Suscettore di canna rivestita di SiC persunalizatu

Suscettore di cannahè un cumpunente core in i prucessi di crescita epitassiale di semiconduttori cum'è MOCVD, MBE, CVD. Hè principalmente adupratu per purtà wafers in camere di reazione à alta temperatura è furnisce un ambiente di campu termicu uniforme è stabile per assicurà una deposizione precisa di strati epitassiali (cum'è GaN, SiC, ecc.). A so funzione principale hè di ottene una alta uniformità di a temperatura di a superficia di u wafer attraversu un cuntrollu precisu di u campu termicu, assicurendu cusì u spessore, a cuncentrazione di doping è l'uniformità di a struttura cristallina di i film sottili epitassiali.

Adupremu a nostra tecnulugia brevettata per fà ususcettore di cannacun una purezza estremamente alta, una bona uniformità di u rivestimentu è una eccellente durata di serviziu, è ancu proprietà di resistenza chimica è stabilità termica elevate.

VET Energy usa grafite d'alta purezza cù rivestimentu CVD-SiC per migliurà a stabilità chimica:

1. Materiale di grafite d'alta purezza
Alta conducibilità termica: a conducibilità termica di a grafite hè trè volte quella di u siliciu, chì pò trasferisce rapidamente u calore da a fonte di riscaldamentu à a cialda è accurtà u tempu di riscaldamentu.
Resistenza meccanica: Densità di grafite à pressione isostatica ≥ 1,85 g/cm³, capace di resiste à temperature elevate sopra à 1200 ℃ senza deformazione.

2. Rivestimentu CVD SiC
Un stratu di β-SiC hè furmatu nantu à a superficia di a grafite per deposizione chimica di vapore (CVD), cù una purezza di ≥ 99,99995%, l'errore di uniformità di u spessore di u rivestimentu hè menu di ± 5%, è a rugosità di a superficia hè menu di Ra0,5um.

3. Migliuramentu di e prestazioni:
Resistenza à a corrosione: pò suppurtà gas altamente corrosivi cum'è Cl2, HCl, ecc., pò allargà a durata di vita di l'epitassia di GaN di trè volte in l'ambiente NH3.
Stabilità termica: U coefficientu di dilatazione termica (4,5 × 10-6/℃) currisponde à a grafite per evità a frattura di u rivestimentu causata da e fluttuazioni di temperatura.
Durezza è resistenza à l'usura: A durezza Vickers righjunghje 28 GPa, chì hè 10 volte più alta chè a grafite è pò riduce u risicu di graffi di u wafer.