CVD (Depozisyon Vapè Chimik) se yon metòd souvan itilize pou prepare kouch carbure Silisyòm.Kouch CVD Silisyòm carburegen anpil karakteristik pèfòmans inik. Atik sa a pral prezante metòd preparasyon kouch carbure Silisyòm CVD ak karakteristik pèfòmans li yo.
1. Metòd preparasyonKouch CVD Silisyòm carbure
Metòd CVD a konvèti prekisè gazez yo an kouch solid Silisyòm kabid anba kondisyon tanperati ki wo. Selon diferan prekisè gazez yo, li ka divize an CVD faz gaz ak CVD faz likid.
1. Depo envazyon kadyovaskilè (CVD) faz vapè
Depo vapè nan faz vapè itilize prekisè gazez, anjeneral konpoze òganosilikon, pou reyalize kwasans fim carbure Silisyòm. Konpoze òganosilikon ki souvan itilize yo enkli metilsilan, dimetilsilan, monosilan, elatriye, ki fòme fim carbure Silisyòm sou substrats metal yo lè yo transpòte prekisè gazez nan chanm reyaksyon ki gen tanperati ki wo. Zòn tanperati ki wo nan chanm reyaksyon an anjeneral pwodui pa chofaj endiksyon oswa chofaj rezistif.
2. CVD faz likid
CVD faz likid itilize yon prekisè likid, anjeneral yon sòlvan òganik ki gen Silisyòm ak yon konpoze silanol, ki chofe epi vaporize nan yon chanm reyaksyon, epi answit yon fim carbure Silisyòm fòme sou substra a atravè yon reyaksyon chimik.
2. Karakteristik pèfòmans nanKouch CVD Silisyòm carbure
1. Ekselan pèfòmans tanperati ki wo
Kouch CVD Silisyòm carbureofri ekselan estabilite tanperati ki wo ak rezistans oksidasyon. Li kapab travay nan anviwònman tanperati ki wo epi li ka reziste kondisyon ekstrèm nan tanperati ki wo.
2. Bon pwopriyete mekanik
Kouch CVD Silisyòm carbureLi gen yon gwo dite ak yon bon rezistans kont mete. Li pwoteje substrats metal yo kont mete ak korozyon, sa ki pwolonje lavi sèvis materyèl la.
3. Ekselan estabilite chimik
Kouch CVD Silisyòm carbureYo trè rezistan a pwodui chimik komen tankou asid, alkali ak sèl. Li reziste atak chimik ak korozyon substra a.
4. Koyefisyan friksyon ki ba
Kouch CVD Silisyòm carbureLi gen yon koyefisyan friksyon ki ba epi li gen bon pwopriyete oto-lubrifyan. Li diminye friksyon ak mete epi li amelyore efikasite itilizasyon materyèl la.
5. Bon konduktivite tèmik
Kouch CVD Silisyòm carbure a gen bon pwopriyete konduktivite tèmik. Li ka byen vit kondui chalè epi amelyore efikasite disipasyon chalè baz metal la.
6. Ekselan pwopriyete izolasyon elektrik
Kouch CVD Silisyòm carbure gen bon pwopriyete izolasyon elektrik epi li ka anpeche flit kouran. Li lajman itilize nan pwoteksyon izolasyon aparèy elektwonik yo.
7. Epesè ak konpozisyon reglabl
Lè yo kontwole kondisyon yo pandan pwosesis CVD a ak konsantrasyon prekisè a, yo ka ajiste epesè ak konpozisyon fim carbure Silisyòm lan. Sa bay anpil opsyon ak fleksibilite pou yon varyete aplikasyon.
An brèf, kouch carbure Silisyòm CVD a gen yon pèfòmans ekselan nan tanperati ki wo, ekselan pwopriyete mekanik, bon estabilite chimik, koyefisyan friksyon ki ba, bon konduktivite tèmik ak pwopriyete izolasyon elektrik. Pwopriyete sa yo fè kouch carbure Silisyòm CVD yo lajman itilize nan plizyè domèn, tankou elektwonik, optik, ayewospasyal, endistri chimik, elatriye.
Dat piblikasyon: 20 mas 2024