CVD (د کیمیاوي بخاراتو زیرمه کول) د سیلیکون کاربایډ پوښونو چمتو کولو لپاره یو عام کارول شوی میتود دی.د CVD سیلیکون کاربایډ پوښښونهډیری ځانګړي فعالیت ځانګړتیاوې لري. دا مقاله به د CVD سیلیکون کاربایډ کوټینګ چمتو کولو میتود او د هغې د فعالیت ځانګړتیاوې معرفي کړي.
۱. د چمتو کولو طریقهد CVD سیلیکون کاربایډ کوټینګ
د CVD طریقه د لوړ تودوخې شرایطو لاندې د ګازي مخکیني موادو په جامد سیلیکون کاربایډ پوښونو بدلوي. د مختلفو ګازي مخکیني موادو له مخې، دا د ګازي مرحلې CVD او مایع مرحلې CVD ویشل کیدی شي.
۱. د بخار مرحله CVD
د بخار مرحله CVD د سیلیکون کاربایډ فلمونو د ودې د ترلاسه کولو لپاره د ګازي مخکینیو، معمولا د ارګانوسیلیکون مرکباتو څخه کار اخلي. په عام ډول کارول شوي ارګانوسیلیکون مرکبات میتیلسیلین، ډیمیتیل سیلیلین، مونوسیلین، او نور شامل دي، کوم چې د لوړ تودوخې تعامل چیمبرونو ته د ګازي مخکینیو لیږدولو له لارې د فلزي سبسټریټونو باندې د سیلیکون کاربایډ فلمونه جوړوي. د تعامل چیمبر کې د لوړې تودوخې ساحې معمولا د انډکشن تودوخې یا مقاومتي تودوخې لخوا رامینځته کیږي.
۲. د مایع پړاو CVD
د مایع مرحلې CVD د مایع مخکیني څخه کار اخلي، معمولا یو عضوي محلول چې سیلیکون او سیلانول مرکب لري، کوم چې د عکس العمل په چیمبر کې تودوخه کیږي او بخار کیږي، او بیا د کیمیاوي تعامل له لارې په سبسټریټ کې د سیلیکون کاربایډ فلم جوړیږي.
۲. د فعالیت ځانګړتیاوېد CVD سیلیکون کاربایډ کوټینګ
۱. د لوړ حرارت درجه غوره فعالیت
د CVD سیلیکون کاربایډ پوښښونهد لوړې تودوخې غوره ثبات او د اکسیډیشن مقاومت وړاندې کوي. دا د لوړې تودوخې چاپیریال کې د کار کولو وړتیا لري او کولی شي په لوړه تودوخه کې سختو شرایطو سره مقاومت وکړي.
2. ښه میخانیکي ځانګړتیاوې
د CVD سیلیکون کاربایډ کوټینګلوړ سختۍ او د اغوستلو ښه مقاومت لري. دا د فلزي سبسټریټ د اغوستلو او زنګ وهلو څخه ساتي، د موادو د خدمت ژوند اوږدوي.
3. غوره کیمیاوي ثبات
د CVD سیلیکون کاربایډ پوښښونهد عامو کیمیاوي موادو لکه تیزابونو، القلي او مالګو په وړاندې خورا مقاومت لري. دا د کیمیاوي برید او د سبسټریټ د زنګ وهلو په وړاندې مقاومت کوي.
۴. د کم رګیدو ضریب
د CVD سیلیکون کاربایډ کوټینګد رګېدو کم ضریب او ښه ځان غوړولو ځانګړتیاوې لري. دا رګېدل او اغوستل کموي او د موادو کارولو موثریت ښه کوي.
۵. ښه حرارتي چالکتیا
د CVD سیلیکون کاربایډ کوټینګ ښه حرارتي چالکتیا ځانګړتیاوې لري. دا کولی شي په چټکۍ سره تودوخه ترسره کړي او د فلزي اساس د تودوخې تحلیل موثریت ته وده ورکړي.
۶. د بریښنا د موصلیت غوره ځانګړتیاوې
د CVD سیلیکون کاربایډ کوټینګ ښه بریښنایی موصلیت ځانګړتیاوې لري او کولی شي د اوسني لیکیدو مخه ونیسي. دا په پراخه کچه د بریښنایی وسیلو د موصلیت محافظت کې کارول کیږي.
7. د تنظیم وړ ضخامت او جوړښت
د CVD پروسې په جریان کې د شرایطو کنټرول او د مخکیني غلظت په واسطه، د سیلیکون کاربایډ فلم ضخامت او جوړښت تنظیم کیدی شي. دا د مختلفو غوښتنلیکونو لپاره ډیری اختیارونه او انعطاف چمتو کوي.
په لنډه توګه، د CVD سیلیکون کاربایډ کوټینګ د لوړ تودوخې غوره فعالیت، غوره میخانیکي ځانګړتیاوې، ښه کیمیاوي ثبات، د ټیټ رګونو ضخامت، ښه حرارتي چالکتیا او بریښنایی موصلیت ځانګړتیاوې لري. دا ځانګړتیاوې د CVD سیلیکون کاربایډ کوټینګونه په پراخه کچه په ډیری برخو کې کارول کیږي، پشمول د برقیاتو، آپټیکس، فضا، کیمیاوي صنعت، او نورو.
د پوسټ وخت: مارچ-۲۰-۲۰۲۴