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Rivestimentu di SiC / rivestitu di substratu di grafite per semiconduttori I suscettori tenenu è riscaldanu i wafer semiconduttori durante u trattamentu termicu. Un suscettore hè fattu di un materiale chì assorbe l'energia per induzione, conduzione è/o radiazione è riscalda u wafer. A so resistenza à i shock termichi, a cunduttività termica è a purità sò critiche per un trattamentu termicu rapidu (RTP). A grafite rivestita di carburo di siliciu, u carburo di siliciu (SiC) è u siliciu (Si) sò cumunemente usati per i suscettori secondu l'ambiente termicu è chimicu specificu. PureSiC® CVD SiC è u materiale ultrapuru ClearCarbon™ chì offrenu una stabilità termica superiore, resistenza à a corrosione è durabilità. Descrizzione di u produttu
U rivestimentu di SiC di u substratu di grafite per l'applicazioni di semiconduttori produce una parte cù una purezza superiore è resistenza à l'atmosfera ossidante.
U CVD SiC o CVI SiC hè applicatu à a grafite di pezzi di cuncepimentu simplice o cumplessu. U rivestimentu pò esse applicatu in diversi spessori è à pezzi assai grandi.

A ceramica tecnica hè una scelta naturale per l'applicazioni di trasfurmazione termica di semiconduttori, cumprese RTP (Rapid Thermal Processing), Epi (Epitaxial), diffusione, ossidazione è ricottura. CoorsTek furnisce cumpunenti di materiale avanzati specificamente cuncepiti per resiste à i shock termichi cù prestazioni di alta purezza, robuste è ripetibili per alte temperature.
Caratteristiche:
· Eccellente resistenza à i shock termichi
· Eccellente resistenza à i scossa fisica
· Eccellente resistenza chimica
· Super Alta Purezza
· Disponibilità in forma cumplessa
· Adupràbile sottu atmosfera ossidante
applicazione:
Una cialda hà bisognu di passà per parechje tappe prima di esse pronta per esse aduprata in i dispusitivi elettronichi. Un prucessu impurtante hè l'epitassia di siliciu, in a quale e cialde sò purtate nantu à suscettori di grafite. E proprietà è a qualità di i suscettori anu un effettu cruciale nantu à a qualità di u stratu epitassiale di a cialda.
Proprietà tipiche di u materiale di grafite di basa:
| Densità apparente: | 1,85 g/cm³ |
| Resistività elettrica: | 11 μΩm |
| Resistenza à a flessione: | 49 MPa (500 kgf/cm2) |
| Durezza Shore: | 58 |
| Cendra: | <5 ppm |
| Cunduttività termica: | 116 W/mK (100 kcal/mh-℃) |
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