Sekepe sa boleng bo botle sa Silicon Carbide RBSIC/SISIC Cantilever se Sebelisoang Indastering ea Letsatsi ea Photovoltaic

Tlhaloso e Khutšoanyane:

Melemo e ikhethang ea li-susceptor tsa rona tsa graphite tse koahetsoeng ke SiC e kenyelletsa bohloeki bo phahameng haholo, ho koahela ka ho tšoana le bophelo bo botle ba ts'ebeletso. Li boetse li na le khanyetso e phahameng ea lik'hemik'hale le litšobotsi tsa botsitso ba mocheso.

Re boloka mamello e haufi haholo ha re sebelisa sekoahelo sa SiC, re sebelisa mochini o nepahetseng haholo ho netefatsa boemo bo ts'oanang ba susceptor. Re boetse re hlahisa thepa e nang le thepa e ntle ea ho hanyetsa motlakase bakeng sa ts'ebeliso lits'ebetsong tse futhumetseng ka mokhoa oa inductive. Likarolo tsohle tse felileng li tla le setifikeiti sa ho latela melao ea bohloeki le ea boholo bo itseng..

Romella imeile ho rona Khoasolla e le PDF

Qaqiso ea Sehlahisoa

Li-tag tsa Sehlahisoa

Lisebelisoa tse tsamaisoang hantle, sehlopha sa litsebi tsa phaello, le lihlahisoa le lits'ebeletso tse betere tsa kamora thekiso; Re bile balekane ba kopaneng le bana ba bangata, motho e mong le e mong o khomarela melemo ea k'hamphani "kopanyo, boinehelo, mamello" bakeng sa Sekepe sa boleng bo holimo sa Silicon Carbide RBSIC/SISIC Cantilever se Sebelisoang Indastering ea Letsatsi la Photovoltaic, Re amohela ka tieo metsoalle e 'meli ea likhoebo tsa kantle ho naha le tsa lehae, 'me re tšepa ho sebetsa le uena nakong e tlang!
Lisebelisoa tse tsamaisoang hantle, sehlopha sa litsebi tsa phaello, le lihlahisoa le lits'ebeletso tse betere tsa kamora thekiso; Re bile balekane ba kopaneng le bana ba kholo, motho e mong le e mong o khomarela melemo ea k'hamphani "kopanyo, boinehelo, mamello" bakeng saChina e nang le ceramic e sa hloekang le e nang le ceramic ontong, Ho fihlela litlhoko tsa bareki ba itseng bakeng sa tšebeletso e 'ngoe le e 'ngoe e phethahetseng le lintho tsa boleng bo tsitsitseng. Re amohela bareki ka mofuthu lefatšeng ka bophara ho re etela, ka tšebelisano-'moho ea rona e fapaneng, le ho nts'etsapele limmaraka tse ncha hammoho, ho theha bokamoso bo khanyang!

Sekoahelo/se koahetsoeng ka SiC sa substrate ea Graphite bakeng sa Semiconductor

Li-susceptor li tšoara le ho futhumatsa li-wafer tsa semiconductor nakong ea ts'ebetso ea mocheso. Se-susceptor se entsoe ka thepa e monyang matla ka ho kenya, ho tsamaisa, le/kapa mahlaseli 'me e futhumatsa wafer. Ho hanyetsa ha eona mocheso, ho tsamaisa mocheso, le bohloeki li bohlokoa bakeng sa ts'ebetso e potlakileng ea mocheso (RTP). Graphite e koahetsoeng ka silicon carbide, silicon carbide (SiC), le silicon (Si) li sebelisoa hangata bakeng sa li-susceptor ho latela tikoloho e itseng ea mocheso le lik'hemik'hale. PureSiC® CVD SiC le ClearCarbon™ thepa e hloekileng haholo e fanang ka botsitso bo phahameng ba mocheso, ho hanyetsa ho bola, le ho tšoarella.

Tlhaloso ea Sehlahisoa

Ho koahela SiC ha karolo e ka tlas'a Graphite bakeng sa lits'ebetso tsa Semiconductor ho hlahisa karolo e nang le bohloeki bo phahameng le ho hanyetsa sepakapaka se oxidizing.
CVD SiC kapa CVI SiC e sebelisoa ho Graphite ea likarolo tse bonolo kapa tse rarahaneng tsa moralo. Sekoahelo se ka sebelisoa ka botenya bo fapaneng le likarolong tse kholo haholo.

Sekoahelo/se koahetsoeng ka SiC sa substrate ea Graphite bakeng sa Semiconductor

Liserame tsa tekheniki ke khetho ea tlhaho bakeng sa lits'ebetso tsa ts'ebetso ea mocheso oa semiconductor ho kenyeletsoa RTP (Rapid Thermal Processing), Epi (Epitaxial), ho hasana, ho oxidation, le ho annealing. CoorsTek e fana ka likarolo tse tsoetseng pele tsa thepa tse etselitsoeng ka ho khetheha ho mamella litšitiso tsa mocheso ka ts'ebetso e hloekileng haholo, e tiileng, e ka phetoang bakeng sa mocheso o phahameng.

Likaroloana:
· Khanyetso e Hlollang ea Thermal Shock
· Khanyetso e Hlollang ea 'Mele ea ho Tšoaroa ke Tšabo
· Khanyetso e Hlollang ea Lik'hemik'hale
· Bohloeki bo Phahameng ka ho Fetisisa
· Ho fumaneha ka Sebopeho se Rarahaneng
· E ka sebelisoa tlas'a Oxidizing Atmosphere

kopo：

Wafer e hloka ho feta mehatong e 'maloa pele e loketse ho sebelisoa lisebelisoa tsa elektroniki. Ts'ebetso e 'ngoe ea bohlokoa ke silicon epitaxy, moo li-wafer li jaroang holim'a li-susceptor tsa graphite. Thepa le boleng ba li-susceptor li na le phello ea bohlokoa boleng ba lera la epitaxial la wafer.

Matlotlo a Tloaelehileng a Thepa ea Motheo ea Graphite:

Botenya bo Bonahalang:	1.85 g/cm3
Ho hanyetsa motlakase:	11 μΩm
Matla a ho Flexural:	49 MPa (500kgf/cm2)
Ho Tiea ha Lebōpo:	58
Molora:	<5ppm
Ho tsamaisa mocheso:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)