Kvarcni čamac visoke čistoće za obradu pločica

Kvarcni brodić od oblatneje ključni alat za nosače u proizvodnji poluprovodnika, proizvodnji fotonaponskih ćelija i naprednom istraživanju i razvoju materijala, dizajniran za stabilan prijenos i pozicioniranje pločica u procesima visoke temperature. Ovaj proizvod je napravljen od ultra čistog taljenog silicijum dioksida (SiO2), s odličnom temperaturnom otpornošću, hemijskom stabilnošću i ultra niskim karakteristikama kontaminacije metalima, pogodan za difuzijske peći, oksidacijske peći, PECVD/LPCVD i drugu opremu, široko se koristi u premazivanju pločica, jonskoj implantaciji, žarenju na visokim temperaturama i drugim procesima jezgra.

Glavne prednosti kvarcnog čamca kompanije VET Energy:

• Materijal ultra visoke čistoće
  Čistoća ≥99,99%: Sadržaj nečistoća (Na, K, Fe, itd.) <5 ppm, izbjegavajući kontaminaciju pločice i garantujući prinos čipa.
  Niska taloženja i adsorpcija: površina je super polirana (Ra≤0,4 μm) kako bi se smanjilo prianjanje čestica i ostaci plina.
• Stabilnost na visokim temperaturama
  Temperaturno ograničenje: Dugotrajna radna temperatura od 1100℃, kratkotrajni vrhunac od 1300℃, bez deformacije, bez taloženja kristala.
  Nizak koeficijent termičkog širenja (5,5x10-7/℃), odlična otpornost na termičke udare, prilagodljivo brzim procesima porasta i pada temperature (npr. brzo RTP žarenje).
• Precizan strukturni dizajn
  Preciznost utora ±0,1 mm: usklađivanje pločica od 2” do 12”, greška ujednačenosti razmaka <0,05 mm, osiguravajući da pločice nemaju pomak.
  Visoka nosivost: Maksimalno opterećenje od 50 pločica (u smislu pločica od 12”) u jednom čamcu, što podržava stabilan prijenos tankih pločica (≥100um).
• Hemijska inertnost
  Otpornost na koroziju: Otporno na kiseline (osim HF), alkalije i koroziju uzrokovanu organskim rastvaračima, kompatibilno sa CMP postupkom čišćenja.
  Odlična plinootpornost: Brzina curenja <5x10-10 Pa.m3/s, pogodno za vakuum i okruženja sa zaštitnim plinom.
• Dug vijek trajanja i održavanje
  Vijek trajanja ≥ 5000 ciklusa (normalni radni uslovi), površina se može više puta čistiti i koristiti, smanjujući ukupne troškove.
  Modularni dizajn: podržava djelomičnu zamjenu (npr. jedan zub čamca), smanjujući vrijeme zastoja.

Nudimo i prozirne i matirane površine prema zahtjevima kupca:

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd je visokotehnološko preduzeće koje se fokusira na proizvodnju i prodaju naprednih materijala visoke klase. Materijali i tehnologija uključuju grafit, silicijum karbid, keramiku, površinske tretmane poput SiC premaza, TaC premaza, premaza od staklastog ugljika, pirolitičkog ugljičnog premaza itd. Ovi proizvodi se široko koriste u fotonaponskim sistemima, poluprovodnicima, novoj energiji, metalurgiji itd.

Naš tehnički tim dolazi iz vodećih domaćih istraživačkih institucija i razvio je više patentiranih tehnologija kako bi osigurao performanse i kvalitet proizvoda, a kupcima može pružiti i profesionalna rješenja za materijale.