CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுக்கான தயாரிப்பு முறைகள் மற்றும் செயல்திறன் பண்புகள் என்ன?

வேதியியல் ஆவி படிவு (CVD) என்பது சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகளைத் தயாரிப்பதற்கு பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு முறையாகும்.CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகள்பல தனித்துவமான செயல்திறன் பண்புகளைக் கொண்டுள்ளன. இந்தக் கட்டுரை CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு தயாரிப்பு முறை மற்றும் அதன் செயல்திறன் பண்புகளை அறிமுகப்படுத்தும்.

1. தயாரிப்பு முறைCVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு

CVD முறையானது அதிக வெப்பநிலை நிலைமைகளின் கீழ் வாயு முன்னோடிகளை திட சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகளாக மாற்றுகிறது. வெவ்வேறு வாயு முன்னோடிகளின்படி, இதை வாயு கட்ட CVD மற்றும் திரவ கட்ட CVD என பிரிக்கலாம்.

1. நீராவி கட்ட CVD

சிலிக்கான் கார்பைடு படலங்களின் வளர்ச்சியை அடைய, நீராவி கட்ட CVD வாயு முன்னோடிகளைப் பயன்படுத்துகிறது, பொதுவாக ஆர்கனோசிலிகான் சேர்மங்கள். பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் ஆர்கனோசிலிகான் சேர்மங்களில் மெத்தில்சிலேன், டைமெதில்சிலேன், மோனோசிலேன் போன்றவை அடங்கும், இவை வாயு முன்னோடிகளை உயர் வெப்பநிலை எதிர்வினை அறைகளுக்குள் கொண்டு செல்வதன் மூலம் உலோக அடி மூலக்கூறுகளில் சிலிக்கான் கார்பைடு படலங்களை உருவாக்குகின்றன. எதிர்வினை அறையில் அதிக வெப்பநிலை பகுதிகள் பொதுவாக தூண்டல் வெப்பமாக்கல் அல்லது மின்தடை வெப்பமாக்கல் மூலம் உருவாக்கப்படுகின்றன.

2. திரவ நிலை CVD

திரவ-கட்ட CVD ஒரு திரவ முன்னோடியைப் பயன்படுத்துகிறது, பொதுவாக சிலிக்கான் மற்றும் சிலானால் சேர்மத்தைக் கொண்ட ஒரு கரிம கரைப்பான், இது ஒரு வினை அறையில் சூடாக்கப்பட்டு ஆவியாக்கப்படுகிறது, பின்னர் ஒரு வேதியியல் எதிர்வினை மூலம் அடி மூலக்கூறில் ஒரு சிலிக்கான் கார்பைடு படலம் உருவாகிறது.

2. செயல்திறன் பண்புகள்CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு

1.சிறந்த உயர் வெப்பநிலை செயல்திறன்

CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகள்சிறந்த உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பை வழங்குகிறது. இது அதிக வெப்பநிலை சூழல்களில் வேலை செய்யும் திறன் கொண்டது மற்றும் அதிக வெப்பநிலையில் தீவிர நிலைமைகளைத் தாங்கும்.

2.நல்ல இயந்திர பண்புகள்

CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுஅதிக கடினத்தன்மை மற்றும் நல்ல உடைகள் எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது. இது உலோக அடி மூலக்கூறுகளை தேய்மானம் மற்றும் அரிப்பிலிருந்து பாதுகாக்கிறது, பொருளின் சேவை வாழ்க்கையை நீட்டிக்கிறது.

3. சிறந்த இரசாயன நிலைத்தன்மை

CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகள்அமிலங்கள், காரங்கள் மற்றும் உப்புகள் போன்ற பொதுவான இரசாயனங்களுக்கு அதிக எதிர்ப்புத் திறன் கொண்டவை. இது வேதியியல் தாக்குதல் மற்றும் அடி மூலக்கூறின் அரிப்பை எதிர்க்கிறது.

4. குறைந்த உராய்வு குணகம்

CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகுறைந்த உராய்வு குணகம் மற்றும் நல்ல சுய-மசகு பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது. இது உராய்வு மற்றும் தேய்மானத்தைக் குறைத்து பொருள் பயன்பாட்டின் செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது.

5.நல்ல வெப்ப கடத்துத்திறன்

CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு நல்ல வெப்ப கடத்துத்திறன் பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது. இது வெப்பத்தை விரைவாகக் கடத்தும் மற்றும் உலோகத் தளத்தின் வெப்பச் சிதறல் திறனை மேம்படுத்தும்.

6.சிறந்த மின் காப்பு பண்புகள்

CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு நல்ல மின் காப்பு பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் மின்னோட்ட கசிவைத் தடுக்கலாம். இது மின்னணு சாதனங்களின் காப்புப் பாதுகாப்பில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

7. சரிசெய்யக்கூடிய தடிமன் மற்றும் கலவை

CVD செயல்முறையின் போது நிலைமைகளையும் முன்னோடியின் செறிவையும் கட்டுப்படுத்துவதன் மூலம், சிலிக்கான் கார்பைடு படலத்தின் தடிமன் மற்றும் கலவையை சரிசெய்ய முடியும். இது பல்வேறு பயன்பாடுகளுக்கு ஏராளமான விருப்பங்களையும் நெகிழ்வுத்தன்மையையும் வழங்குகிறது.

சுருக்கமாக, CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு சிறந்த உயர் வெப்பநிலை செயல்திறன், சிறந்த இயந்திர பண்புகள், நல்ல வேதியியல் நிலைத்தன்மை, குறைந்த உராய்வு குணகம், நல்ல வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் மின் காப்பு பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது. இந்த பண்புகள் CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகளை மின்னணுவியல், ஒளியியல், விண்வெளி, வேதியியல் தொழில் போன்ற பல துறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்த வைக்கின்றன.