CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சின் தயாரிப்பு முறைகள் மற்றும் செயல்திறன் பண்புகள் யாவை?

CVD (வேதி ஆவிப் படிவு) என்பது சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகளைத் தயாரிக்கப் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு முறையாகும்.CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகள்பல தனித்துவமான செயல்திறன் பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது. இந்தக் கட்டுரை, CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சின் தயாரிப்பு முறையையும் அதன் செயல்திறன் பண்புகளையும் அறிமுகப்படுத்தும்.

1. தயாரிப்பு முறைCVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு

CVD முறையானது, உயர் வெப்பநிலை நிலைகளில் வாயு முன்னோடிப் பொருட்களை திட சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகளாக மாற்றுகிறது. வெவ்வேறு வாயு முன்னோடிப் பொருட்களின் அடிப்படையில், இதனை வாயு நிலை CVD மற்றும் திரவ நிலை CVD எனப் பிரிக்கலாம்.

1. ஆவி நிலை CVD

ஆவி நிலை CVD முறையானது, சிலிக்கான் கார்பைடு படலங்களின் வளர்ச்சியை அடைவதற்காக, பொதுவாக ஆர்கனோசிலிக்கான் சேர்மங்களான வாயு முன்னோடிகளைப் பயன்படுத்துகிறது. பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் ஆர்கனோசிலிக்கான் சேர்மங்களில் மெத்தில்சிலேன், டைமெத்தில்சிலேன், மோனோசிலேன் போன்றவை அடங்கும். இவை, வாயு முன்னோடிகளை உயர்-வெப்பநிலை வினை அறைகளுக்குள் செலுத்துவதன் மூலம் உலோகத் தளங்களில் சிலிக்கான் கார்பைடு படலங்களை உருவாக்குகின்றன. வினை அறையில் உள்ள உயர் வெப்பநிலை பகுதிகள் பொதுவாகத் தூண்டல் வெப்பமூட்டல் அல்லது மின்தடை வெப்பமூட்டல் மூலம் உருவாக்கப்படுகின்றன.

2. திரவ நிலை CVD

திரவ-கட்ட CVD முறையானது, பொதுவாக சிலிக்கான் மற்றும் சிலனால் சேர்மத்தைக் கொண்ட ஒரு கரிமக் கரைப்பானான திரவ முன்னோடியைப் பயன்படுத்துகிறது. இது ஒரு வினை அறையில் சூடுபடுத்தப்பட்டு ஆவியாக்கப்படுகிறது, பின்னர் ஒரு வேதிவினை மூலம் அடி மூலக்கூறின் மீது சிலிக்கான் கார்பைடு படலம் உருவாக்கப்படுகிறது.

2. செயல்திறன் பண்புகள்CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு

1. உயர் வெப்பநிலையில் சிறப்பான செயல்திறன்

CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகள்சிறந்த உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பை வழங்குகிறது. இது உயர் வெப்பநிலை சூழல்களில் செயல்படக்கூடியது மற்றும் உயர் வெப்பநிலையில் உள்ள கடுமையான நிலைமைகளைத் தாங்கக்கூடியது.

2. நல்ல இயந்திர பண்புகள்

CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுஇது அதிக கடினத்தன்மையையும் நல்ல தேய்மான எதிர்ப்பையும் கொண்டுள்ளது. இது உலோகப் பரப்புகளைத் தேய்மானம் மற்றும் அரிப்பிலிருந்து பாதுகாத்து, பொருளின் சேவை ஆயுளை நீட்டிக்கிறது.

3. சிறந்த வேதியியல் நிலைத்தன்மை

CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகள்அமிலங்கள், காரங்கள் மற்றும் உப்புகள் போன்ற பொதுவான இரசாயனங்களை அதிக அளவில் எதிர்க்கும் திறன் கொண்டது. இது இரசாயனத் தாக்குதலையும், அடித்தளத்தின் அரிப்பையும் எதிர்க்கிறது.

4. குறைந்த உராய்வுக் குணகம்

CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுஇது குறைந்த உராய்வுக் குணகத்தையும் நல்ல சுய-மசகுப் பண்புகளையும் கொண்டுள்ளது. இது உராய்வையும் தேய்மானத்தையும் குறைத்து, பொருள் பயன்பாட்டின் செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது.

5. நல்ல வெப்பக் கடத்துத்திறன்

CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு சிறந்த வெப்பக் கடத்தும் பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது. இது வெப்பத்தை விரைவாகக் கடத்தி, உலோக அடித்தளத்தின் வெப்பச் சிதறல் திறனை மேம்படுத்துகிறது.

6. சிறந்த மின் காப்புப் பண்புகள்

CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு சிறந்த மின் காப்புப் பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் மின்னோட்டக் கசிவைத் தடுக்கிறது. இது மின்னணு சாதனங்களின் காப்புப் பாதுகாப்பில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

7. சரிசெய்யக்கூடிய தடிமன் மற்றும் கலவை

CVD செயல்முறையின் போது உள்ள நிலைமைகளையும், முன்னோடிப் பொருளின் செறிவையும் கட்டுப்படுத்துவதன் மூலம், சிலிக்கான் கார்பைடு படலத்தின் தடிமன் மற்றும் கலவையைச் சரிசெய்ய முடியும். இது பல்வேறு பயன்பாடுகளுக்கு ஏராளமான விருப்பங்களையும் நெகிழ்வுத்தன்மையையும் வழங்குகிறது.

சுருக்கமாக, CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சானது மிகச்சிறந்த உயர் வெப்பநிலை செயல்திறன், சிறந்த இயந்திரவியல் பண்புகள், நல்ல வேதியியல் நிலைத்தன்மை, குறைந்த உராய்வுக் குணகம், நல்ல வெப்பக் கடத்துத்திறன் மற்றும் மின் காப்புப் பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது. இந்தப் பண்புகள், மின்னணுவியல், ஒளியியல், விண்வெளி, வேதியியல் தொழில் போன்ற பல துறைகளில் CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகளைப் பரவலாகப் பயன்படுத்த வழிவகுக்கின்றன.