVD fase cair.
1. CVD fase uap
CVD fase uap nganggo prékursor gas, biasana sanyawa organosilikon, pikeun ngahontal kamekaran pilem silikon karbida. Sanyawa organosilikon anu umum dianggo kalebet metilsilana, dimetilsilana, monosilana, jsb., anu ngabentuk pilem silikon karbida dina substrat logam ku cara ngangkut prékursor gas kana rohangan réaksi suhu luhur. Daérah suhu luhur dina rohangan réaksi biasana dihasilkeun ku pemanasan induksi atanapi pemanasan résistif.
2. CVD fase cair
CVD fase cair ngagunakeun prékursor cair, biasana pangleyur organik anu ngandung silikon sareng sanyawa silanol, anu dipanaskeun sareng diuapkeun dina ruang réaksi, teras pilem silikon karbida kabentuk dina substrat ngaliwatan réaksi kimia.
2. Ciri-ciri kinerja tinaLapisan silikon karbida CVD
1. Kinerja suhu luhur anu saé pisan
Lapisan silikon karbida CVDnawiskeun stabilitas suhu luhur anu saé pisan sareng résistansi oksidasi. Éta sanggup dianggo dina lingkungan suhu luhur sareng tiasa tahan kaayaan ekstrim dina suhu luhur.
2. Sipat mékanis anu saé
Lapisan silikon karbida CVDmibanda karasana anu luhur sareng tahan aus anu saé. Éta ngajaga substrat logam tina aus sareng korosi, manjangkeun umur jasa bahan.
3. Stabilitas kimiawi anu saé pisan
Lapisan silikon karbida CVDtahan pisan kana bahan kimia umum sapertos asam, alkali sareng uyah. Éta tahan kana serangan kimia sareng korosi substrat.
4. Koefisien gesekan anu handap
Lapisan silikon karbida CVDmiboga koefisien gesekan anu handap sareng sipat pelumasan mandiri anu saé. Éta ngirangan gesekan sareng karusakan sareng ningkatkeun efisiensi panggunaan bahan.
5. Konduktivitas termal anu saé
Lapisan silikon karbida CVD mibanda sipat konduktivitas termal anu saé. Éta tiasa gancang ngalirkeun panas sareng ningkatkeun efisiensi disipasi panas tina dasar logam.
6. Sipat insulasi listrik anu saé pisan
Lapisan silikon karbida CVD mibanda sipat insulasi listrik anu saé sareng tiasa nyegah bocor arus. Ieu seueur dianggo dina panyalindungan insulasi alat éléktronik.
7. Kandel sareng komposisi anu tiasa disaluyukeun
Ku cara ngontrol kaayaan salami prosés CVD sareng konsentrasi prékursor, ketebalan sareng komposisi pilem silikon karbida tiasa disaluyukeun. Ieu nyayogikeun seueur pilihan sareng kalenturan pikeun rupa-rupa aplikasi.
Singkatna, palapis silikon karbida CVD ngagaduhan kinerja suhu luhur anu saé pisan, sipat mékanis anu saé, stabilitas kimia anu saé, koefisien gesekan anu handap, konduktivitas termal anu saé sareng sipat insulasi listrik. Sipat-sipat ieu ngajantenkeun palapis silikon karbida CVD seueur dianggo dina seueur widang, kalebet éléktronika, optik, aerospace, industri kimia, jsb.
Waktos posting: 20-Mar-2024