CVD (Чопкунии буғи кимиёвӣ) як усули маъмулан истифодашаванда барои тайёр кардани рӯйпӯшҳои карбидии кремний мебошад.Пӯшишҳои силиконии карбидии CVDдорои хусусиятҳои беназири зиёди фаъолият мебошанд. Дар ин мақола усули тайёр кардани рӯйпӯши карбиди кремнийи CVD ва хусусиятҳои фаъолияти он муаррифӣ карда мешавад.
1. Усули тайёр карданПӯшиши силиконии карбидии CVD
Усули CVD прекурсорҳои газшаклро дар шароити ҳарорати баланд ба рӯйпӯшҳои сахти карбидии кремний табдил медиҳад. Вобаста ба прекурсорҳои гуногуни газӣ, онро ба CVD фазаи газӣ ва CVD фазаи моеъ тақсим кардан мумкин аст.
1. CVD фазаи буғӣ
CVD фазаи буғӣ барои ноил шудан ба афзоиши плёнкаҳои карбиди кремний аз прекурсорҳои газӣ, одатан пайвастагиҳои органосиликонӣ, истифода мебарад. Пайвастагиҳои органосиликонии маъмулан истифодашаванда метилсилан, диметилсилан, моносилан ва ғайраро дар бар мегиранд, ки плёнкаҳои карбиди кремнийро дар зеризаминҳои металлӣ тавассути интиқоли прекурсорҳои газӣ ба камераҳои реаксияи баландҳарорат ташкил медиҳанд. Минтақаҳои ҳарорати баланд дар камераи реаксия одатан тавассути гармкунии индуксионӣ ё гармкунии муқовиматӣ ба вуҷуд меоянд.
2. CVD фазаи моеъ
CVD-и фазаи моеъ аз прекурсори моеъ, одатан ҳалкунандаи органикӣ, ки дорои кремний ва пайвастагии силанол мебошад, истифода мебарад, ки дар камераи реаксия гарм ва бухор карда мешавад ва сипас тавассути реаксияи химиявӣ дар рӯи субстрат плёнкаи карбиди кремний ба вуҷуд меояд.
2. Хусусиятҳои фаъолиятиПӯшиши силиконии карбидии CVD
1. Иҷрои аълои ҳарорати баланд
Пӯшишҳои силиконии карбидии CVDустувории аълои ҳарорати баланд ва муқовимати оксидшавиро таъмин мекунад. Он қодир аст дар муҳитҳои ҳарорати баланд кор кунад ва метавонад дар шароити шадид дар ҳарорати баланд тоб оварад.
2. Хусусиятҳои хуби механикӣ
Пӯшиши силиконии карбидии CVDсахтии баланд ва муқовимати хуби фарсудашавӣ дорад. Он субстратҳои металлиро аз фарсудашавӣ ва зангзанӣ муҳофизат мекунад ва мӯҳлати хидмати маводро дароз мекунад.
3. Устувории аълои кимиёвӣ
Пӯшишҳои силиконии карбидии CVDба моддаҳои кимиёвии маъмулӣ, аз қабили кислотаҳо, ишқорҳо ва намакҳо, хеле тобовар мебошанд. Он ба ҳамлаи кимиёвӣ ва зангзании субстрат муқовимат мекунад.
4. Коэффитсиенти пасти соиш
Пӯшиши силиконии карбидии CVDкоэффитсиенти соиш паст ва хосиятҳои хуби худравғанкунӣ дорад. Он соиш ва фарсудашавиро кам мекунад ва самаранокии истифодаи маводро беҳтар мекунад.
5. Гузаронидани гармии хуб
Пӯшиши карбидии силиконии CVD дорои хосиятҳои хуби гармигузаронӣ мебошад. Он метавонад гармиро зуд интиқол диҳад ва самаранокии паҳншавии гармиро дар таҳкурсии металлӣ беҳтар созад.
6. Хусусиятҳои аълои изолятсияи барқӣ
Пӯшиши карбиди силиконии CVD дорои хосиятҳои хуби изолятсияи барқӣ буда, метавонад аз ихроҷи ҷараён пешгирӣ кунад. Он ба таври васеъ дар муҳофизати изолятсияи дастгоҳҳои электронӣ истифода мешавад.
7. Ғафсӣ ва таркиби танзимшаванда
Бо назорати шароит дар раванди CVD ва консентратсияи прекурсор, ғафсӣ ва таркиби плёнкаи карбидии кремнийро танзим кардан мумкин аст. Ин имконот ва чандирии зиёдеро барои истифодаҳои гуногун фароҳам меорад.
Хулоса, рӯйпӯши карбидии кремнийи CVD дорои хусусиятҳои аълои ҳарорати баланд, хосиятҳои аълои механикӣ, устувории хуби кимиёвӣ, коэффитсиенти соиш паст, гузаронандагии хуби гармӣ ва хосиятҳои изолятсияи электрикӣ мебошад. Ин хосиятҳо рӯйпӯшҳои карбидии кремнийи CVD-ро ба таври васеъ дар бисёр соҳаҳо, аз ҷумла электроника, оптика, аэрокосмос, саноати кимиё ва ғайра истифода мебаранд.
Вақти нашр: 20 марти соли 2024